一种带有清洁机构的干法刻蚀设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种带有清洁机构的干法刻蚀设备，涉及刻蚀设备技术领域，包括机体和清洁机构，所述仓门的内侧设有内仓，所述内仓的内侧设有清洁机构。本实用新型专利技术的有益效果是：一种带有清洁机构的干法刻蚀设备，通过设置清洁机构，储瓶仓内的液氧瓶通过输液管将内部的液氧由分液管输入刀制压器内部，喷氧器下的伸缩管向下伸缩，然后使用液氧喷头将氧气喷洒到刻蚀台上，氧气把光刻胶燃烧掉，光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，然后储水箱通过输水管将水通过水雾喷头喷洒到刻蚀台上，水汇聚到流水槽内，吹风器通过风仓对内仓进行风干处理。处理。处理。

【技术实现步骤摘要】
一种带有清洁机构的干法刻蚀设备


[0001]本技术涉及刻蚀设备
，尤其涉及一种带有清洁机构的干法刻蚀设备。

技术介绍

[0002]干法刻蚀是用等离子体进行薄膜刻蚀的技术。当气体以等离子体形式存在时，它具备两个特点：一方面等离子体中的这些气体化学活性比常态下时要强很多，根据被刻蚀材料的不同，选择合适的气体，就可以更快地与材料进行反应，实现刻蚀去除的目的；另一方面，还可以利用电场对等离子体进行引导和加速，使其具备一定能量，当其轰击被刻蚀物的表面时，会将被刻蚀物材料的原子击出，从而达到利用物理上的能量转移来实现刻蚀的目的，而在刻蚀后，刻蚀材料会留下材料碎片，积攒过多的随便不利于后续的刻蚀，故此需要一种带有清洁机构的干法刻蚀设备。
[0003]在现在的干法刻蚀时，大多使用直接的化学成分将刻蚀材料进行分解，而单纯的材料分解无法将材料碎片完全清楚，这样容易导致后续的刻蚀发生损伤，导致刻蚀失败。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种带有清洁机构的干法刻蚀设备，用来解决上述
技术介绍
中提到的在现在的干法刻蚀时，大多使用直接的化学成分将刻蚀材料进行分解，而单纯的材料分解无法将材料碎片完全清楚，这样容易导致后续的刻蚀发生损伤，导致刻蚀失败的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种带有清洁机构的干法刻蚀设备，包括机体和清洁机构，清洁机构包括储瓶仓、液氧瓶、输液管、分液管、制压器、喷氧器、伸缩管、液氧喷头、储水箱、输水管、水雾喷头、吹风器、风仓和流水槽，所述机体的前侧卡槽连接有仓门，所述仓门的内侧设有内仓，所述内仓的下侧设有刻蚀台，所述内仓的内侧设有清洁机构。
[0006]优选的，所述清洁机构包括储瓶仓、液氧瓶、输液管、分液管、制压器、喷氧器、伸缩管、液氧喷头、储水箱、输水管、水雾喷头、吹风器、风仓和流水槽，所述机体的右侧连接有储瓶仓，所述储瓶仓内侧卡槽连接有液氧瓶，所述液氧瓶上侧设有输液管，所述输液管左侧均连接有分液管，所述分液管下侧均连接有制压器，所述制压器下侧均设有喷氧器，所述喷氧器下侧均设有伸缩管，所述伸缩管下侧均设有液氧喷头，所述内仓右侧设有储水箱，所述储水箱右侧粘连连接有输水管，所述输水管右侧连接有水雾喷头，所述内仓右侧连接有吹风器，所述吹风器左侧连接有风仓，所述刻蚀台的外围包裹有流水槽。
[0007]优选的，所述液氧瓶与储瓶仓之间为卡槽连接，所述液氧瓶的口径略小于储瓶仓的口径。
[0008]优选的，所述喷氧器与制压器之间为粘连连接，所述喷氧器与制压器之间紧密贴合。
[0009]优选的，所述伸缩管与喷氧器之间为卡槽连接，所述伸缩管与喷氧器之间一一对
应。
[0010]优选的，所述水雾喷头与输水管之间为粘连连接，所述水雾喷头与输水管之间紧密贴合。
[0011]优选的，所述风仓与吹风器之间为粘连连接，所述风仓为网状结构。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：一种带有清洁机构的干法刻蚀设备，通过设置清洁机构，在干法刻蚀设备使用后，储瓶仓内的液氧瓶通过输液管将内部的液氧由分液管输入刀制压器内部，喷氧器下的伸缩管向下伸缩，然后使用液氧喷头将氧气喷洒到刻蚀台上，氧气把光刻胶燃烧掉，光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，然后储水箱通过输水管将水通过水雾喷头喷洒到刻蚀台上，水汇聚到流水槽内，清洗干净后，吹风器通过风仓对内仓进行风干处理。
附图说明
[0013]图1为本技术的整体立体结构示意图；
[0014]图2为本技术的内仓内部结构示意图；
[0015]图3为本技术的平面结构示意图；
[0016]图4为本技术的图三中的A点放大图；
[0017]图5为本技术的图三中的B点放大图。
[0018]图中标号：1、机体；2、仓门；3、内仓；4、刻蚀台；5、清洁结构；501、储瓶仓；502、液氧瓶；503、输液管；504、分液管；505、制压器；506、喷氧器；507、伸缩管；508、液氧喷头；509、储水箱；510、输水管；511、水雾喷头；512、吹风器；513、风仓；514、流水槽；6、污水桶。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
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5，本技术提供一种技术方案：一种带有清洁机构的干法刻蚀设备，包括机体1和清洁机构5，清洁机构5包括储瓶仓501、液氧瓶502、输液管503、分液管504、制压器505、喷氧器506、伸缩管507、液氧喷头508、储水箱509、输水管510、水雾喷头511、吹风器512、风仓513和流水槽514，机体1的前侧卡槽连接有仓门2，仓门2的内侧设有内仓3，内仓3的下侧设有刻蚀台4，内仓3的内侧设有清洁机构5。
[0021]进一步的，清洁机构5包括储瓶仓501、液氧瓶502、输液管503、分液管504、制压器505、喷氧器506、伸缩管507、液氧喷头508、储水箱509、输水管510、水雾喷头511、吹风器512、风仓513和流水槽514，机体1的右侧连接有储瓶仓501，储瓶仓501内侧卡槽连接有液氧瓶502，液氧瓶502上侧设有输液管503，输液管503左侧均连接有分液管504，分液管504下侧均连接有制压器505，制压器505下侧均设有喷氧器506，喷氧器506下侧均设有伸缩管507，伸缩管507下侧均设有液氧喷头508，内仓3右侧设有储水箱509，储水箱509右侧粘连连接有输水管510，输水管510右侧连接有水雾喷头511，内仓3右侧连接有吹风器512，吹风器512左
侧连接有风仓513，刻蚀台4的外围包裹有流水槽514,在干法刻蚀设备使用后，储瓶仓501内的液氧瓶502通过输液管503将内部的液氧由分液管504输入刀制压器505内部，喷氧器506下的伸缩管507向下伸缩，然后使用液氧喷头508将氧气喷洒到刻蚀台4上，氧气把光刻胶燃烧掉，光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，然后储水箱509通过输水管510将水通过水雾喷头511喷洒到刻蚀台4上，水汇聚到流水槽514内，清洗干净后，吹风器512通过风仓513对内仓3进行风干处理。
[0022]进一步的，液氧瓶502与储瓶仓501之间为卡槽连接，液氧瓶502的口径略小于储瓶仓501的口径，在进行液氧去除后，如液氧不足，可更换储瓶仓501内的液氧瓶502，便于后续使用。
[0023]进一步的，喷氧器506与制压器505之间为粘连连接，喷氧器506与制本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带有清洁机构的干法刻蚀设备，包括机体(1)和清洁机构(5)，清洁机构(5)包括储瓶仓(501)、液氧瓶(502)、输液管(503)、分液管(504)、制压器(505)、喷氧器(506)、伸缩管(507)、液氧喷头(508)、储水箱(509)、输水管(510)、水雾喷头(511)、吹风器(512)、风仓(513)和流水槽(514)，其特征在于：所述机体(1)的前侧卡槽连接有仓门(2)，所述仓门(2)的内侧设有内仓(3)，所述内仓(3)的下侧设有刻蚀台(4)，所述内仓(3)的内侧设有清洁机构(5)。2.根据权利要求1所述的一种带有清洁机构的干法刻蚀设备，其特征在于，所述清洁机构(5)包括储瓶仓(501)、液氧瓶(502)、输液管(503)、分液管(504)、制压器(505)、喷氧器(506)、伸缩管(507)、液氧喷头(508)、储水箱(509)、输水管(510)、水雾喷头(511)、吹风器(512)、风仓(513)和流水槽(514)，所述机体(1)的右侧连接有储瓶仓(501)，所述储瓶仓(501)内侧卡槽连接有液氧瓶(502)，所述液氧瓶(502)上侧设有输液管(503)，所述输液管(503)左侧均连接有分液管(504)，所述分液管(504)下侧均连接有制压器(505)，所述制压器(505)下侧均设有喷氧器(506)，所述喷氧器(506)下侧均设有伸缩管(507)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李光林，车钟男，
申请(专利权)人：无锡天酬半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：