一种LED晶圆片检验的片盒倾斜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及LED芯片技术领域，具体涉及一种LED晶圆片检验的片盒倾斜装置，包括基台、滑块、斜板、片盒和无影灯；所述基台上设有合页和竖直的滑轨，所述合页的转轴水平，所述滑块滑动连接于滑轨，所述斜板的一端通过合页铰接于基台表面，另一端由滑块承接；所述斜板上表面设有盒槽，所述片盒设置在盒槽中，所述无影灯架设在斜板上，并朝向片盒设置。本实用新型专利技术的有益效果在于：本实用新型专利技术提供的LED晶圆片检验的片盒倾斜装置通过设置倾斜的片盒，使相邻的晶圆片之间的间距一致；片盒的倾斜角度可调方便工作人员吸笔的操作；并通过无影灯消除晶圆片上的阴影的不良影响；尽可能地避免了工作人员刮伤晶圆片。了工作人员刮伤晶圆片。了工作人员刮伤晶圆片。

【技术实现步骤摘要】
一种LED晶圆片检验的片盒倾斜装置


[0001]本技术涉及LED芯片
，具体涉及一种LED晶圆片检验的片盒倾斜装置。

技术介绍

[0002]LED(Light Emitting Diode)即发光二极管，是一种电能转化为光能的固态半导体器件。作为新型的发光器件，LED具有高光效、节能、使用寿命长、响应时间短、环保等优点，因此被称为最有潜力的新一代光源。
[0003]光刻工艺是LED芯片制造工艺中的一个重要步骤，该步骤利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构。为了检验刻画的几何图形的线宽是否符合规定，工作人员需要将仍携带光刻胶的LED的晶圆片转移到检测装置中进行线宽测量。
[0004]LED芯片工厂每天会制造大量的晶圆片，而晶圆片通常又装载在片盒中进行转移，所述片盒中设有多个放置槽，人们希望多个晶圆片在片盒中时，保持竖直且互相平行的姿态。但放置槽的槽宽并不恰好适配晶圆片的厚度，晶圆片容易在放置槽中倾斜，使相邻晶圆片之间的间距不一致。而工作人员转移晶圆片需要使用吸笔吸附晶圆片表面，因为相邻晶圆片之间的间距不一致，工作人员容易本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种LED晶圆片检验的片盒倾斜装置，其特征在于，包括基台、滑块、斜板、片盒和无影灯；所述基台上设有合页和竖直的滑轨，所述合页的转轴水平，所述滑块滑动连接于滑轨，所述斜板的一端通过合页铰接于基台表面，另一端由滑块承接；所述斜板上表面设有盒槽，所述片盒设置在盒槽中，所述无影灯架设在斜板上，并朝向片盒设置。2.根据权利要求1所述的LED晶圆片检验的片盒倾斜装置，其特征在于，所述片盒上设有晶圆片的放置槽，所述放置槽的槽深为晶圆片半径的0.6
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1倍。3.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄章挺，张帆，郑高林，
申请(专利权)人：福建兆元光电有限公司，
类型：新型
国别省市：