本实用新型专利技术涉及LED芯片技术领域，具体涉及一种LED晶圆片检验的片盒倾斜装置，包括基台、滑块、斜板、片盒和无影灯；所述基台上设有合页和竖直的滑轨，所述合页的转轴水平，所述滑块滑动连接于滑轨，所述斜板的一端通过合页铰接于基台表面，另一端由滑块承接；所述斜板上表面设有盒槽，所述片盒设置在盒槽中，所述无影灯架设在斜板上，并朝向片盒设置。本实用新型专利技术的有益效果在于：本实用新型专利技术提供的LED晶圆片检验的片盒倾斜装置通过设置倾斜的片盒，使相邻的晶圆片之间的间距一致；片盒的倾斜角度可调方便工作人员吸笔的操作；并通过无影灯消除晶圆片上的阴影的不良影响；尽可能地避免了工作人员刮伤晶圆片。了工作人员刮伤晶圆片。了工作人员刮伤晶圆片。
【技术实现步骤摘要】
一种LED晶圆片检验的片盒倾斜装置
[0001]本技术涉及LED芯片
，具体涉及一种LED晶圆片检验的片盒倾斜装置。
技术介绍
[0002]LED(Light Emitting Diode)即发光二极管，是一种电能转化为光能的固态半导体器件。作为新型的发光器件，LED具有高光效、节能、使用寿命长、响应时间短、环保等优点，因此被称为最有潜力的新一代光源。
[0003]光刻工艺是LED芯片制造工艺中的一个重要步骤，该步骤利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构。为了检验刻画的几何图形的线宽是否符合规定，工作人员需要将仍携带光刻胶的LED的晶圆片转移到检测装置中进行线宽测量。
[0004]LED芯片工厂每天会制造大量的晶圆片，而晶圆片通常又装载在片盒中进行转移，所述片盒中设有多个放置槽，人们希望多个晶圆片在片盒中时，保持竖直且互相平行的姿态。但放置槽的槽宽并不恰好适配晶圆片的厚度，晶圆片容易在放置槽中倾斜，使相邻晶圆片之间的间距不一致。而工作人员转移晶圆片需要使用吸笔吸附晶圆片表面，因为相邻晶圆片之间的间距不一致，工作人员容易使吸笔刮伤晶圆片表面的光刻胶，使线宽检验失败。
技术实现思路
[0005]本技术所要解决的技术问题是：提供一种LED晶圆片检验的片盒倾斜装置，使工作人员在线宽检验的转移晶圆片工序中，尽可能避免刮伤晶圆片。
[0006]为了解决上述技术问题，本技术采用的一种技术方案为：一种LED晶圆片检验的片盒倾斜装置，包括基台、滑块、斜板、片盒和无影灯；
[0007]所述基台上设有合页和竖直的滑轨，所述合页的转轴水平，所述滑块滑动连接于滑轨，所述斜板的一端通过合页铰接于基台表面，另一端由滑块承接；
[0008]所述斜板上表面设有盒槽，所述片盒设置在盒槽中，所述无影灯架设在斜板上，并朝向片盒设置。
[0009]进一步地，所述片盒上设有晶圆片的放置槽，所述放置槽的槽深为晶圆片半径的0.6
‑
1倍。
[0010]进一步地，所述基台底部设有升降台。
[0011]进一步地，所述基台底部设有吸盘。
[0012]进一步地，所述基台上设有竖直的螺纹通孔。
[0013]进一步地，所述滑块包括螺栓和承接块，所述螺栓贯穿滑轨并滑动连接滑轨，所述承接块螺纹连接螺栓，所述滑轨在承接块与螺栓的螺帽之间；所述斜板由承接块承接。
[0014]本技术的有益效果在于：本技术提供的LED晶圆片检验的片盒倾斜装置中，所述片盒设置在斜板上，使片盒倾斜；使晶圆片往放置槽的同一侧倾斜，且晶圆片的倾斜角度一致，使相邻晶圆片之间的间距一致。
[0015]工作人员滑动滑块可以调节斜板的倾斜角度，工作人员可以选择一个最适合自己身高的斜板倾斜角度，使工作人员操作吸笔吸附一个晶圆片表面时，不容易触碰到相邻的晶圆片。
[0016]为了避免阴影的出现使工作人员误判相邻的晶圆片之间的间距，而设置无影灯，消除阴影的影响。
[0017]故本技术提供的LED晶圆片检验的片盒倾斜装置通过设置倾斜的片盒，使相邻的晶圆片之间的间距一致；片盒的倾斜角度可调方便工作人员吸笔的操作；并通过无影灯消除晶圆片上的阴影的不良影响；尽可能地避免了工作人员刮伤晶圆片。
附图说明
[0018]图1为本技术具体实施方式的一种LED晶圆片检验的片盒倾斜装置的整体结构示意图；
[0019]图2为本技术具体实施方式的一种LED晶圆片检验的片盒倾斜装置的部分结构示意图；
[0020]标号说明：
[0021]1、基台；11、合页；12、滑轨；13、螺纹通孔；
[0022]2、滑块；21、螺栓；22、承接块；
[0023]3、斜板；4、片盒。
具体实施方式
[0024]为详细说明本技术的
技术实现思路
、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
[0025]请参照图1
‑
2，一种LED晶圆片检验的片盒倾斜装置，包括基台1、滑块2、斜板3、片盒4和无影灯；
[0026]所述基台1上设有合页11和竖直的滑轨12，所述合页11的转轴水平，所述滑块2滑动连接于滑轨12，所述斜板3的一端通过合页11铰接于基台1表面，另一端由滑块2承接；
[0027]所述斜板3上表面设有盒槽，所述片盒4设置在盒槽中，所述无影灯架设在斜板3上，并朝向片盒4设置。
[0028]由上描述可知，本技术的有益效果在于：本技术提供的LED晶圆片检验的片盒倾斜装置中，所述片盒4设置在斜板3上，使片盒4倾斜；晶圆片放置在片盒4的放置槽中，因为片盒4倾斜，晶圆片往放置槽的同一侧倾斜，且晶圆片的倾斜角度一致，使相邻晶圆片之间的间距一致。相邻的晶圆片之间的间距一致使工作人员不容易操作吸笔刮伤晶圆片。
[0029]因为片盒4通常放置在线宽检验装置的机台上进行晶圆片的转移的。工作人员可以在滑轨12上滑动滑块2，因为滑块2承接斜板3的一端，斜板3的另一端通过合页11铰接基板，故工作人员滑动滑块2可以调节斜板3的倾斜角度，工作人员可以选择一个最适合自己身高的斜板3倾斜角度，使工作人员操作吸笔吸附一个晶圆片表面时，不容易触碰到相邻的晶圆片。
[0030]在片盒4的倾斜的角度被调节后，晶圆片表面容易出现阴影，为了避免阴影的出现
使工作人员误判相邻的晶圆片之间的间距，而设置无影灯，消除阴影的影响。
[0031]所述盒槽方便多个片盒4在斜板3上的取放。
[0032]故本技术提供的LED晶圆片检验的片盒倾斜装置通过设置倾斜的片盒4，使相邻的晶圆片之间的间距一致；片盒4的倾斜角度可调方便工作人员吸笔的操作；并通过无影灯消除晶圆片上的阴影的不良影响；尽可能地避免了工作人员刮伤晶圆片。
[0033]进一步地，所述片盒4上设有晶圆片的放置槽，所述放置槽的槽深为晶圆片半径的0.6
‑
1倍。
[0034]由上描述可知，所述放置槽的槽深越浅，在放置槽外的晶圆片的部分越多，进而使晶圆片的姿态越容易随在放置槽外的晶圆片的部分的重力影响而改变。
[0035]故上述设置使多个晶圆片在放置槽中，更容易随着片盒4的倾斜而保持一个相同的倾斜角度。
[0036]进一步地，所述基台1底部设有升降台。
[0037]由上描述可知，调节升降台，可以使片盒4所在高度适配工作人员不同的身高。
[0038]进一步地，所述基台1底部设有吸盘。
[0039]由上描述可知，上述设置使基台1方便在线宽检验装置的机台上转移与固定。
[0040]进一步地，所述基台1上设有竖直的螺纹通孔13。
[0041]由上描述可知，上述设置方便工作人员通过螺丝将基台1固定在线宽检验装置的机台上。
[0042]进一步地，所述滑块2包括螺栓21和承接块22，所述螺栓21贯穿滑轨12并滑动连接滑轨12，所述承接块22螺纹连接螺栓21本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种LED晶圆片检验的片盒倾斜装置，其特征在于，包括基台、滑块、斜板、片盒和无影灯；所述基台上设有合页和竖直的滑轨，所述合页的转轴水平，所述滑块滑动连接于滑轨，所述斜板的一端通过合页铰接于基台表面，另一端由滑块承接；所述斜板上表面设有盒槽，所述片盒设置在盒槽中，所述无影灯架设在斜板上，并朝向片盒设置。2.根据权利要求1所述的LED晶圆片检验的片盒倾斜装置，其特征在于，所述片盒上设有晶圆片的放置槽，所述放置槽的槽深为晶圆片半径的0.6
‑
1倍。3.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄章挺，张帆，郑高林，
申请(专利权)人：福建兆元光电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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