对中装置及方法制造方法及图纸

本申请属于同轴调节设备技术领域，尤其是涉及一种对中装置及方法。该对中装置用于调节第二对中件与第一对中件之间的同轴度，对中装置包括第一检测模块、调节模块以及第二检测模块；第二对中件预固定于第一对中件形成预连接工件组，预连接工件组能够置于调节模块上；第一检测模块用于检测第一对中件与调节模块之间的第一同轴度，第二检测模块用于检测第二对中件与调节模块之间的第二同轴度；调节模块设置为用于根据第一同轴度调节预连接工件组的位置、以及用于根据第二同轴度调节第二对中件的位置。该对中装置通过多模块配合检测及调节对中件位置，能够获取同轴度的具体值，精度更高。高。高。

【技术实现步骤摘要】
对中装置及方法


[0001]本申请属于同轴调节设备
，尤其是涉及一种对中装置及方法。

技术介绍

[0002]在扫描电镜领域，电镜内部的主要的零件组装时，装配的同心度要求很高，通常为几微米到几十微米。
[0003]如图1所示，现有技术只需用对中棒B从上到下的将第一对中件A1和第二对中件A2串起来，然后再锁紧固定螺钉201，从而完成2个工件的对心组装。然而，如此对中无法获取对中后精度的具体值；
[0004]另外，对中棒B的加工精度难以保证，而且，第二对中件A2中的微孔孔径过小，相应地，对中棒B的直径较小其结构强度偏低，在频繁使用的过程中可能出现磨损形变，导致对中精度偏低。

技术实现思路

[0005]本申请提供了一种对中装置及方法，以解决现有技术提出的采用对中棒导致对中精度偏低的技术问题。
[0006]根据本申请的一个方面，提供了一种对中装置，用于调节第二对中件与第一对中件之间的同轴度，对中装置包括第一检测模块、调节模块以及第二检测模块；第二对中件预固定于第一对中件形成预连接工件组，预连接工件组能够置于调节模块上；第一检测模块用于检测第一对中件与调节模块之间的第一同轴度，第二检测模块用于检测第二对中件与调节模块之间的第二同轴度；调节模块设置为用于根据第一同轴度调节预连接工件组的位置、以及用于根据第二同轴度调节第二对中件的位置。
[0007]在本申请可选的方案中，调节模块包括沿Z轴由下而上依次连接的旋转机构、第一调节机构以及第二调节机构；第二调节机构用于连接于预连接工件组，旋转机构能够驱动第一调节机构、第二调节机构及预连接工件组绕Z轴旋转；第一调节机构用于带动第二调节机构运动，以根据第一同轴度调节预连接工件组的位置；第二调节机构用于根据第二同轴度调节第二对中件的位置。
[0008]在本申请可选的方案中，第二调节机构包括对心盘以及多个顶压件，第一对中件连接于对心盘，多个顶压件沿对心盘的周向间隔设置并活动连接于对心盘，以夹持第二对中件。
[0009]在本申请可选的方案中，第一对中件设置有基准孔；第一检测模块包括第一支撑臂以及测量工具，测量工具安装于第一支撑臂；测量工具设置为用于通过接触基准孔的内壁，以检测出第一对中件与旋转机构之间的第一同轴度，测量工具还设置为用于通过接触第一对中件在Z轴上的表面，以检测出第一对中件相对水平面的平行度。
[0010]在本申请可选的方案中，第一对中件设置有基准孔，第二对中件设置有对中孔；第二检测模块包括图像采集装置以及调焦机构，图像采集装置用于采集对中孔的位置以检测
出第二对中件与调节模块之间的第二同轴度，调焦机构用于调整图像采集装置在Z轴上的位置以调焦。
[0011]在本申请可选的方案中，对中装置还包括第三调节机构以及第二支撑臂；第二支撑臂连接于第三调节机构，第二检测模块连接于第二支撑臂；第三调节机构设置为带动第二支撑臂运动，以调节第二检测模块与第二对中件的相对位置。
[0012]根据本申请的另一个方面，提供了一种对中方法，应用于上述的对中装置，该方法包括：
[0013]将预连接工件组置于调节模块上；
[0014]基于第一检测模块检测出的第一同轴度，通过第一调节机构调整预连接工件组的位置，直至第一同轴度小于或等于第一阈值；
[0015]基于第二检测模块检测出的第二同轴度，通过第二调节机构调整第二对中件的位置，直至第二同轴度小于或等于第二阈值。
[0016]在本申请可选的方案中，在基于第一检测模块检测出的第一同轴度，通过第一调节机构调整预连接工件组的位置，直至第一同轴度小于或等于第一阈值之前，该方法还包括：
[0017]通过第一检测模块检测出第一对中件相对于水平面的平行度；
[0018]基于第一检测模块检测出的平行度，通过第一调节机构调整预连接工件组的位置，直至平行度小于或等于第三阈值。
[0019]在本申请可选的方案中，第二对中件设置有对中孔，基于第二检测模块检测出的第二同轴度，通过第二调节机构调整第二对中件的位置，直至第二同轴度小于或等于第二阈值，包括：
[0020]通过旋转机构调整第二对中件的位置，并基于第二检测模块检测出的对中孔的位置，确定对中孔的圆心的目标位置；
[0021]根据目标位置以及对中孔的圆心位置确定第二同轴度；
[0022]基于目标位置及第二同轴度，通过第二调节机构调整第二对中件的位置，以使对中孔的圆心靠近目标位置。
[0023]在本申请可选的方案中，通过旋转机构调整第二对中件的位置，并基于第二检测模块检测出的对中孔的位置，确定对中孔的圆心的目标位置，包括：
[0024]通过旋转机构驱动预连接工件组旋转至第一位置，并通过第二检测模块检测出对中孔的第一圆心位置；
[0025]通过旋转机构驱动预连接工件组旋转至第二位置，并通过第二检测模块检测出对中孔的第二圆心位置；
[0026]通过旋转机构驱动预连接工件组旋转至第三位置，并通过第二检测模块检测出对中孔的第三圆心位置；
[0027]根据第一圆心位置、第二圆心位置以及第三圆心位置，以确定出拟合圆，拟合圆的圆心位置为对中孔的圆心的目标位置。
[0028]综上所述，本申请提供的对中装置及方法至少具有以下有益效果：
[0029]在本申请提供的方案中，第一对中件及第二对中件基于调节模块进行同轴度调节，具体通过第一检测模块以及第二检测模块分别配合调节模块获取相应的同轴度数据，
并根据同轴度数据通过调节模块作用于预连接工件组以改变位置，从而对中第一对中件与第二对中件。该对中装置通过多模块配合检测及调节对中件位置，能够获取同轴度的具体值，精度更高。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域的技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0031]图1出示了现有技术中采用对中棒进行对中的示意简图；
[0032]图2为根据本申请其中一个实施例提供的对中装置的示意简图；
[0033]图3a为根据本申请其中一个实施例提供的预连接工件组的剖视简图；
[0034]图3b为图3a中C
‑
C处的剖视图；
[0035]图3c为图3a中D
‑
D处的剖视图；
[0036]图4a为根据本申请其中一个实施例提供的预连接工件组与第二调节机构的装配俯视图；
[0037]图4b为图4a中E
‑
E处的剖视图；
[0038]图5出示了本申请实施例提供的对中装置进行平行度检测的局部示意图；
[0039]图6出示了本申请实施例提供的对中装置进行第一同轴度检测的局部示意图；
[0040]图7为根据本申请其中一个实施例提供的对中方法的步本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种对中装置，用于调节第二对中件与第一对中件之间的同轴度，其特征在于，所述对中装置包括第一检测模块、调节模块以及第二检测模块；所述第二对中件预固定于所述第一对中件形成预连接工件组，所述预连接工件组能够置于所述调节模块上；所述第一检测模块用于检测所述第一对中件与所述调节模块之间的第一同轴度，所述第二检测模块用于检测所述第二对中件与所述调节模块之间的第二同轴度；所述调节模块设置为用于根据所述第一同轴度调节所述预连接工件组的位置、以及用于根据所述第二同轴度调节所述第二对中件的位置。2.根据权利要求1所述的对中装置，其特征在于，所述调节模块包括沿Z轴由下而上依次连接的旋转机构、第一调节机构以及第二调节机构；所述第二调节机构用于连接于所述预连接工件组，所述旋转机构能够驱动所述第一调节机构、所述第二调节机构及所述预连接工件组绕所述Z轴旋转；所述第一调节机构用于带动所述第二调节机构运动，以根据所述第一同轴度调节所述预连接工件组的位置；所述第二调节机构用于根据所述第二同轴度调节所述第二对中件的位置。3.根据权利要求2所述的对中装置，其特征在于，所述第二调节机构包括对心盘以及多个顶压件，所述第一对中件连接于所述对心盘，多个顶压件沿所述对心盘的周向间隔设置并活动连接于所述对心盘，以夹持所述第二对中件。4.根据权利要求2所述的对中装置，其特征在于，所述第一对中件设置有基准孔；所述第一检测模块包括第一支撑臂以及测量工具，所述测量工具安装于所述第一支撑臂；所述测量工具设置为用于通过接触所述基准孔的内壁，以检测出所述第一对中件与所述旋转机构之间的第一同轴度，所述测量工具还设置为用于通过接触所述第一对中件在所述Z轴上的表面，以检测出所述第一对中件相对水平面的平行度。5.根据权利要求1所述的对中装置，其特征在于，所述第一对中件设置有基准孔，所述第二对中件设置有对中孔；所述第二检测模块包括图像采集装置以及调焦机构，所述图像采集装置用于采集所述对中孔的位置以检测出所述第二对中件与所述调节模块之间的第二同轴度，所述调焦机构用于调整所述图像采集装置在Z轴上的位置以调焦。6.根据权利要求1所述的对中装置，其特征在于，所述对中装置还包括第三调节机构以及第二支撑臂；所述第二支撑臂连接于所述第三调节机构，所述第二检测模块连接于所述第二支撑臂；所述第三调节机构设置为带动所述第二支...

【专利技术属性】
技术研发人员：李帅辰，杨辉，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京股份有限公司，
类型：发明
国别省市：