基于光反射的表面粗糙度检测装置与方法制造方法及图纸

一种激光检测术领域的基于光反射的表面粗糙度检测装置，包括底盘、工件夹具、需检测工件、光准直器组件、光功率计组件、激光输入光纤；工件夹具用于固定工件，通过其底部螺纹孔以螺栓螺母固定的方法固定于底盘上；需检测工件通过其底部的螺纹孔以螺栓固定的方法固定于工件夹具上；光准直器组件包括光准直器、第一支撑架、第一三角形工装；光功率计组件包括光功率计、第二支撑架、第二三角形工装；激光输入光纤通过光纤转接头连接至光准直器组件。本发明专利技术可实现工件表面粗糙度的实时检测，能够应用于光学金属元件电化学抛光过程。用于光学金属元件电化学抛光过程。用于光学金属元件电化学抛光过程。

【技术实现步骤摘要】
基于光反射的表面粗糙度检测装置与方法


[0001]本专利技术涉及的是激光检测
的检测装置，特别是一种带有光准直器组件和光功率计组件的基于光反射的表面粗糙度检测装置与方法。

技术介绍

[0002]在微纳加工、半导体制造、光学元件制造等领域中，需要对材料进行高精度的加工和处理。在加工过程中，电化学刻蚀抛光因其具有高效率、高精度、速度快、劳动强度小等一系列优点而得到广泛的应用，但如何保证稳定的刻蚀过程是一个难题，而抛光过程的精确控制是保证抛光结果优质的关键。目前的传统电化学抛光工艺路线通过预先标定系统参数的方法抛光工艺数据库，再通过设定系统初始设置参数的方法完成对抛光过程的开环控制。
[0003]开环控制的抛光工艺方法最终获得的结果仍然不理想，其根本原因在于电化学抛光过程中电解液成分组成实时变化，且工件表面粗糙度分布并不均匀，在缺失实时监测反馈环节的情况下，开环控制作为一种预测控制方法并不可靠，其主要原因是缺少一种工件表面的粗糙度传感方法。
[0004]电化学抛光方法的粗糙度传感难点在于：工件处于液体环境，接触式传感的方法会对仪本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于光反射的表面粗糙度检测装置，其特征在于，包括底盘、工件夹具、需检测工件、光准直器组件、光功率计组件、激光输入光纤；所述工件夹具用于固定需检测工件，通过其底部螺纹孔以螺栓螺母固定的方法固定于底盘上；所述需检测工件通过其底部的螺纹孔以螺栓固定的方法固定于工件夹具上；所述光准直器组件包括光准直器、第一支撑架、第一三角形工装，光准直器穿过第一支撑架上端使用紧定螺钉固定在第一支撑架上，第一支撑架通过底部螺纹孔以螺栓螺母固定的方法固定于第一三角形工装上，第一三角形工装以螺栓螺母固定的方法固定于底盘上；所述光功率计组件包括光功率计、第二支撑架、第二三角形工装，光功率计通过底部螺栓固定在第二支撑架上，第二支撑架通过底部螺纹孔以螺栓螺母固定的方法固定于第二三角形工装上，第二三角形工装以螺栓螺母固定的方法固定于底盘上；所述激光输入光纤通过光纤转接头连接至光准直器组件。2.根据权利要求1所述的基于光反射的表面粗糙度检测装置，其特征在于在所述工件夹具底部有一与需检测工件...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶璟天，刘国兴，姬厚企，崔维杰，张鑫泉，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：