一种光学元件厚度检测方法及装置制造方法及图纸

一种光学元件厚度检测方法及装置，涉及光学检测厚度技术领域，包括以下步骤：S1，将光学元件固定；S2，在光学元件的上方设置一个激光检测光源；S3，在光学元件的下方放置一个光感接收板，激光检测光源与该光感接收板的距离为L；S4，在激光检测光源的正下方设置一个光接收器，其与激光检测光源的距离也为L；S5，将激光检测光源的光线照射方向与光接收器对正，记录检测光线达光接收器所用时间为T

【技术实现步骤摘要】
一种光学元件厚度检测方法及装置


[0001]本专利技术涉及光学检测厚度
，特别涉及一种光学元件厚度检测方法及装置。

技术介绍

[0002]厚度是光学元件的重要参数之一，其影响着光学元件所安装在的设备或仪器的精度和性能，厚度偏小通常会导致装配松动影响光路稳定性，厚度偏大则可能造成元件挤压变形，改变光学性能；因此，光学元件生产过程中对于厚度参数的检测是至关重要的。
[0003]目前可用于测量光学元件厚度的工具有很多种，但均存在一定的弊端；如传统的游标卡尺、螺旋测微器等工具在测量光学元件的厚度时，为了测量准确，工具与元件的接触面通常为硬质的金属表面，非常容易划伤光学元件表面，尤其是对于表面质量要求极高的元件，其表面被硬质材料接触后基本无法再出货使用；较为先进的三坐标检测仪、光学测厚仪则需要将元件放置于一个硬质平面上进行测量，同样会损伤元件表面；激光测距仪是一种无接触的测量方法，但由于抛光后的光学元件会透过光线，因此无法使用。目前，元件生产过程中大多通过抽检粗略估计一批产品的厚度达标情况，缺少准确又安全的光学元件测厚方法。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学元件厚度检测方法，其特征在于：包括以下步骤：S1，将平面形的光学元件（1）固定；S2，在光学元件（1）的上方设置一个激光检测光源（2），且该激光检测光源（2）的光线照射方向可在与该光学元件（1）垂直的平面内旋转；S3，在光学元件（1）的下方放置一个光感材料制成的光感接收板（3），该光感接收板（3）的光接收面为水平面，且确保激光检测光源（2）的光线照射方向始终与该光感接收板（3）的光接收面垂直，激光检测光源（2）与该光感接收板（3）的相对位置固定且距离为L；S4，在激光检测光源（2）的正下方设置一个光接收器（4），光接收器（4）与激光检测光源（2）的相对位置固定且距离也为L；S5，将激光检测光源（2）的光线照射方向与光接收器（4）对正，记录检测光线穿过光感元件到达光接收器（4）所用时间为T1；S6，再将激光检测光源（2）、光感接收板（3）及光接收器（4）一起在与光学元件（1）相垂直的平面内旋转一定角度α，使检测光线穿过光学元件（1）照射到光感接收板（3）上，测量得出检测光线到达光感接收板（3）上所用时间为T2；S7，设光学元件（1）检测部位的厚度均匀且值为h；检测光线在光学元件（1）中的速度为V1,检测光线在空气中的速度为c，根据以下方程公式：可解出，V1与h的值，从而得出光学元件（1）的厚度。2.根据权利要求1所述的一种光学元件厚度检测方法，其特征在于：所述光感接收板（3）为一种半导体材料制成。3.根据权利要求1所述的一种光学元件厚度检测方法，其特征在于：所述激光检测光源（2）为一种脉冲激光器或飞秒激光器，所述光接收器（4）的接收面积小于等于激光光束的截面积。4.根据权利要求1所述的一种光学元件厚度检测方法，其特征在于：所述光接收器（4）为一种光电二极管制成。...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱明露，李磊，王亦君，
申请(专利权)人：常州昭研智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：