相分离产物检测方法、装置、存储介质及电子设备制造方法及图纸

技术编号:39054009 阅读:11 留言:0更新日期:2023-10-12 19:47
本申请提供一种相分离产物检测方法、装置、存储介质及电子设备,涉及材料领域。其中,该电子设备获取目标样品的目标电镜图像;确定目标样品的至少一种候选产物;将至少一种候选产物的参考能量损失谱与目标电镜图像中提取的待匹配能量损失谱进行匹配,将匹配成功的候选产物作为目标样品中的相分离产物。如此,通过候选产物已知的参考能量损失谱与目标电镜图像中的能量损失谱进行匹配,从而确定出目标样品中具体的相分离产物。样品中具体的相分离产物。样品中具体的相分离产物。

【技术实现步骤摘要】
相分离产物检测方法、装置、存储介质及电子设备


[0001]本申请涉及材料领域,具体而言,涉及一种相分离产物检测方法、装置、存储介质及电子设备。

技术介绍

[0002]当温度、压强等外界条件变化时,多组元体系的材料有时会分离成具有不同组分和结构的几个相,这一过程称作相分离。长久以来,对材料中相分离的研究一直受到业界的广泛关注,相分离在材料和化学领域应用较广。例如,富硅氧化硅薄膜,在真空或情性气氛中退火后会发生相分离,生成硅纳米晶和二氧化硅。又例如,Cu30Mn70合金浸入HCL溶液加电压腐蚀,也会发生相分离,Mn元素会被溶解,得到多孔Cu材料。因此,相分离对不同材料造成的影响有利也有弊。
[0003]目前,可以通过以下两种方式进行相分离检测:
[0004](1)由于每种样品的材料都具有自己独特的衍射斑点,对样品原子级图像进行傅里叶变换可得到材料中所含物质全部的衍射斑点,通过比较衍射斑点与原始材料衍射斑点的不同可判断原始材料变为样品的过程中是否发生相分离,但此方法无法说明分离的相具体是那种产物,以及该产物是以单质还是化合物的形式存;并且对设备要求较高,需要用透射电子显微镜(简称透射电镜)能够拍摄出样品的原子级图像。
[0005](2)利用能量色散X射线分光计技术可直观看出材料中所含元素及元素位置,但此方法只能观察单个元素的所在位置及富集浓度,同样无法说明分离出的多种元素是以单质存在还是多种元素的化合物存在,此外,还无法判断是否生成了新的产物。
[0006]因此,上述方法都具有一定局限性,无法准确判断原始材料是否发生相分离,以及相分离发生后的具体产物。

技术实现思路

[0007]为了克服现有技术中的至少一个不足,本申请提供一种相分离产物检测方法、装置、存储介质及电子设备,具体包括:
[0008]第一方面,本申请还提供一种相分离产物检测方法,所述方法包括:
[0009]获取目标样品的目标电镜图像;
[0010]确定所述目标样品的至少一种候选产物;
[0011]将所述至少一种候选产物的参考能量损失谱与所述目标电镜图像中提取的待匹配能量损失谱进行匹配,将匹配成功的候选产物作为所述目标样品中的相分离产物。
[0012]结合第一方面的可选实施方式,所述将所述至少一种候选产物的参考能量损失谱与所述目标电镜图像中提取的待匹配能量损失谱进行匹配,将匹配成功的候选产物作为所述目标样品中的相分离产物,包括:
[0013]对于每种候选产物,获取所述候选产物的参考能量损失谱;
[0014]提取所述目标电镜图像中不同区域的多张待匹配能量损失谱;
[0015]若所述多张待匹配能量损失谱中的任意一张与所述候选产物的参考能量损失谱匹配成功,则将所述候选产物确定为所述目标样品中的相分离产物。
[0016]结合第一方面的可选实施方式,所述若所述多张待匹配能量损失谱中的任意一张与所述候选产物的参考能量损失谱匹配成功,则将所述候选产物确定为所述目标样品中的相分离产物;
[0017]对于每张待匹配能量损失谱,获取所述待匹配能量损失谱与所述参考能量损失谱之间谱峰的相似度以及形状的相似度;
[0018]若所述谱峰的相似度以及形状的相似度满足预设匹配条件,则将所述候选产物确定为所述目标样品中的相分离产物。
[0019]结合第一方面的可选实施方式,所述提取所述目标电镜图像中不同区域的多张待匹配能量损失谱,包括:
[0020]对于每个区域的局部图像,从所述局部图像中提取每种能量损失的电子数量;
[0021]根据每种能量损失的电子数量,生成所述局部图像的待匹配能量损失谱。
[0022]结合第一方面的可选实施方式,确定所述目标样品的至少一种候选产物,包括:
[0023]获取原始材料的元素成分以及将所述原始材料转换为所述目标样品的测试环境信息;
[0024]根据所述元素成分与所述测试环境信息,确定出所述目标样品的至少一种候选产物。
[0025]结合第一方面的可选实施方式,所述获取目标样品的目标电镜图像,包括:
[0026]获取目标样品经透射电镜拍摄的原始图像;
[0027]从所述原始图像中减少干扰信息,得到所述目标样品的目标电镜图像。
[0028]结合第一方面的可选实施方式,所述从所述原始图像中减少干扰信息,得到所述目标样品的目标电镜图像,包括:
[0029]将所述原始图像进行零损失峰进行校准,得到所述原始图像的校准图像;
[0030]消除所述校准图像中的零损失峰,得到所述目标电镜图像。
[0031]第二方面,本申请还提供一种相分离产物检测装置,所述装置包括:
[0032]图像模块,用于获取目标样品的目标电镜图像;
[0033]产物模块,用于确定所述目标样品的至少一种候选产物;
[0034]匹配模块,用于将所述至少一种候选产物的参考能量损失谱与所述目标电镜图像中提取的待匹配能量损失谱进行匹配,将匹配成功的候选产物作为所述目标样品中的相分离产物。
[0035]结合第二方面的可选实施方式,所述匹配模块还用于:
[0036]对于每种候选产物,获取所述候选产物的参考能量损失谱;
[0037]提取所述目标电镜图像中不同区域的多张待匹配能量损失谱;
[0038]若所述多张待匹配能量损失谱中的任意一张与所述候选产物的参考能量损失谱匹配成功,则将所述候选产物确定为所述目标样品中的相分离产物。
[0039]结合第二方面的可选实施方式,所述匹配模块还用于:
[0040]对于每张待匹配能量损失谱,获取所述待匹配能量损失谱与所述参考能量损失谱之间谱峰的相似度以及形状的相似度;
[0041]若所述谱峰的相似度以及形状的相似度满足预设匹配条件,则将所述候选产物确定为所述目标样品中的相分离产物。
[0042]结合第二方面的可选实施方式,所述匹配模块还用于:
[0043]对于每个区域的局部图像,从所述局部图像中提取每种能量损失的电子数量;
[0044]根据每种能量损失的电子数量,生成所述局部图像的待匹配能量损失谱。
[0045]结合第二方面的可选实施方式,所述产物模块还用于:
[0046]获取原始材料的元素成分以及将所述原始材料转换为所述目标样品的测试环境信息;
[0047]根据所述元素成分与所述测试环境信息,确定出所述目标样品的至少一种候选产物。
[0048]结合第二方面的可选实施方式,所述图像模块还用于:
[0049]获取目标样品经透射电镜拍摄的原始图像;
[0050]从所述原始图像中减少干扰信息,得到所述目标样品的目标电镜图像。
[0051]结合第二方面的可选实施方式,所述图像模块还用于:
[0052]将所述原始图像进行零损失峰进行校准,得到所述原始图像的校准图像;
[0053]消除所述校准图像中的零损失峰,得到所述目标电镜图像本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种相分离产物检测方法,其特征在于,所述方法包括:获取目标样品的目标电镜图像;确定所述目标样品的至少一种候选产物;将所述至少一种候选产物的参考能量损失谱与所述目标电镜图像中提取的待匹配能量损失谱进行匹配,将匹配成功的候选产物作为所述目标样品中的相分离产物。2.根据权利要求1所述的相分离产物检测方法,其特征在于,所述将所述至少一种候选产物的参考能量损失谱与所述目标电镜图像中提取的待匹配能量损失谱进行匹配,将匹配成功的候选产物作为所述目标样品中的相分离产物,包括:对于每种候选产物,获取所述候选产物的参考能量损失谱;提取所述目标电镜图像中不同区域的多张待匹配能量损失谱;若所述多张待匹配能量损失谱中的任意一张与所述候选产物的参考能量损失谱匹配成功,则将所述候选产物确定为所述目标样品中的相分离产物。3.根据权利要求2所述的相分离产物检测方法,其特征在于,所述若所述多张待匹配能量损失谱中的任意一张与所述候选产物的参考能量损失谱匹配成功,则将所述候选产物确定为所述目标样品中的相分离产物,包括:对于每张待匹配能量损失谱,获取所述待匹配能量损失谱与所述参考能量损失谱之间谱峰的相似度以及形状的相似度;若所述谱峰的相似度以及形状的相似度满足预设匹配条件,则将所述候选产物确定为所述目标样品中的相分离产物。4.根据权利要求2所述的相分离产物检测方法,其特征在于,所述提取所述目标电镜图像中不同区域的多张待匹配能量损失谱,包括:对于每个区域的局部图像,从所述局部图像中提取每种能量损失的电子数量;根据每种能量损失的电子数量,生成所述局部图像的待匹配能量损失谱。5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:王笑乙马振宇邱杨陈龙庆文蓉崔旭东张坤邓勇胡文宇
申请(专利权)人:攀枝花容则钒钛有限公司
类型:发明
国别省市:

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