铜银薄膜滤色器及制法制造技术

本发明专利技术涉及一种铜银薄膜滤色器，包含：下方铜层；沉积在下方铜层上的下方银层；沉积在下方银层上的介质；沉积在介质上的上方铜层；以及沉积在上方铜层上的上方银层。本发明专利技术还提供一种铜银薄膜滤色器的制法，包含：提供下方铜层，作为种子层；以电镀方式在下方铜层上沉积下方银层；在下方银层上沉积介质；在介质上沉积上方铜层，作为种子层；以及以电镀方式在上方铜层上沉积上方银层。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种铜银薄膜滤色器(color filter)及其制法。
技术介绍
滤色器是彩色影像处理所需要的元件，例如在影像传感器中即需要使用之。现有 技术以类光阻性的材料涂层制作滤色器。在美国专利第2006/0180886号申请公开案中，公 开了一种根据Fabry-Perot谐振方式，以银薄膜制成的滤色器。所谓Fabry-Perot谐振如 图1所示，在两层良好反射体之间，入射光将不断反射，仅有特定的谐振频率才能穿透，因 此具有滤波效果。然而，银的沉积制程目前尚未能整合在一般半导体晶圆制程中，美国专利 第2006/0180886号案所述的银薄膜结构，在实际制作上尚难实现。本专利技术提供一种新颖的滤色器结构与制法，使得Fabry-Perot谐振滤色器得以一 般半导体晶圆制程来制作。
技术实现思路
本专利技术的第一目的在于克服现有技术的不足与缺陷，提出一种铜银薄膜滤色器。本专利技术的第二目的在于，提出上述铜银薄膜滤色器的制法。为达上述目的，就本专利技术的其中一个观点而言，提供了一种铜银薄膜滤色器，包 含下方铜层；沉积在下方铜层上的下方银层；沉积在下方银层上的介质；沉积在介质上的 上方铜本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种铜银薄膜滤色器，其特征在于，包含：下方铜层；沉积在下方铜层上的下方银层；沉积在下方银层上的介质；沉积在介质上的上方铜层；以及沉积在上方铜层上的上方银层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄森煌，彭进宝，徐新惠，
申请(专利权)人：原相科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71