可实现自动取样的超纯水设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种可实现自动取样的超纯水设备，包括安装箱体、过滤储液单元、采样检测机构、循环机构以及控制器，与采样检测机构及循环机构电性连接。本实用新型专利技术提供的可实现自动取样的超纯水设备，设置了过滤储液单元，可以通过各过滤储液单元上的过滤罐过滤水体中的悬浮颗粒和小分子有机物，承载经过过滤的水体；设置了采样检测机构，可以对储液腔内的水体进行采样并检测；设置了循环机构，可以连通各过滤罐和各储液罐，可以在采样检测机构所检测的水体不合格后，将储液罐中的水体循环至各过滤罐内；设置了控制器，可以控制循环机构工作；可以对初步吸附过滤过程中的各步骤进行水质检测，避免时间的浪费，提高制备的效率，实用性好。实用性好。实用性好。

【技术实现步骤摘要】
可实现自动取样的超纯水设备


[0001]本技术属于抽样检测
，具体涉及一种可实现自动取样的超纯水设备。

技术介绍

[0002]超纯水又称UP水，其在超纯材料中应用较为广泛，可以用于超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料、晶圆及晶片等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程。超纯水的初步吸附过滤阶段包括蜂房过滤器、活性炭过滤器、压缩活性炭过滤器、保安过滤器；
①
蜂房过滤器的主要作用是去除大于10um的凝聚胶体和悬浮颗粒；
②
活性炭过滤器的主要作用是活性炭利用本身良好的吸附作用将水中的余下氯气和小分子有机物截留在滤芯，随滤芯带走；
③
压缩活性炭的主要作用是利用比活性炭更强的吸附作用更深度的从原水中除去余下氯气和小分子有机物，保证反渗透水质要求；
④
保安过滤器同样是最后一步从原水中去除大于5um的凝聚胶体和悬浮颗粒，进一步保证反渗透水质要求。
[0003]在现有技术中，超纯水的初步吸附过滤过程结束后，需要对通过初步吸附过滤的水体进行检本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.可实现自动取样的超纯水设备，其特征在于，包括：安装箱体，具有承载腔；过滤储液单元，设有多个，每个所述过滤储液单元均包括过滤罐以及储液罐；所述过滤罐设置在所述承载腔内，具有过滤腔，所述过滤罐上均设有过滤进口和过滤出口；所述储液罐设置在所述承载腔内，具有储液腔，所述储液罐上均设有与所述过滤出口连通的储液进口，所述储液罐设有储液出口及循环口；采样检测机构，设有多个，各所述采样检测机构分别设置在各所述储液罐上，用于对所述储液腔内的水体进行采样并检测；循环机构，设置在所述承载腔中，且与各所述循环口相连，所述循环机构还与各所述过滤进口相连，用于在所述采样检测机构所检测的水体不合格后，将所述储液罐中的水体循环至各所述过滤进口；控制器，与所述采样检测机构及所述循环机构电性连接。2.如权利要求1所述的可实现自动取样的超纯水设备，其特征在于，所述过滤进口位于所述过滤罐的顶端，所述过滤出口位于所述过滤罐的底端。3.如权利要求2所述的可实现自动取样的超纯水设备，其特征在于，各所述过滤腔中均设有过滤结构，所述过滤结构包括填料以及位于所述填料下方的滤芯。4.如权利要求1所述的可实现自动取样的超纯水设备，其特征在于，所述循环机构包括：循环泵，具有循环泵进口及循环泵...

【专利技术属性】
技术研发人员：王倩，王晓颖，
申请(专利权)人：江苏惠达电子科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：