【技术实现步骤摘要】
本技术属于排片机，具体涉及一种排片机用气流除尘装置。
技术介绍
1、排片机在工作时，机械手将石英晶片抓取并放置在掩膜版上，并借助负压将石英晶片吸附在掩膜版上。排布操作完成之后，再将掩膜版输送至出口处，排片机在经过一段时间的工作后，石英晶片放入排片机内或者从排片机中取走均需要打开排片机，导致外界的灰尘会进入到排片机内。在排布石英晶片时，石英晶片与排片机内部的部件相接触过程中，致使其表面沾染上灰尘，影响后续的制作工序。
技术实现思路
1、本技术实施例提供一种排片机用气流除尘装置，以解决现有技术中存在的石英晶片表面沾染灰尘，影响后续工序的技术问题。
2、为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：提供一种排片机用气流除尘装置，包括：
3、支撑架，开设有除尘空间；输送机设于所述除尘空间内；
4、除尘机构，设于所述除尘空间内，且位于所述输送机的上方；所述除尘机构包括吹风机、连接软管及排风管，所述吹风机设于所述支撑架上；所述连接软管一端与所述吹风机的出风口连通，另一端与...
【技术保护点】
1.一种排片机用气流除尘装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种排片机用气流除尘装置，其特征在于，所述支撑架相对的两侧壁均开设有滑槽；所述往返机构包括连接杆、驱动器及弹簧，所述连接杆一端与所述排风管固定连接，另一端与所述滑槽滑动连接；所述驱动器设于所述支撑架上，且自由端与所述连接杆传动连接，用于推动所述连接杆沿所述滑槽移动；所述弹簧设于所述滑槽内，且位于所述连接杆远离所述驱动器的一侧，所述弹簧一端与所述连接杆固定连接，另一端与所述滑槽内壁固定连接。
3.如权利要求2所述的一种排片机用气流除尘装置，其特征在于，所述驱动器的自由端固设有...
【技术特征摘要】
1.一种排片机用气流除尘装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种排片机用气流除尘装置，其特征在于，所述支撑架相对的两侧壁均开设有滑槽；所述往返机构包括连接杆、驱动器及弹簧，所述连接杆一端与所述排风管固定连接，另一端与所述滑槽滑动连接；所述驱动器设于所述支撑架上，且自由端与所述连接杆传动连接，用于推动所述连接杆沿所述滑槽移动；所述弹簧设于所述滑槽内，且位于所述连接杆远离所述驱动器的一侧，所述弹簧一端与所述连接杆固定连接，另一端与所述滑槽内壁固定连接。
3.如权利要求2所述的一种排片机用气流除尘装置，其特征在于，所述驱动器的自由端固设有垫板，所述垫板上设有与所述连接杆相适配的弧形面。
4.如权利要求2所述的一种排片机用气流除尘装置，其特征在于，所述往返机构还设有固定架，所述固定架固设于所述支撑架侧壁上，所述驱动器固定安装于所述固定架内。
5.如权利要求1所述的一种排片机用气流除尘装置，其特征在于，所述排风管的排风口为上小下大的梯形结构。
6.如权利要求1所述的一种排片机用气流除尘装置，其特征在于，所述排风管内设有多个挡风板，多个所述挡风板平行间隔设于所述排风管内，所述挡风板的侧面与所述排风管的排风方向呈夹角设...
【专利技术属性】
技术研发人员：王倩，王晓颖，
申请(专利权)人：江苏惠达电子科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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