放电灯制造技术

提供一种可靠性高的放电灯，具备可简单且稳定接合电极主体与电极轴部的电极接合构造，并可防止电极主体从电极轴部脱离而落下的不良情况。在发光管的两端连续设置密封管而形成的放电容器的内部空间，配置有在发光管的管轴方向上相对的一对电极，电极具有电极主体（５１）和电极轴部（５２），电极主体具有与前端部连接的大致圆柱状的主体部，在电极轴部的前端部形成有外螺纹部（５２２），在电极主体的后端部形成的凹部内壁形成有内螺纹部（５１２），电极主体与电极轴部通过螺合而连接，在电极主体的内螺纹部与电极轴部的外螺纹部之间夹持有金属部件（７），金属部件的一部分以被压溃的状态配置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种放电灯，特别是涉及作为半导体元件、液晶元件、 印刷基板元件等的曝光用光源或投影用投影装置的光源而使用的短弧 型放电灯。
技术介绍
在上述
中所使用的放电灯记载于例如专利文献1、 2等。图8是表示专利文献1、 2所记载的短弧型放电灯的结构的局部剖 视图。如该图8所示，短弧型放电灯101的放电容器102在发光管103 的两端连续设置有朝外侧延伸的密封管104。在发光管103的内部，一 对电极105、 106隔着预定间隔彼此相对配置。电极105、 106各自的 电极主体1051、 1061固定于电极轴部1052、 1062。另外，电极轴部 1052、 1062固定于密封管104、 104内的未图示的金属盘而被石英支承。 电极105、 106由钨构成，例如包括由整体呈大致圆柱状且在前端部 及后端部分别朝外侧前端变细地形成有曲面或斜面的阳极105;和前端 为尖塔状的阴极106。另外，该短弧型放电灯101在用于上述
中的各种元件的曝光时，通常保持阳极105为上而阴极106为下的垂 直状态，并与适当的光学系统共同使用。在这种短弧型放电灯101中，电极主体1051是通过冲压压入而插 入电极轴部1052中而与电极轴部1052接合。其保持力取决于电极轴 部1052与电极主体1051的孔(未图示)内表面的摩擦。但由于在电极主 体1051的孔与电极轴部1052的直径之间存在尺寸精度上的误差等，3因此在例如专利文献l中采取下述对策，即如图9(a)所示，在电极主体 1051的孔与电极轴部1052之间适宜地置入金属箔107，在接合电极主 体1051与电极轴部1052时，控制压入时所施加的力，从而防止电极 主体1051的脱离及落下。但即使采取这样的对策，也无法消除电极主 体1051的孔与电极轴部1052的直径的尺寸精度等的影响，电极主体 1051会因运输时的振动等而从电极轴部1052脱离、落下。此外，在专利文献3中公开了如图9(b)所示通过螺合连接1053来 结合电极主体1051与电极轴部1052的电极。但由于螺合连接1053也 为金属之间的结合，因此会因冲击、振动而引起结合松弛，当无视该 松弛时，会有电极主体1051落下的可能性，因此需要确实地将电极主 体1051与电极轴部1052连接，提高可靠性、安全性。专利文献l:日本特开2003-331780号公报 专利文献2:日本特幵2001-015070号公报 专利文献3:日本特开平5-325891号公报
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述的问题点而研制，其目的在于提供一种可靠性 高的放电灯，具备能够简单且稳定地接合电极主体与电极轴部的电极 接合构造，能够防止电极主体从电极轴部脱离而落下的不良情况。为了解决上述课题，本专利技术采取下述方法。第1方法的放电灯，在发光管的两端连续设置密封管而形成的放 电容器的内部空间，配置有在所述发光管的管轴方向上相对的一对电 极，所述电极具有电极主体和电极轴部，所述电极主体具有与前端部 连接的大致圆柱状的主体部，在所述电极轴部的前端部形成有外螺纹 部，在所述电极主体的后端部形成的凹部内壁形成有内螺纹部，电极 主体与电极轴部通过螺合而连接，所述放电灯的特征在于，在所述电极主体的内螺纹部与所述电极轴部的外螺纹部之间夹持有金属部件， 所述金属部件的一部分以被压溃的状态配置。第2方法的放电灯的特征在于，在第1方法中，所述金属部件由 金属箔构成。第3方法的放电灯的特征在于，在第1方法中，在所述电极轴部 的外螺纹部，以贯通螺纹的方式在轴向上形成有孔或槽，所述金属部 件为棒状体，所述金属部件与所述孔或所述槽嵌合而配置。第4方法的放电灯的特征在于，在第1至第3方法中的任一种方 法中，具有多个所述金属部件，该多个金属部件在所述电极主体的圆 周方向上隔着间隔而配置。第5方法的放电灯的特征在于，在第1至第4方法中的任一种方 法中，所述外螺纹部的基端部埋入于所述电极主体内部。第6方法的放电灯的特征在于，在第5方法中，在所述电极轴部 形成有随着从所述外螺纹部的基端部靠向电极轴部的后方而扩大直径 的锥面，该锥面埋入于所述电极主体内部。根据第1方法所记载的专利技术，在外螺纹部与内螺纹部之间，金属 部件压溃而配置，所以结合状态强固，能够防止电极主体从轴部脱落。根据第2方法所记载的专利技术，使用能够简单地制造的金属箔作为 金属部件，从而能够获得良好的结合状态。根据第3方法所记载的专利技术，在将电极轴部与电极主体螺合时， 能够使金属部件不产生偏移地配置于预定位置。根据第4方法所记载的专利技术，能够防止电极主体与电极轴部的轴 偏移。根据第5方法所记载的专利技术，能够防止应力集中于外螺纹部的基 端部，能够防止电极轴部折损，能够得到可靠性高的灯。根据第6方法所记载的专利技术，能够进一步缓和施加到外螺纹部的 基端部的应力，能够得到可靠性更高的灯。附图说明图1是表示本专利技术的短弧型放电灯1的结构的局部剖视图。 图2是说明本专利技术的实施方式的图，是图1所示的阳极5的放大 剖视图。图3是用于说明本专利技术的实施方式的阳极的制作工序的图，是成 为电极主体的钩圆柱体的剖视图和成为电极轴部的钨棒的侧视图及剖 视图。图4是其它实施方式的电极轴部的放大剖视图。 图5是其它实施方式的电极轴部的放大剖视图。 图6是表示其它实施方式的电极主体与电极轴部的结合部的放大 剖视图。图7是表示其它实施方式的电极主体与电极轴部的结合部的放大 剖视图。图8是表示专利文献1、 2所记载的短弧型放电灯的结构的局部剖 视图。图9是表示现有技术的电极的电极主体与电极轴部的结合方法的 剖视图。具体实施方式使用图l至图7说明本专利技术的实施方式。图1是表示本实施方式的专利技术的短弧型放电灯1的结构的局部剖视图。如该图1所示，短弧型放电灯1的放电容器2由石英玻璃形成，由椭圆球形的发光管3和从发光管3的两端朝外侧延伸地连续设置的 筒状的密封管4构成，在与发光管3连续的密封管4的靠近发光管3 的部位，形成有密封管4的一部分的直径变小的状态的缩径部41。在 放电容器2的发光管3内，阳极5及阴极6彼此相对配置。这些电极5、 6的电极主体51、 61分别由钨构成，分别固定支撑于同样由钨构成的 圆柱状的电极轴部52、 62的前端部。图2是用于说明本专利技术的一个实施方式的图1中的阳极5的放大 剖视图。如该图2所示，阳极5由电极主体51与电极轴部52构成，在电 极主体51的基端面511设有比电极轴部52的直径稍小的圆柱状的凹 部，通过在其内周面形成螺纹，形成有内螺纹部512。另外，在电极轴 部52的前端部，形成有外螺纹部522，其外周形成有与内螺纹部512 的螺纹螺合的螺纹，将电极轴部52的外螺纹部522插入至电极主体51 的内螺纹部512中进行螺合而结合。并且，在螺合部，在内螺纹部512及外螺纹部522间，存在作为 金属部件的金属箔7，被配置成通过螺合而压溃的状态。由于金属箔7 特别是使用于阳极5，因此由在高温下具有耐性的高熔点金属构成，作 为具体的材质，优选钼、钽等具有易变形性的材质，其中更优选钽。接着，使用图3说明阳极5的制作工序。图3(a)是成为电极主体51的钨圆柱体51A的剖视图，图3(b)是成 为电极轴部52的钨棒52A的侧视图与剖视图。如图3(a)所示，在成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种放电灯，在发光管的两端连续设置密封管而形成的放电容器的内部空间，配置有在所述发光管的管轴方向上相对的一对电极，所述电极具有电极主体和电极轴部，所述电极主体具有与前端部连接的大致圆柱状的主体部，在所述电极轴部的前端部形成有外螺纹部，在所述电极主体的后端部形成的凹部内壁形成有内螺纹部，电极主体与电极轴部通过螺合而连接，所述放电灯的特征在于，　在所述电极主体的内螺纹部与所述电极轴部的外螺纹部之间夹持有金属部件，所述金属部件的一部分以被压溃的状态配置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：寺口贤二，北野洋好，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]