支撑片、工件加工物的制造方法及支撑片的再生方法技术

本发明专利技术提供一种支撑片(1)，其具备基材(11)与设置在基材(11)的一个面(11a)上的粘着剂层(12)，粘着剂层(12)为能量射线固化性，通过粘着剂层(12)将支撑片(1)贴附于硅镜面晶圆的镜面时，粘着剂层(12)与硅镜面晶圆之间的粘着力(X0)为5000mN/25mm以下，以130℃对粘着剂层(12)进行加热、使其进行能量射线固化时，粘着剂层(12)的能量射线固化物与硅镜面晶圆之间的粘着力(X1)为400mN/25mm以下。间的粘着力(X1)为400mN/25mm以下。间的粘着力(X1)为400mN/25mm以下。

【技术实现步骤摘要】
支撑片、工件加工物的制造方法及支撑片的再生方法


[0001]本专利技术涉及支撑片、工件加工物的制造方法及支撑片的再生方法。本申请基于2022年3月28日在日本提出申请的日本特愿2022
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052005号主张优先权，并将其内容援用于此。

技术介绍

[0002]在对晶圆等工件进行加工而制造芯片等工件加工物时，使用支撑片。作为代表性的支撑片，可列举出具备基材与设置在所述基材的一个面上的粘着剂层而构成的支撑片。支撑片中的粘着剂层例如贴附于作为加工对象的工件，支撑片固定加工中的工件。当加工为切割时，支撑片作为切割片发挥作用。最终，从支撑片上拉离所得到的工件加工物而将其拾取，用于目标用途。此时，当粘着剂层为能量射线固化性时，通过使粘着剂层进行能量射线固化来降低粘着剂层的固化物与工件加工物之间的粘着力，因此拾取工件加工物变得容易。
[0003]有时会在粘着剂层的与基材侧为相反侧的面上进一步设置用于在工件上形成保护膜的保护膜形成膜，从而构成保护膜形成用复合片。将保护膜形成用复合片中的保护膜形成膜例如贴附于作为加工对象的工件，用保护膜形成用复合片固定加工中的工件，同时在工件或工件加工物上形成保护膜。最终以具备保护膜的状态将所得到的工件加工物从支撑片上拉离而将其拾取，用于目标用途。然后，与上述相同，当粘着剂层为能量射线固化性时，使粘着剂层进行能量射线固化，由此具备保护膜的工件加工物的拾取变得容易。
[0004]另一方面，支撑片有时以贴附有工件或工件加工物的状态而被加热。该加热有时例如为了去除附着在工件的表面上的低分子量的树脂成分等异物而进行。此外，在用水清洗并去除进行工件的切割等加工时产生并附着在工件加工物的表面上的微小异物之后，有时也会为了对工件加工物等进行干燥而进行该加热。然后，通常将加热温度的上限值设为135℃左右来进行上述加热。然而，若支撑片的耐热性不充分，则以上述温度对贴附有工件或工件加工物的支撑片进行加热时，最终可能会无法从支撑片上拾取工件加工物。
[0005]作为具有耐热性、适合进行加热的支撑片，公开了一种支撑片(工件加工用片)，其具备基材与粘着剂层，以120℃加热4小时之后的基材的23℃下的杨氏模量、120℃下的基材的储能模量E
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均被规定在特定的范围(参照专利文献1)。现有技术文献专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2021
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119592号公报

技术实现思路

本专利技术要解决的技术问题
[0007]在工件加工物的制造中，虽然暂时将支撑片贴附于工件，但会因空气的气泡混入工件与支撑片之间等而在工件上的一部分或整个面上产生未能一致地贴附支撑片的异常，
有时需要将该一部分附近或整个面的支撑片从工件上剥离，并进行再次贴附。
[0008]然而，当粘着剂层为能量射线固化性时，由于其在进行能量射线固化之前的粘着力较大，因此在将支撑片贴附于工件并产生所述异常时，难以从工件上剥离支撑片而不造成支撑片发生较大变形，有时支撑片会伸长变形至难以再次贴附于上述支撑片的程度。对此，专利文献1所公开的支撑片未以解决该问题点为目的。
[0009]除此以外，当粘着剂层为能量射线固化性时，若使其进行能量射线固化之前的粘着力较小，则在使用水来清洗并去除附着在工件加工物的表面上的微小异物之后、为了干燥工件加工物等而进行了加热的支撑片有最终无法从支撑片上拾取工件加工物的倾向。
[0010]本专利技术的目的在于提供一种支撑片，其具备基材与粘着剂层，能够将所述支撑片贴附于工件的背面，然后以再次贴附为目的，容易地从所述工件的背面剥离所述支撑片中的所述粘着剂层，能够将所述支撑片再生至可将所述支撑片再次贴附于工件的背面的状态，并且即使在对处于贴附有工件或工件加工物的状态的支撑片进行加热的情况下，也可从支撑片上正常地拾取工件加工物。此外，本专利技术的目的在于提供一种使用了所述支撑片的工件加工物的制造方法及支撑片的再生方法。解决技术问题的技术手段
[0011]为了解决上述技术问题，本专利技术采用以下的构成。(1)一种支撑片，其具备基材与设置在所述基材的一个面上的粘着剂层，其中，所述粘着剂层为能量射线固化性，通过所述粘着剂层将所述支撑片贴附于硅镜面晶圆的镜面，在23℃的温度条件下将具备所述支撑片的所述硅镜面晶圆静置保存30分钟，并测定所述粘着剂层与所述硅镜面晶圆之间的粘着力(X0)时，所述粘着力(X0)为5000mN/25mm以下，通过所述粘着剂层将所述支撑片贴附于硅镜面晶圆的镜面，以130℃对贴附后的所述粘着剂层进行加热，使加热后的所述粘着剂层进行能量射线固化，并测定所述粘着剂层的能量射线固化物与所述硅镜面晶圆之间的粘着力(X1)时，所述粘着力(X1)为400mN/25mm以下。(2)根据(1)所述的支撑片，其中，所述粘着剂层含有能量射线固化性化合物及能量射线固化性丙烯酸树脂。(3)根据(1)或(2)所述的支撑片，其中，通过所述粘着剂层将所述支撑片贴附于硅镜面晶圆的镜面，以130℃对贴附后的所述粘着剂层进行加热，并测定加热后的所述粘着剂层与所述硅镜面晶圆之间的粘着力(X2)时，所述粘着力(X2)为13000mN/25mm以上。(4)根据(1)～(3)中任一项所述的支撑片，其中，通过所述粘着剂层将所述支撑片贴附于不锈钢板的表面，以130℃对贴附后的所述粘着剂层进行加热，并测定加热后的所述粘着剂层与所述不锈钢板之间的粘着力(Y2)时，所述粘着力(Y2)为13000mN/25mm以上。(5)根据(1)～(4)中任一项所述的支撑片，其中，通过所述粘着剂层将所述支撑片贴附于不锈钢板的表面，以130℃对贴附后的所述粘着剂层进行加热，使加热后的所述粘着剂层进行能量射线固化，并测定所述粘着剂层的能量射线固化物与所述不锈钢板之间的粘着力(Y1)时，所述粘着力(Y1)为300mN/25mm以上。(6)根据(1)～(5)中任一项所述的支撑片，其中，所述粘着力(X0)为2000mN/25mm以上。
(7)一种工件加工物的制造方法，其具有以下工序：将(1)～(6)中任一项所述的支撑片中的所述粘着剂层贴附于工件与环形框架，由此将具备所述工件与设置在所述工件上的所述支撑片的带有支撑片的工件固定于所述环形框架的贴附工序；在所述贴附工序之后，对固定于所述环形框架的所述支撑片中的所述粘着剂层进行加热的加热工序；在所述贴附工序之后，对固定于所述环形框架的所述带有支撑片的工件中的所述工件进行加工，由此制作所述工件加工物的加工工序；在所述加热工序及加工工序之后，使贴附于所述环形框架的所述粘着剂层进行能量射线固化的固化工序；及在所述固化工序之后，从所述粘着剂层的固化物上拉离所述工件加工物并将其拾取的拾取工序。(8)一种支撑片的再生方法，其中，将(1)～(6)中任一项所述的支撑片中的所述粘着剂层贴附于工件的背面之后，从所述工件的背面剥离所述支撑片中的所述粘着剂层，使所述支撑片成为能够将所述支撑片再次贴附于工件的背面的状态，由此使所述支撑片再生。专利技术效果
[0012]根据本专利技术，可提供一种支撑片，其具备本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种支撑片，其具备基材与设置在所述基材的一个面上的粘着剂层，其中，所述粘着剂层为能量射线固化性，通过所述粘着剂层将所述支撑片贴附于硅镜面晶圆的镜面，在23℃的温度条件下将具备所述支撑片的所述硅镜面晶圆静置保存30分钟，并测定所述粘着剂层与所述硅镜面晶圆之间的粘着力(X0)时，所述粘着力(X0)为5000mN/25mm以下，通过所述粘着剂层将所述支撑片贴附于硅镜面晶圆的镜面，以130℃对贴附后的所述粘着剂层进行加热，使加热后的所述粘着剂层进行能量射线固化，并测定所述粘着剂层的能量射线固化物与所述硅镜面晶圆之间的粘着力(X1)时，所述粘着力(X1)为400mN/25mm以下。2.根据权利要求1所述的支撑片，其中，所述粘着剂层含有能量射线固化性化合物及能量射线固化性丙烯酸树脂。3.根据权利要求1或2所述的支撑片，其中，通过所述粘着剂层将所述支撑片贴附于硅镜面晶圆的镜面，以130℃对贴附后的所述粘着剂层进行加热，并测定加热后的所述粘着剂层与所述硅镜面晶圆之间的粘着力(X2)时，所述粘着力(X2)为13000mN/25mm以上。4.根据权利要求1～3中任一项所述的支撑片，其中，通过所述粘着剂层将所述支撑片贴附于不锈钢板的表面，以130℃对贴附后的所述粘着剂层进行加热，并测定加热后的所述粘着剂层与所述不锈钢板之间的粘着力(Y2)时，所述粘着力(Y2)为13000mN/25mm以上。5.根据权利要求1～4中任一...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤壮起，山下茂之，田中佑耶，
申请(专利权)人：琳得科株式会社，
类型：发明
国别省市：