一种集成式多轴电容压力传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种集成式多轴电容压力传感器，包括安装座，安装座上沿第一方向开设有第一活动槽，第一活动槽的槽侧壁沿第二方向开设有第二活动槽；第一活动槽的槽底壁上承载有极片安装座，极片安装座上安装有第一极片与第二极片，第一极片安装于极片安装座上，第二极片套设于第一活动槽的槽口边沿内；第一极片与第二极片之间设置有弹性部，弹性部的一端与第一极片的边缘固定连接，另一端与第二极片的边缘固定连接；第二活动槽中设置有延伸杆；第二活动槽的槽壁开设有避让孔，延伸杆的一端沿第二方向与极片安装座连接，延伸杆的另一端穿过避让孔设置于安装座外侧。通过上述设置，使本方案避免多组电容相互干扰的问题，具备结构紧凑的优点。凑的优点。凑的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种集成式多轴电容压力传感器


[0001]本专利技术涉及电容式传感器结构
，尤其涉及一种集成式多轴电容压力传感器。

技术介绍

[0002]电容式传感器作为压力传感器的一个类别，具备测量压力的功能；不同于电阻式压力传感器、压电式压力传感器等其他传感器，电容式传感器具备结构小巧、灵敏度高等优点。当前的电容式传感器，主要通过两个电极形成电容，当受到压力时，其中一个电极相对于另一个电极位移，改变两个电极之间的间距，从而改变电容的电容量，进而可以通过电容量的变化测得压力的大小。
[0003]由于电容式传感器受限于极片相对设置的形式，一般为单轴测量，即仅能测量单一方向的压力；但是在实际的检测环境中，还会要求电容式传感器可以依次检测不同方向的压力，即要求电容式传感器具备多轴测量的能力；如果，需要令电容式传感器进行多轴测量，则至少需要对应每个轴设置独立的一组电容，考虑到多组电容之间容易相互产生交叉干扰的问题，上述的多组电容通常会预留一定的间距，因此具备多轴测量功能的电容式传感器冗余空间较多，结构紧凑性低。
[0004]可见，为了满足依次检测不同方向压力的要求，常规的电容式传感器难以进一步提高结构的紧凑性，即当前的多轴电容式传感器存在结构空间不紧凑的技术问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种集成式多轴电容压力传感器，解决当前的多轴电容式传感器存在结构空间不紧凑的问题。
[0006]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：一种集成式多轴电容压力传感器，包括安装座，安装座上沿第一方向开设有第一活动槽，第一活动槽的槽侧壁沿第二方向朝外开设有第二活动槽，第二方向与第一方向垂直；第一活动槽的槽底壁上承载有极片安装座，极片安装座上安装有相对设置且相互平行的第一极片与第二极片，第一极片安装于极片安装座上，第二极片套设于第一活动槽的槽口边沿内；第一极片与第二极片之间设置有弹性部，弹性部沿第一方向开设有连接孔，连接孔的一端孔边沿与第一极片的边缘固定连接，连接孔的另一端孔边沿与第二极片的边缘固定连接；第二活动槽中设置有沿第二方向延伸设置的延伸杆；第二活动槽的槽壁对应延伸杆的位置开设有避让孔，延伸杆的一端沿第二方向与极片安装座连接，延伸杆的另一端穿过避让孔设置于安装座外侧。
[0007]可选地，第二极片与第一活动槽的槽口边沿之间设置有滑套；
滑套套设于第一活动槽的槽口边沿内，且能沿第一方向相对于第一活动槽滑动；滑套开设有第一安装槽，第二极片套设于第一安装槽内。
[0008]可选地，滑套的材质为玻璃纤维或陶瓷。
[0009]可选地，还包括外壳部，外壳部套设于安装座的外侧；外壳部朝向安装座的一端开设有第二安装槽，第二安装槽套设于安装座的外侧，且第二安装槽的槽侧壁与延伸杆的另一端抵接；第二安装槽的槽底壁开设有第三安装槽；滑套嵌设于第三安装槽内。
[0010]可选地，延伸杆位于安装座外侧的另一端向外凸设有定位部，定位部与安装座之间设置有压簧；压簧套设于延伸杆上，压簧的一端与定位部抵接，压簧的另一端与安装座抵接。
[0011]可选地，外壳部对应定位部的位置开设有沿第一方向延伸的滑动槽，定位部外套设有导向套，导向套套设于滑动槽中，并沿第一方向与滑动槽滑动连接。
[0012]可选地，第二活动槽的槽壁对应避让孔的位置凸设有呈环状的导向部，延伸杆穿过导向部。
[0013]可选地，延伸杆的数量为多个，且各延伸杆环绕极片安装座设置，且分别沿远离极片安装座的方向向外延伸设置。
[0014]可选地，第二方向包括第三方向与第四方向，第三方向与第四方向相互垂直设置；延伸杆的数量为四个，且环绕极片安装座等间距设置，其中两个延伸杆沿第三方向延伸设置，另外两个延伸杆沿第四方向延伸设置。
[0015]可选地，第一活动槽的槽底开设有第三活动槽；第三活动槽的槽底上安装有至少四个第三极片，第三极片与第一极片相对设置，第三极片沿第一极片的边沿间隔设置；其中，各延伸杆向内延伸的一侧至少设置有一第三极片。
[0016]与现有技术相比，本专利技术具有以下有益效果：本专利技术提供的集成式多轴电容压力传感器，其至少可测量第一方向及第二方向的压力，具备多轴测量的功能，能够满足依次检测不同方向压力的要求；具体地，检测第一方向的压力时，测试对象沿第一方向作用于第二极片，而第一极片承载于第一活动槽的槽底壁上，使得弹性部受压被压缩，使得第二极片向第一活动槽内移动，由此使得电容发生变化，进而测得第一方向的压力；检测第二方向的压力时，测试对象沿第二方向作用于延伸杆，令第一极片沿第二方向被推动，而第二极片套设于第一活动槽的槽口边沿内，因此使得弹性部受压相对于第一方向倾斜，使得第一极片相对于第二极片错位设置，此时极片的相对面积发生变化，进而测到第二方向的压力；综上，本集成式多轴电容压力传感器满足依次检测不同方向压力的要求，具备多轴测试的功能，且仅投入一组极片，避免了多组电容之间容易相互交叉干扰的问题，不需要预留较多的冗余空间，使得集成式多轴电容压力传感器的结构更加紧凑。因此，本集成式多轴电容压力传感器结构空间紧凑的优点。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可
以根据这些附图获得其它的附图。
[0018]本说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本专利技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本专利技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本专利技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。
[0019]图1为本实施例提供的集成式多轴电容压力传感器的整体结构示意图；图2为本实施例提供的集成式多轴电容压力传感器的爆炸结构示意图；图3为本实施例提供的集成式多轴电容压力传感器的俯视结构示意图；图4为图3沿C
‑
C处的剖面结构示意图；图5为图4于A处的局部放大结构示意图；图6为图4于B处的局部放大结构示意图；图7为第一极片与第三极片之间的第一状态结构示意图；图8为第一极片与第三极片之间的第二状态结构示意图。
[0020]图示说明：10、安装座；11、第一连接座；12、第二连接座；13、第三连接座；101、第一活动槽；102、第二活动槽；103、避让孔；104、第三活动槽；105、导向部；20、极片安装座；31、第一极片；32、第二极片；33、弹性部；34、第三极片；40、延伸杆；41、定位部；42、压簧；50、滑套；51、第一安装槽；60、外壳部；61、第二安装槽；62、第三安装槽；63、滑动槽。
具体实施方式
[0021]为使得本专利技术的专利技术目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成式多轴电容压力传感器，其特征在于，包括安装座（10），所述安装座（10）上沿第一方向开设有第一活动槽（101），所述第一活动槽（101）的槽侧壁沿第二方向朝外开设有第二活动槽（102），所述第二方向与所述第一方向垂直；所述第一活动槽（101）的槽底壁上承载有极片安装座（20），所述极片安装座（20）上安装有相对设置且相互平行的第一极片（31）与第二极片（32），所述第一极片（31）安装于所述极片安装座（20）上，所述第二极片（32）套设于所述第一活动槽（101）的槽口边沿内；所述第一极片（31）与所述第二极片（32）之间设置有弹性部（33），所述弹性部（33）沿所述第一方向开设有连接孔，所述连接孔的一端孔边沿与所述第一极片（31）的边缘固定连接，所述连接孔的另一端孔边沿与所述第二极片（32）的边缘固定连接；所述第二活动槽（102）中设置有沿所述第二方向延伸设置的延伸杆（40）；所述第二活动槽（102）的槽壁对应所述延伸杆（40）的位置开设有避让孔（103），所述延伸杆（40）的一端沿所述第二方向与所述极片安装座（20）连接，所述延伸杆（40）的另一端穿过所述避让孔（103）设置于所述安装座（10）外侧。2.根据权利要求1所述的一种集成式多轴电容压力传感器，其特征在于，所述第二极片（32）与所述第一活动槽（101）的槽口边沿之间设置有滑套（50）；所述滑套（50）套设于所述第一活动槽（101）的槽口边沿内，且能沿所述第一方向相对于所述第一活动槽（101）滑动；所述滑套（50）开设有第一安装槽（51），所述第二极片（32）套设于所述第一安装槽（51）内。3.根据权利要求2所述的一种集成式多轴电容压力传感器，其特征在于，所述滑套（50）的材质为玻璃纤维或陶瓷。4.根据权利要求2所述的一种集成式多轴电容压力传感器，其特征在于，还包括外壳部（60），所述外壳部（60）套设于所述安装座（10）的外侧；所述外壳部（60）朝向所述安装座（10）的一端开设有第二安装槽（61），所述第二安装槽（61）套设于所述安装座（10）的外侧，且所述第二安装槽（61）的槽侧壁与所述延伸杆（40）的另一端抵接；所述第二安装槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴浩，
申请(专利权)人：深圳市鑫精诚传感技术有限公司，
类型：发明
国别省市：