一种电阻-电容双模式柔性触觉传感器及传感器阵列制造技术

技术编号:38908302 阅读:29 留言:0更新日期:2023-09-25 09:26
本发明专利技术涉及一种电阻

【技术实现步骤摘要】
一种电阻

电容双模式柔性触觉传感器及传感器阵列


[0001]本专利技术属于触觉传感器
,具体涉及一种电阻

电容双模式柔性触觉传感器及传感器阵列。

技术介绍

[0002]在“智能制造”等工业背景下,机器人技术蓬勃发展,触觉传感器作为其重要组成部分之一,能够将环境中的有用信息及时反馈给感知系统,使得传感器在机器人感知领域取得更接近人类的感知能力。面向机械手复杂操作环境下的触觉传感器要求不仅能够感知力的变化,而且能够感知接触区域,另一方面,还需要具备柔性,适应不同的安装环境并且保证安全的环境交互。基于不同的物理传导机制,柔性触觉传感器主要有压阻式、电容式、压电式、摩擦起电式和电磁式。
[0003]上述传感器类型中,压阻式触觉传感器结构简单、动态范围宽,但重复性比较差并且存在一定迟滞性。电容式触觉传感器由于其高灵敏度被研究者们广泛关注,并且具有良好的频率响应和空间分辨率,但是它们容易受到外界干扰。压电式触觉传感器由于具有响应频率高的特点,更适合对振动信号进行获取,但其缺点在于不能对静态测试做出响应。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电阻

电容双模式柔性触觉传感器,其特征在于,包括:第一电极层、支撑件和第二电极层,所述支撑件设于所述第一电极层和所述第二电极层之间,使所述第一电极层与所述第二电极层间隔某一间距;所述第一电极层具有弹性形变部,所述弹性形变部朝向所述第二电极层一侧设有第一电容极板;所述第二电极层包括电阻层,所述第一电容极板的电阻率小于所述电阻层; 所述弹性形变部承受压力能够向所述电阻层凹陷,随压力增大而减少所述第一电容极板与所述电阻层的间距;所述弹性形变部承受压力达到指定值后所述第一电容极板接触所述电阻层,并随压力增大而增多与所述电阻层的接触面积;输出端,所述与所述第一电容极板、所述电阻层电性连接,输出所述电阻层的电压值和电阻值。2.如权利要求1所述的一种电阻

电容双模式柔性触觉传感器,其特征在于,所述第一电极层由聚酰亚胺薄膜和设于所述聚酰亚胺薄膜上的第一电容极板组成,所述第一电容极板为铜极板。3.如权利要求1所述的一种电阻

电容双模式柔性触觉传感器,其特征在于,所述支撑件为硅胶支撑件,并与所述第一电极层和所述第二电极层粘接。4.如权利要求1所述的一种电阻

电容双模式柔性触觉传感器,其特征在于,所述电阻层为石墨...

【专利技术属性】
技术研发人员:施怡潇潘俊杰孟海良鲍官军
申请(专利权)人:浙江工业大学
类型:发明
国别省市:

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