探测用承载台的旋转机构制造技术

本发明专利技术提供一种探测用承载台的旋转机构，其是固设于一基台上，该旋转机构包括：一马达、受控于该马达而转动的一螺杆、一端固接于该螺杆而于一滑轨上滑动的一滑块、一端枢接于该滑块的一连杆、以及一曲柄，该曲柄系利用一端而枢接于该连杆的另一端，而该曲柄的另一端是固接于该承载台，其中当该马达动作时，该螺杆转动以推动该滑块于该滑轨上滑动，使得该连杆相对于该滑块枢转，而使得该曲柄及该承载台相对于该基台而同时旋转一角度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种旋转机构，特别涉及应用在探测用承载台的旋转机构。
技术介绍
在LED、半导体等测试领域的测试机中，承载台用于承载LED、半导体等晶圆待测 物，通过在承载台进行一角度的旋转，将通过测试机的探针点触晶圆待测物的接触垫，进而 测试晶圆待测物的电性。一般常用的测试机是在承载台侧边使用皮带(belt)，通过马达带动皮带的方式， 使得承载台产生一角度的旋转。然而，由于承载台必须要维持该角度，因此使用皮带会有间 隙密度的问题，而影响承载台的旋转精度，最后则是导致晶圆待测物的电性测试不佳。请参阅图1，其为中国台湾专利1302862所提出的一种常用定位系统的俯视示意 图。在图1中，定位系统1主要是由第一平台10、配置于第一平台10上的第二平台11、配 置于第一平台10上的螺杆12、以及连接第二平台11与螺杆12的连杆13所构成。在定位系统1中，第二平台11可沿着一预定路径14而往复移动，其中预定路径14 的延伸方向与螺杆12成一夹角。当螺杆12转动而使得连杆13移动时，便能够带动第二平 台11沿着预定路径14移动，藉以提高定位的精度。然而，定位系统1的缺点在于，当螺杆12转动而使得连杆13移动时，螺杆12会产 生非水平于螺杆12方向的施力，因此，在使用上容易造成螺杆12的变形，进而影响定位系 统1移动时的精度。另一方面，请参阅图2，其为中国台湾专利1233847所提出的一种常用旋转机构的 俯视示意图。在图2中，旋转机构2主要是由马达20、受控于马达的螺杆21、连接于螺杆21 的连杆22、以可旋转一小角度的方式而连接于连杆22的曲柄23、以及作为旋转中心的工作 台24所构成。在旋转机构2中，当驱动马达20时，螺杆21转动便可使得连杆22移动，藉此微调 曲柄23而使得工作台24旋转，藉以提高定位的精度。然而，旋转机构2的缺点与图1的定位系统1相同，当驱动马达20时，螺杆21转 动使得连杆22移动的过程中，螺杆21除了产生水平于螺杆21方向的施力，也会产生非水 平于螺杆21方向的施力，容易产生变形而影响到精度。
技术实现思路
因此，有必要构思一种应用在探测用承载台的旋转机构，当工作台旋转时，螺杆不 会受到侧向力量而影响精度。根据上述构想，本专利技术一方面提出一种探测用承载台的旋转机构，包括一马达、 受控于该马达而转动的一螺杆、一端固接于该螺杆而于一滑轨上滑动的一滑块、一端枢接 于该滑块的一连杆、以及一曲柄，该曲柄利用一端而固接于该连杆的另一端，而该曲柄的另 一端是固接于该承载台，其中当该马达起动时，该螺杆转动以推动该滑块于该滑轨上滑动，使得该连杆相对于该滑块枢转，而使得该曲柄及该承载台同时旋转一角度。根据上述构想，本专利技术另一方面提出一种探测用承载台的旋转机构，包括一马达、受控于该马达而转动的一螺杆、一端固接于该螺杆而于一滑轨上滑动的一滑块、利用一 连接件与固接于该螺杆的该滑块相连而于该滑轨上滑动的另一滑块、一端枢接于未固接于 该螺杆的该滑块的一连杆、以及一曲柄，该曲柄利用一端而固接于该连杆的另一端，而该曲 柄的另一端是固接于该承载台，其中当该马达起动时，该螺杆转动以推动该等滑块于该滑 轨上滑动，使得该连杆相对于未固接于该螺杆的该滑块枢转，而使得该曲柄及该承载台同 时旋转一角度。根据上述构想，本专利技术再一方面提出一种探测用承载台的旋转机构，包括一马 达、受控于该马达而转动的一螺杆、一端固接于该螺杆而于一滑轨上滑动的一滑块、利用一 连接件与固接于该螺杆的该滑块相连而于该滑轨上滑动的另一滑块、一端枢接于固接于该 螺杆的该滑块的一连杆、以及一曲柄，该曲柄利用一端而枢接于该连杆的另一端，而该曲柄 的另一端是固接于该承载台，其中当该马达动作时，该螺杆转动以推动该等滑块于该滑轨 上滑动，使得该连杆相对于固接于该螺杆的该滑块枢转，而使得该曲柄及该承载台同时旋 转一角度。较佳者，该连杆是以旋转式关节而枢接于该滑块。较佳者，该曲柄是以旋转式关节而枢接于该连杆。较佳者，该角度是相对于该些滑块于该滑轨上滑动的距离而处于十度以内。较佳者，该旋转机构是固设于一基台上，且该曲柄及该承载台是相对于该基台而 同时旋转该角度。本专利技术通过下列图式及详细说明，使得更深入的了解。 附图说明图1是中国台湾专利1302862所提出的一种常用定位系统的俯视示意图。图2是中国台湾专利1233847所提出的一种常用旋转机构的俯视示意图。图3是本专利技术所提出探测用承载台的旋转机构一第一较佳实施例的俯视示意图。图4是本专利技术所提出探测用承载台的旋转机构一第二较佳实施例的俯视示意图。图5 本专利技术所提出探测用承载台之旋转机构一第三较佳实施例的俯视示意图。主要元件符号说明1定位系统10第一平台11第二平台12 螺杆13 连杆14预定路径2旋转机构20 马达21 螺杆22 连杆23 曲柄24工作台3旋转机构30 马达31 螺杆 32、32，滑块33 滑轨34 连杆35 曲柄36承载台361旋转中心37连接件ST 基台具体实施例方式请参阅图3，其为本专利技术所提出探测用承载台的旋转机构一第一较佳实施例的俯 视示意图。在图3中，旋转机构3是由马达30、受控于马达30而转动的螺杆31、一端固接 于螺杆31而于滑轨33上滑动的滑块32、一端枢接于滑块32的连杆34、以及曲柄35所构 成，且旋转机构3是固设于基台ST上。其中，曲柄35是利用一端而枢接于连杆34的另一 端、且利用另一端而固接于承载台36。其中，当马达30动作时，螺杆31转动以推动滑块32于滑轨33上滑动，使得连杆 34相对于滑块32枢转，而使得曲柄35及承载台36相对于基台ST而同时旋转处于十度以 内的一角度，以供被承载于承载台36上的待测物接受测试，此处所谓的曲柄35及承载台36 相对于基台ST而同时旋转，是指承载台36依据承载台36的旋转中心361进行旋转，而旋 转中心361的一端是固接在基台ST上，旋转中心361的另一端是枢接承载台36。由于曲柄 35的另一端是固接于承载台36，所以当滑块32移动使得连杆34枢转时，将使曲柄35与承 载台36依据旋转中心361进行旋转。要注意的是，上述所谓该角度的范围是指曲柄35及承 载台36相对于滑块32于滑轨33上滑动的距离而言；亦即，以滑块32于滑轨33上滑动的 距离范围为基准，曲柄35及承载台36相对于基台ST而同时旋转的角度范围在十度以内。值得一提的是，螺杆31是经由未图示出的一连轴器(Coupling)而受控于于马达 30。该连轴器的一端固接马达30的转轴、另一端则固接于螺杆31。在马达30动作时，由马 达的转轴带动该连轴器，再由该连轴器带动螺杆31转动。此外，连杆34是以旋转式关节而枢接于滑块32，曲柄35是以旋转式关节而枢接 于连杆34 ；也就是说，在螺杆31推动滑块32而使得曲柄35及承载台36同时旋转时，连杆 34与滑块32之间的关节会转动，曲柄35与连杆34之间的关节也会随之转动。与前述中国台湾专利1302862及1233847相比，本专利技术使用了滑轨，螺杆只受到轴 向力而不会受到侧向力的影响，因此不会产生变形而影响精度。请参阅图4，其为本专利技术所提出探测用承载台的旋转机构一第二较佳实施例的俯 视示意图。与图3的相异处在于，在滑轨33上多设置了一个滑块32’，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探测用承载台的旋转机构，包括：一马达；一螺杆，受控于该马达而转动；一滑块，一端固接于该螺杆，而于一滑轨上滑动；一连杆，一端枢接于该滑块；及一曲柄，利用一端而枢接于该连杆的另一端，该曲柄的另一端固接该承载台；其中，当该马达动作时，该螺杆转动以推动该滑块于该滑轨上滑动，使得该连杆相对于该滑块枢转，而使得该曲柄及该承载台同时旋转一角度。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨天德，
申请(专利权)人：旺矽科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]