本实用新型专利技术涉及集尘技术领域，且公开了一种真空管收集粉尘装置及真空吸附系统，所述真空管收集粉尘装置包括阻尘头和安装支架；所述阻尘头的远端作为引导部，所述引导部沿轴向的远端向近端其外径逐渐变大；所述安装支架与所述阻尘头连接，所述安装支架用于安装于所述盲管内，并使得所述阻尘头的外壁与所述盲管的内壁之间具有间隙；所述真空吸附系统安装有上述所述的真空管收集粉尘装置。本实用新型专利技术的真空管收集粉尘装置，通过阻尘头和安装支架的配合设置，可使得粉尘顺着阻尘头下滑至盲管的底部，且阻尘头会阻挡由于盲管内的粉尘不被干泵的吸力吸出，进而有效收集粉尘，缓解粉尘回流造成的干泵堵塞的问题。造成的干泵堵塞的问题。造成的干泵堵塞的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种真空管收集粉尘装置及真空吸附系统
[0001]本技术涉及集尘
，具体为一种真空管收集粉尘装置及真空吸附系统。
技术介绍
[0002]在真空管中常常设有干泵，干泵的作用是为了保证机台拥有良好的真空环境。但干泵在抽真空时，吸出的空气中通常会附带工艺副产物，比如粉尘等，因此会在真空管末端连接盲管，盲管作为真空管中收集粉尘的分支，其作用是使粉尘落至盲管中，而不会直接被吸入干泵里，从而改善干泵的工作环境。
[0003]而现有真空管中的盲管收集粉尘的作用不佳，是因为一旦干泵的抽力过大，即使掉落进盲管中的粉尘依然会陆续被干泵抽出，使得原有的盲管的收集粉尘的功能变差甚至失效，从而粉尘被抽入干泵中，使干泵出现异常宕机。
技术实现思路
[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种真空管收集粉尘装置及真空吸附系统，解决了现有盲管收集粉尘不佳的技术问题。
[0005]为实现以上目的，本技术提出了一种真空管收集粉尘装置，包括：阻尘头和安装支架；
[0006]所述阻尘头的远端作为引导部；沿所述阻尘头的轴向，所述引导部的远端向近端其外径逐渐变大；
[0007]所述安装支架与所述阻尘头连接，所述安装支架用于安装于盲管内，并使得所述阻尘头的外壁与所述盲管的内壁之间具有间隙。
[0008]可选地，所述引导部为半球面结构。
[0009]可选地，所述引导部的外壁为光面。
[0010]可选地，所述真空管收集粉尘装置还包括阻挡件，所述阻挡件设置于所述安装支架上，所述阻挡件上沿所述阻尘头的轴向贯通设置有若干个通孔；沿所述阻尘头的轴向，所述阻挡件位于所述阻尘头的远端侧，且所述阻挡件与所述阻尘头之间具有设定距离。
[0011]可选地，所述阻挡件呈圆盘形，且与所述阻尘头同轴设置。
[0012]可选地，所述安装支架包括连接轴，所述连接轴沿所述阻尘头的轴向延伸，且连接于所述阻尘头的远端，所述阻挡件设于所述连接轴上。
[0013]可选地，所述安装支架还包括底座，所述底座连接于所述连接轴的远端。
[0014]可选地，沿所述阻尘头的轴向，所述底座的近端距离所述阻挡件的远端的距离，大于所述阻挡件的近端距离所述阻尘头的远端的距离。
[0015]可选地，所述底座呈圆盘形，所述底座、所述连接轴以及所述阻尘头同轴设置。
[0016]本技术还提出了一种真空吸附系统，包括真空管、吸附管和盲管，所述真空管收集粉尘装置安装于所述盲管内，所述安装支架固定连接于所述盲管内，且使得所述阻尘
头的外壁与所述盲管的内壁之间具有间隙，所述阻尘头的远端沿所述盲管的轴向朝向所述真空管。
[0017]在本技术中，真空管收集粉尘装置可放置在盲管内部，阻尘头的外壁与所述盲管的内壁之间具有间隙供粉尘通过下沉，粉尘由于重力会先落到引导部的表面，再由引导部的表面引导滑至盲管内部，此时盲管远端的粉尘在受到干泵的抽力上升时，会被阻尘头的远端遮挡，以使得粉尘不会由于干泵的抽力而再次被抽回泵里，通过真空管收集粉尘装置的设置使得盲管能有效收集粉尘，增加盲管的收集粉尘量，缓解粉尘回流造成的干泵堵塞问题，减少泵的负载，从而提高干泵的使用寿命。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为现有的真空吸附系统的截面示意图；
[0020]图2为本技术真空管收集粉尘装置的结构示意图；
[0021]图3为本技术真空管收集粉尘装置的爆炸结构示意图；
[0022]图4为本技术真空管收集粉尘装置的侧视结构示意图；
[0023]图5为本技术真空吸附系统的结构示意图。
[0024]图中：1
‑
阻尘头；11
‑
引导部；2
‑
连接轴；3
‑
阻挡件；31
‑
通孔；4
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底座；5
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干泵；6
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机台；7
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粉尘；8
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真空管；9
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盲管；10
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吸附管；12
‑
套筒。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]本专利技术中，“外径”和“内径”对于圆形结构而言，对应的是直径尺寸，对于非圆形结构而言，内径指的是其内接圆的直径，外径指的是其外接圆的直径；“轴向”对于圆柱形杆状结构而言，对应的是其中轴线所在的方向，对于非圆柱的通道时，则轴向对应的是杆状结构的长度方向；
[0027]本专利技术中，“近端”和“远端”是从使用产品的操作者角度来看相对于彼此的元件或动作的相对方位、相对位置、方向，尽管“近端”和“远端”并非是限制性的，本实施例中，“近端”和“远端”是对应部件中沿阻尘头的轴向方向对应的两端。
[0028]请参考图1所示，现有的真空吸附系统包括干泵5、真空管8、盲管9和吸附管10，所述真空管8的近端与盲管9的远端同轴连接，吸附管10与真空管8的近端的外周壁连接，吸附管10的自由端用于与干泵5连接，真空管8的远端用于与机台6连接。
[0029]请参考图2至图4所示，本实施例中提供了一种真空管收集粉尘装置，包括阻尘头1、安装支架和阻挡件3；
[0030]所述阻尘头1的远端作为引导部11；沿所述阻尘头的轴向，所述引导部11的远端向近端其外径逐渐变大；所述安装支架与所述阻尘头1连接，所述安装支架用于安装于所述盲管9内，并使得所述阻尘头1的外壁与所述盲管9的内壁之间具有间隙。
[0031]将所述阻尘头1和安装支架组装后放置在盲管9的内部，此时阻尘头1与盲管9的形状吻合，且所述阻尘头1的外壁与所述盲管9的内壁之间具有间隙，间隙的宽度大于常规粉尘7的宽度，供粉尘7通过下沉；粉尘7由于重力的原因沿着真空管8向盲管9的远端下落，在下落过程中会先落到阻尘头1的远端，即引导部11的表面，由于引导部11沿轴向的远端向近端其外径逐渐变大，所以粉尘7不会在引导部11的表面停留，而是会由引导部11的表面引导滑至阻尘头1的边缘后，再沿着阻尘头1的外壁与所述盲管9的内壁之间的间隙落入盲管9的内部，此时当干泵5启动后，盲管9远端的粉尘7在受到干泵5的抽力上升时，会被阻尘头1的远端遮挡，以阻止粉尘7通过阻尘头1，不再会由于干泵5的抽力过大而再次被抽回干泵5里，阻尘头1能有效收集粉尘7，增本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空管收集粉尘装置，其特征在于：包括阻尘头和安装支架；所述阻尘头的远端作为引导部；沿所述阻尘头的轴向，所述引导部的远端向近端其外径逐渐变大；所述安装支架与所述阻尘头连接，所述安装支架用于安装于盲管内，并使得所述阻尘头的外壁与所述盲管的内壁之间具有间隙。2.根据权利要求1所述的一种真空管收集粉尘装置，其特征在于：所述引导部为半球面结构。3.根据权利要求1所述的一种真空管收集粉尘装置，其特征在于：所述引导部的外壁为光面。4.根据权利要求1所述的一种真空管收集粉尘装置，其特征在于：所述真空管收集粉尘装置还包括阻挡件，所述阻挡件设置于所述安装支架上，所述阻挡件上沿所述阻尘头的轴向贯通设置有若干个通孔；沿所述阻尘头的轴向，所述阻挡件位于所述阻尘头的远端侧，且所述阻挡件与所述阻尘头之间具有设定距离。5.根据权利要求4所述的一种真空管收集粉尘装置，其特征在于：所述阻挡件呈圆盘形，且与所述阻尘头同轴设置。6.根据权利要求4所述的一种真空管收集...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯画赟，袁海岭，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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