本实用新型专利技术公开了一种WAT测试装置，涉及电路领域，包括控制模块和与N个测试点一一对应连接的N个SMU；与测试点一一对应连接的SMU可以对需要测试的多个测试点进行同步测试，实现了对多个测试点的并行测试；操作方便快捷，大大节约了测试过程所需的时间，提高了测试效率；不需要通过设置在SMU和测试点之间的开关矩阵对测试点进行调整，避免了开关矩阵的干扰，提高了SMU的输出精度，SMU和测试点直接连接，传输距离短，也进一步保证了测试数据的准确性，减小误差，提高了整个测试过程的精度和准确性，保证了整个测试过程的可靠性和安全性。本实用新型专利技术还公开了一种WAT测试系统，具有与上述WAT测试装置相同的有益效果。与上述WAT测试装置相同的有益效果。与上述WAT测试装置相同的有益效果。
【技术实现步骤摘要】
一种WAT测试装置及系统
[0001]本技术涉及电路领域，特别是涉及一种WAT测试装置。本技术还涉及一种WAT测试系统。
技术介绍
[0002]WAT(Wafer Acceptance Test，晶圆接受测试)是在晶圆产品流片结束之后和品质检验之前，用于测量特定测试结构的电性参数,例如电感、电容和电阻等参数。也可称WAT为PCM(Process Control Monitor，工艺控制监测)。WAT通过测试晶圆上特定测试结构的电性参数，检测每片晶圆产品的工艺情况，评估半导体制造过程的质量和稳定性，判断晶圆产品是否符合该工艺技术平台的电性规格要求。WAT数据可以作为晶圆产品交货的质量凭证，还可以反映生产线的实际生产情况，通过收集和分析WAT数据可以监测生产线的情况，也可以判断生产线变化的趋势，对可能发生的情况进行预警。WAT在测试精度，效率等方面存在一定要求，对于集成电路的质量监控的完善等方面具有重要意义。
[0003]现有技术中，WAT一般采用的是串行测试系统，利用单个或少量的几个SMU(Source Measure Unit，信号源测量单元)和开关矩阵配合使用，开关矩阵设置在SMU与测试点之间，开关矩阵内包括与测试点相同数量的开关组，当存在多个测试点时，需要通过切换导通不同的开关组实现对测试点的调整，一次测试只能针对单个或少量几个测试点进行测试，测试效率低，对于开关矩阵的切换过程麻烦，整个测试过程耗时长，且由于开关矩阵在使用时存在漏电等情况，容易影响SMU的输出精度，导致最终测试结果存在较大误差。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是提供一种WAT测试装置及系统，与测试点一一对应连接的SMU可以对需要测试的多个测试点进行同步测试，实现了对多个测试点的并行测试；操作方便快捷，大大节约了测试过程所需的时间，提高了测试效率；不需要通过设置在SMU和测试点之间的开关矩阵对测试点进行调整，避免了开关矩阵的干扰，提高了SMU的输出精度，SMU和测试点直接连接，传输距离短，也进一步保证了测试数据的准确性，减小误差，提高了整个测试过程的精度和准确性，保证了整个测试过程的可靠性和安全性。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供了一种WAT测试装置，包括控制模块和N个SMU，N为正整数；N个所述SMU与N个测试点一一对应连接；
[0006]所述控制模块与N个所述SMU连接，用于基于测试指令控制SMU对对应的测试点进行测试。
[0007]优选地，还包括通讯模块；所述通讯模块与所述控制模块连接，用于将所述测试指令传输至所述控制模块，接收所述控制模块返回的测试数据。
[0008]优选地，所述通讯模块包括光模块，光电转换模块和通信板；所述光模块与所述光电转换模块的一端连接，所述光电转换模块的另一端与所述通信板的一端连接，所述通信板的另一端与所述控制模块连接；
[0009]所述光模块用于将所述测试指令转换为光信号，将所述光电转换模块输出的光信号转换为电信号；
[0010]所述光电转换模块用于将所述光模块输出的光信号和所述通信板输出的电信号进行光电转换，以便所述通信板将所述测试指令传输至所述控制模块，所述光模块通过所述通信板接收所述控制模块返回的测试数据。
[0011]优选地，还包括电源模块；所述电源模块分别与所述通讯模块，所述控制模块和N个所述SMU连接；所述电源模块用于为所述通讯模块，所述控制模块和N个所述SMU供电。
[0012]优选地，所述电源模块包括直流供电模块和交流供电模块；所述直流供电模块分别与所述通讯模块和所述控制模块连接，所述交流供电模块与N个所述SMU连接。
[0013]优选地，还包括外部信号模块和开关矩阵模块；所述外部信号模块与所述开关矩阵模块连接，所述开关矩阵模块分别与所述控制模块和N个所述SMU连接，用于基于所述控制模块的控制将所述外部信号模块的输出信号传输至所述SMU。
[0014]优选地，所述控制模块包括主控制模块和从控制模块；所述主控制模块分别与所述从控制模块和所述开关矩阵模块连接，所述从控制模块分别与所述开关矩阵模块和N个所述SMU连接，所述开关矩阵模块与N个所述SMU连接；
[0015]所述主控制模块用于基于所述测试指令和所述外部信号模块的输出信号控制所述从控制模块；
[0016]所述从控制模块用于基于所述测试指令，所述主控制模块和所述开关矩阵模块控制SMU对对应的测试点进行测试。
[0017]优选地，所述开关矩阵模块包括第一开关矩阵和第二开关矩阵；所述第一开关矩阵分别与所述外部信号模块，所述第二开关矩阵和所述主控制模块连接，所述第二开关矩阵分别与所述从控制模块和N个所述SMU连接；
[0018]所述第一开关矩阵用于基于所述主控制模块的控制将所述外部信号模块的输出信号传输至所述第二开关矩阵；
[0019]所述第二开关矩阵用于基于所述从控制模块的控制将接收到的所述外部信号模块的输出信号传输至所述SMU。
[0020]优选地，当N个所述SMU为M组时，M为正整数；所述从控制模块包括与M组所述SMU一一对应连接的M个从控制器；对应地，所述第二开关矩阵包括与M组所述SMU一一对应连接的M个子开关矩阵，且M个所述从控制器与M个所述子开关矩阵一一对应连接，M个所述从控制器分别与所述主控制模块连接，M个所述子开关矩阵分别与所述第一开关矩阵连接。
[0021]为解决上述技术问题，本技术还提供了一种WAT测试系统，包括待测产品和如上述所述的WAT测试装置，所述待测产品和所述WAT测试装置连接。
[0022]本技术提供了一种WAT测试装置，包括控制模块和N个SMU，N为正整数；N个SMU与N个测试点一一对应连接；与测试点一一对应连接的SMU可以对需要测试的多个测试点进行同步测试，实现了对多个测试点的并行测试；操作方便快捷，大大节约了测试过程所需的时间，提高了测试效率；不需要通过设置在SMU和测试点之间的开关矩阵对测试点进行调整，避免了开关矩阵的干扰，提高了SMU的输出精度，SMU和测试点直接连接，传输距离短，也进一步保证了测试数据的准确性，减小误差，提高了整个测试过程的精度和准确性，保证了整个测试过程的可靠性和安全性。
[0023]本技术还提供了一种WAT测试系统，具有与上述WAT测试装置相同的有益效果。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对现有技术和实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0025]图1为本技术提供的一种WAT测试装置的结构示意图；
[0026]图2为本技术提供的另一种WAT测试装置的结构示意图；
[0027]图3为本技术提供的一种WAT测试系统的结构示意图；
[0028]图4为本实用新本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种WAT测试装置，其特征在于，包括控制模块和N个SMU，N为正整数；N个所述SMU与N个测试点一一对应连接；所述控制模块与N个所述SMU连接，用于基于测试指令控制SMU对对应的测试点进行测试。2.如权利要求1所述的WAT测试装置，其特征在于，还包括通讯模块；所述通讯模块与所述控制模块连接，用于将所述测试指令传输至所述控制模块，接收所述控制模块返回的测试数据。3.如权利要求2所述的WAT测试装置，其特征在于，所述通讯模块包括光模块，光电转换模块和通信板；所述光模块与所述光电转换模块的一端连接，所述光电转换模块的另一端与所述通信板的一端连接，所述通信板的另一端与所述控制模块连接；所述光模块用于将所述测试指令转换为光信号，将所述光电转换模块输出的光信号转换为电信号；所述光电转换模块用于将所述光模块输出的光信号和所述通信板输出的电信号进行光电转换，以便所述通信板将所述测试指令传输至所述控制模块，所述光模块通过所述通信板接收所述控制模块返回的测试数据。4.如权利要求2所述的WAT测试装置，其特征在于，还包括电源模块；所述电源模块分别与所述通讯模块，所述控制模块和N个所述SMU连接；所述电源模块用于为所述通讯模块，所述控制模块和N个所述SMU供电。5.如权利要求4所述的WAT测试装置，其特征在于，所述电源模块包括直流供电模块和交流供电模块；所述直流供电模块分别与所述通讯模块和所述控制模块连接，所述交流供电模块与N个所述SMU连接。6.如权利要求1至5任一项所述的WAT测试装置，其特征在于，还包括外部信号模块和开关矩阵模块；所述外部信号模块与所述开关矩阵模块连接，所述开关矩阵模块分别与所述控制模块和N个所述SMU连接，用于基于所...
【专利技术属性】
技术研发人员：廉哲，徐立，潘朝松，黄建军，
申请(专利权)人：苏州联讯仪器股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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