【技术实现步骤摘要】
总的来说，本专利技术涉及用于通过定位地调节测试样本和物镜来自动控制焦点的自动聚焦控制单元和方法。具体:l也，本专利技术涉及当 为使用而切换多个物镜时能够根据物镜来执行聚焦的自动聚焦控 制单元和方法、以及电子i殳备。
技术介绍
在诸如光学显微镜、深度计等的光学设备领域中，已使用自动 聚焦装置来作为用于自动聚焦到将被检验的测试样本上的装置。自动聚焦装置的实例包括以下这种装置为进行自动聚焦，激 光束被导向测试样本，从测试样本反射的激光束被检测作为反射激 光束，并基于反射激光束来确定与测试样本的位置关系。该自动聚 焦装置设置有检测反射激光束的光学检测器(例如，光电二极管)。如果上述自动聚焦装置被用在光学显微镜中，则激光束从光源 发出并经由物镜导向测试样本。经由物镜引导的激光束变成测试样 本上的反射激光束，该反射激光束再次经由物镜导向光电才企测器。反射激光束在光电检测器上形成与在测试样本和物镜之间的 距离相对应的光点。在其上安装有自动聚焦装置的光学显微镜中， 移动物镜，使得反射激光束可以在光电检测器上的预定位置处形成 光点。以这种方式，光学显微镜执行了聚焦。用于显微镜的焦...
【技术保护点】
一种自动聚焦控制单元，包括： 第一发光元件，用于经由从放大率互不相同的多个物镜中选出的单个物镜向样本发射激光束； 线传感器，具有彼此相邻配置的多个光接收元件，所述多个光接收元件的一部分接收从所述样本反射的光； 第二发光元件 ，用于向所述多个光接收元件的另一部分发射激光束； 狭缝构件，用于以使所述线传感器被从所述第二发光元件发射的所述激光束照射的区域逐渐增大的方式横穿所述线传感器； 移动机构，用于沿所述多个光接收元件的配置方向相对于反射光的光轴相对地 移动所述线传感器；以及 控制器，用于在所选物镜聚焦在所述样本的状态下，...
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤英树，星光男，菊地清幸，松木康记，武山宅寿，
申请(专利权)人：索尼株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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