切割装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够高精度地检测从刀片产生的弹性波的切割装置。切割装置(1)具备加工台(22)、主轴(24)、在主轴(24)的刀片装配部(60)装配的刀片(26)、检测从刀片(26)产生的弹性波的弹性波检测部(90)。弹性波检测部(90)具备安装于主轴(24)、刀片装配部(60)、加工台(22)中的至少一方的AE传感器(92)；安装于主轴(24)、刀片装配部(60)、加工台(22)中的至少一方并与AE传感器(92)连接的发送侧线圈(94)；与发送侧线圈(94)对置地配置并与发送侧线圈(94)磁耦合的接收侧线圈(96)，从AE传感器(92)输出的信号经由发送侧线圈(94)，通过发送侧线圈(94)与接收侧线圈(96)的相互感应而向接收侧线圈(96)传送。(96)传送。(96)传送。

【技术实现步骤摘要】
切割装置


[0001]本专利技术涉及切割装置，尤其涉及利用旋转的刀片对工件进行切削或在工件上加工出切槽的切割装置。

技术介绍

[0002]在利用在高速旋转的主轴的前端安装的刀片(极薄外周刃)对工件进行切削或在工件上加工出切槽的切割装置(所谓的刀片切割机(blade dicer))中，当刀片发生堵塞等异常时，工件会发生加工不良(例如，崩损等)。
[0003]在专利文献1中，记载有将AE传感器安装于固定式的工件工作台的装置。专利文献1所记载的装置利用AE传感器对在使用刀片切断工件时产生的弹性波进行检测，并根据其传感器输出对刀片的锋利度进行测定。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开平4
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99946号公报

技术实现思路

[0007]专利技术所要解决的课题
[0008]弹性波在物质内传播，但具有在不同的物体间大幅衰减的特性。因此，在工件工作台旋转的情况下，根据安装AE传感器的位置不同，弹性波有可能在中途的轴承部等大幅衰减，无法进行高精本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种切割装置，其中，所述切割装置具备：工作台，其保持工件；主轴，其相对于所述工作台而相对地移动；刀片装配部，其一体地安装于所述主轴；刀片，其装配于所述刀片装配部；以及弹性波检测部，其对弹性波进行检测，所述弹性波检测部具备：AE传感器，其安装于所述主轴、所述刀片装配部以及所述工作台中的至少一方；发送侧线圈，其安装于所述主轴、所述刀片装配部以及所述工作台中的至少一方，并与所述AE传感器连接；以及接收侧线圈，其与所述发送侧线圈对置地配置，并与所述发送侧线圈磁耦合，从所述AE传感器输出的信号经由所述发送侧线圈，通过所述发送侧线圈与所述接收侧线圈的相互感应而向所述接收侧线圈传送。2.根据权利要求1所述的切割装置，其中，所述工作台、所述主轴以及所述刀片装配部是旋转体。3.根据权利要求1或2所述的切割装置，其中，所述切割装置具备：接触检测部，其基于从所述弹性波检测部输出的信号对所述刀片与所述工作台的接触进行检测；以及基准位置设定部，其设定所述刀片的基准位置，所述基准位置设定部将使所述主轴从所述刀片与所述工作台分离的位置朝向所述工作台移动并由所述接触检测部检测出接触的位置设定为所述刀片的所述基准位置。4.根据权利要求1～3中任一项所述的切割装置，其中，所述切割装置还具备推定部，所述推定部基于在所述工件的加工中从所述弹性波检测部输出的信号对所述刀片以及/或者工件的状...

【专利技术属性】
技术研发人员：饭田贵大，
申请(专利权)人：株式会社东京精密，
类型：发明
国别省市：