一种离轴反射式光学监测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种离轴反射式光学监测装置，其包括底板、离轴主镜组、离轴次镜组、光学衰减组、分光棱镜组和光学监测组；离轴主镜组设置于底板的第一端，离轴主镜组包括离轴主镜；离轴次镜组设置于底板的第二端，离轴次镜组包括离轴次镜；光衰减组、分光棱镜组和光学监测组依次设置于离轴次镜靠近反射面的一侧，光学监测组包括分别设置于分光棱镜组不同方向侧的光轴监测相机和光束质量监测相机；该装置使用两组相机，一组用于监测光轴指向精度，另外一组用于监测光束质量，可广泛用于宽光谱范围、高性能光学产品的过程检验、出厂检验及试验。试验。试验。

【技术实现步骤摘要】
一种离轴反射式光学监测装置


[0001]本技术涉及光学监测设备
，具体涉及一种离轴反射式光学监测装置。

技术介绍

[0002]激光由于指向性好的特点，被广泛应用于各工业领域。对于高性能激光产品，其光轴稳定精度和光束质量是最为重要的衡量指标，直接影响产品的使用效果。高性能激光产品涵盖了可见光、红外光波段，光谱范围较宽，如果采用主式光学系统，色差校正存在很大的困难；反射式光学系统包含共轴、离轴两种方式，如果采用共轴反射式光学系统，中间区域有次镜遮拦，而激光光束为高斯光束，将主要光束遮拦后，会严重影响光轴指向精度和光束质量的监测结果，另外在监测分辨率相同的条件下，共轴反射式光学监测系统空间尺寸较大；现有监测仪器中，监测光轴指向精度和光束质量需要两套设备，成本较高。
[0003]公告号为CN105954734B的专利技术专利公开了一种大口径激光雷达光轴监测装置，在该专利中也采用离轴反射式的光学系统，但其没有配备光束质量监测功能，也不能适用于宽功率范围的光学监测，装置与被测产品完成初始对准也非常繁琐。

技术实现思路
<br/>[0004]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离轴反射式光学监测装置，其特征在于，包括底板、离轴主镜组、离轴次镜组、光学衰减组、分光棱镜组和光学监测组；所述离轴主镜组设置于所述底板的第一端，所述离轴主镜组包括离轴主镜；所述离轴次镜组设置于所述底板的第二端，所述离轴次镜组包括离轴次镜，所述离轴主镜用于将入射光引导至所述离轴次镜；所述光学衰减组、分光棱镜组和光学监测组依次设置于所述离轴次镜靠近反射面的一侧，所述光学监测组包括分别设置于所述分光棱镜组不同方向侧的光轴监测相机和光束质量监测相机；所述光学衰减组用于将所述离轴次镜反射的反射光的功率进行衰减，所述分光棱镜组用于将衰减后的发射光分成两束不同的方向两束检测光，分束的两束检测光分别射至所述光轴监测相机和光束质量监测相机。2.根据权利要求1所述的离轴反射式光学监测装置，其特征在于，所述分光棱镜组包括棱镜支架、分光棱镜、棱镜挡板和棱镜压板，所述棱镜支架上端用于放置所述分光棱镜，所述棱镜压板和所述棱镜挡板分别位于所述分光棱镜的相对两侧，所述棱镜压板上具有进光孔，所述棱镜挡板具有与所述光轴监测相机对应的第一出光孔，所述棱镜支架的一侧具有对应所述光束质量监测相机的第二出光孔。3.根据权利要求2所述的离轴反射式光学监测装置，其特征在于，所述第一出光孔的孔径轴线和所述第二出光孔的孔径轴线之间的夹角为90
°
。4.根据权利要求2所述的离轴反射式光学监测装置，其特征在于，光学监测组还包括第一相机支架、第一衰减片固定件、第二相机支架、第二衰减片固定件，所述光轴监测相机固定于所述第一相机支架，所述第一衰减片固定件设置于所述第一相机支架靠近所述分光棱镜的一侧；所述光束质量监测相机固定于所述第二相机支架，所述第二衰减片固定件设置于所述第二相机支架靠近所述分光棱镜的一侧。5.根据权利要求1所述的离轴反射式光学监测装置，其特征在于，所述光学衰减组包括衰减支架、电机、电位器、转盘、平板透镜和至少两个衰减倍率的滤光片，衰减支架设置于所述底板，所述电机设置于所述衰减支架，所述转...

【专利技术属性】
技术研发人员：葛振杰，曹玉学，罗海波，
申请(专利权)人：武汉振光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：