一种可自动调节的真空密封门装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种可自动调节的真空密封门装置，包括设置于真空箱体上的外门和内门，所述外门一侧通过外门调节装置与真空箱体连接，所述外门的另一侧与真空箱体之间通过门锁连接，所述内门通过内门调节装置安装于外门内侧。本发明专利技术所公开的真空密封门装置通过外门调节装置和内门调节装置可以实现外门和内门的分别自动调节，实现密封门与真空箱体的密封，在破除真空压力时，会由于内门调节弹簧的存在，不会发生密封门因压力突然消失而发生的剧烈碰撞现象，安全性大大提高。安全性大大提高。安全性大大提高。

【技术实现步骤摘要】
一种可自动调节的真空密封门装置


[0001]本专利技术涉及真空设备
，特别涉及一种可自动调节的真空密封门装置。

技术介绍

[0002]近年来，随着全球现代光电产业的迅猛发展，真空镀膜机、刻蚀机、缝焊机也迅速得到推广应用和普及。真空腔室是真空设备必须的主体结构，真空腔室由多个壁面的真空腔体和门结构构成一个密封体，门结构与真空腔体通过密封圈进行密封。
[0003]传统的真空腔室的门结构是直接采用合页连接翻转的方式，且合页行程为不可调节，关门时直接将带有密封垫的门盖合在真空箱口，由于没有自动找正的功能，这对设计制造安装等均有着很高的要求，同时对于加热型真空箱，当加热时，真空门各部分受热膨胀不均，导致箱体门和箱体不能紧紧地压在一起，容易发生漏气的现象，也就无法保证真空泵开始对真空室抽真空工作的条件；还有的真空密封门电动或气动平移结构，实现密封门的开启闭合以及与舱口的贴合调节，但这样极大的增加了装置的复杂程度。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种可自动调节的真空密封门装置，通过内、外门的两次调节作用，实现真空舱口密封门自动调节，从而实现密封门与真空箱体的密封。
[0005]为达到上述目的，本专利技术的技术方案如下：
[0006]一种可自动调节的真空密封门装置，包括设置于真空箱体上的外门和内门，所述外门一侧通过外门调节装置与真空箱体连接，所述外门的另一侧与真空箱体之间通过门锁连接，所述内门通过内门调节装置安装于外门内侧；
[0007]所述外门调节装置包括安装于真空箱体上的合页座和安装于外门上的调节合页，所述合页座和调节合页之间通过合页轴连接，所述合页座上下两端均开设长条孔一，所述调节合页纵向开设通孔，所述合页轴穿过通孔，两端位于长条孔一内；所述合页座位于合页轴的内外两侧分别开设螺纹孔一和螺纹孔二，位于内侧的螺纹孔一内安装有外门调节螺栓，所述外门调节螺栓前端顶在合页轴上；位于外侧的螺纹孔二内安装有外门调节弹簧和固定螺栓，所述外门调节弹簧两端分别顶在合页轴和固定螺栓上；
[0008]所述内门调节装置包括固定于外门上下两侧的调节基座，所述调节基座上水平开设螺纹孔三，位于螺纹孔三的前端开设长条孔二，内门转轴穿过长条孔二后与内门连接；所述螺纹孔三内安装有弹簧支撑滑块、内门调节弹簧和内门调节螺栓，所述内门调节弹簧的两端分别顶在弹簧支撑滑块和内门调节螺栓上，所述弹簧支撑滑块与内门转轴接触。
[0009]上述方案中，所述内门转轴与内门之间安装有衬套。
[0010]上述方案中，所述内门内侧通过硅胶压板安装有密封硅胶。
[0011]上述方案中，所述硅胶压板上通过支撑柱安装有挡热板。
[0012]上述方案中，所述外门调节装置包括两组，分别安装于外门一侧的上部和下部。
[0013]上述方案中，所述内门调节装置包括两组，分别安装于外门的上侧和下侧。
[0014]通过上述技术方案，本专利技术提供的一种可自动调节的真空密封门装置具有如下有益效果：
[0015]通过把手关上外门后，由于外门调节装置中外门调节弹簧的作用，实现外门与真空箱体舱口平面基本平行、内门与真空箱体舱口会有两点以上的接触状态；真空箱体抽取真空过程中，首先由于内门调节装置中内门调节弹簧的作用，内门上的密封条将与真空箱体舱口平面接触，随着真空箱体内外压力越来越大，内门的硅胶垫将被外部大气压完全贴合在真空箱体舱口平面上，从而实现了内门的二次自动找正。在破除真空箱体真空压力时，也会因为内门调节装置中内门调节弹簧的存在，不会发生密封门因压力突然消失而发生的剧烈碰撞现象，安全性大大提高。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
[0017]图1为真空箱体正面示意图一；
[0018]图2为真空箱体正面示意图二；
[0019]图3为真空箱体背面示意图；
[0020]图4为本专利技术实施例所公开的一种可自动调节的真空密封门装置示意图；
[0021]图5为外门调节装置示意图；
[0022]图6为合页座示意图一；
[0023]图7为合页座示意图二；
[0024]图8为去掉合页座后的外门调节装置示意图；
[0025]图9为内门调节装置示意图；
[0026]图10为调节基座示意图；
[0027]图11为去掉调节基座后的内门调节装置示意图。
[0028]图中，1、真空箱体；2、外门；3、内门；4、密封硅胶；5、硅胶压板；6、挡热板；7、抽真空装置；8、破真空装置；9、外门调节装置；10、门锁；11、把手；12、内门调节装置；13、支撑柱；14、螺栓；15、合页座；16、调节合页；17、长螺栓；18、合页轴；19、长条孔一；20、外门调节螺栓；21、外门调节弹簧；22、固定螺栓；23、调节基座；24、长条孔二；25、内门转轴；26、衬套；27、弹簧支撑滑块；28、内门调节弹簧；29、内门调节螺栓；30、舱口；31、螺纹孔一；32、螺纹孔二；33、通孔；34、螺纹孔三。
具体实施方式
[0029]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0030]本专利技术提供了一种可自动调节的真空密封门装置，如图1和图2所示，包括设置于真空箱体1上的外门2和内门3，外门2一侧通过外门调节装置9与真空箱体1连接，外门的另一侧与真空箱体1之间通过门锁10连接，门锁10上有把手11，通过把手11可以将外门打开。内门3通过内门调节装置12安装于外门2内侧。如图3所示，真空箱体1上有抽真空装置7和破真空装置8，分别用于抽真空和破真空。
[0031]如图4所示，内门3内侧通过硅胶压板5和螺栓14安装有密封硅胶4。硅胶压板5上通过支撑柱13安装有挡热板6，挡热板6可以起到阻挡热量的作用。
[0032]如图5所示，外门调节装置9包括安装于真空箱体1上的合页座15和安装于外门2上的调节合页16，合页座15通过长螺栓17固定于真空箱体1上，合页座15和调节合页16之间通过合页轴18连接，合页座15上下两端均开设长条孔一19，调节合页16纵向开设通孔33，合页轴18穿过通孔33，两端位于长条孔一19内。
[0033]如图6和图7所示，合页座15位于合页轴18的内外两侧分别开设螺纹孔一31和螺纹孔二32，位于内侧的螺纹孔一31内安装有外门调节螺栓20，外门调节螺栓20前端顶在合页轴18上；如图8所示，位于外侧的螺纹孔二32内安装有外门调节弹簧21和固定螺栓22，外门调节弹簧21两端分别顶在合页轴18和固定螺栓22上。通过调节外门调节螺栓20的旋进深度，可以调节合页16轴在长条孔内的位置，同时合页轴18可以压缩外门调节弹簧21，外门调节弹簧21可以起到复位作用，从而可以调节合页16座15使得外门与真空箱体1的舱门进行第一次位置调节。
[0034]如图9和图10所示，内门本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可自动调节的真空密封门装置，其特征在于，包括设置于真空箱体上的外门和内门，所述外门一侧通过外门调节装置与真空箱体连接，所述外门的另一侧与真空箱体之间通过门锁连接，所述内门通过内门调节装置安装于外门内侧；所述外门调节装置包括安装于真空箱体上的合页座和安装于外门上的调节合页，所述合页座和调节合页之间通过合页轴连接，所述合页座上下两端均开设长条孔一，所述调节合页纵向开设通孔，所述合页轴穿过通孔，两端位于长条孔一内；所述合页座位于合页轴的内外两侧分别开设螺纹孔一和螺纹孔二，位于内侧的螺纹孔一内安装有外门调节螺栓，所述外门调节螺栓前端顶在合页轴上；位于外侧的螺纹孔二内安装有外门调节弹簧和固定螺栓，所述外门调节弹簧两端分别顶在合页轴和固定螺栓上；所述内门调节装置包括固定于外门上下两侧的调节基座，所述调节基座上水平开设螺纹孔三，位于螺纹孔三的前端开设长条孔二，...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓伟，秦永生，刘鹏，马永杰，蒋庆林，温京亚，李显昭，
申请(专利权)人：青岛海洋科技中心青岛明毅通达科技有限公司，
类型：发明
国别省市：