一种VOC在线监测装置制造方法及图纸

技术编号:38925444 阅读:17 留言:0更新日期:2023-09-25 09:33
本实用新型专利技术涉及气体监测技术领域,特别涉及一种VOC在线监测装置。所述一种VOC在线监测装置,包括:柜体、显示板、操作主机、采样管、采样分析装置、双轴电机、皮带、吊杆、固定件;所述柜体的正面转动连接有柜门;所述柜体的底部连接有支撑架;所述显示板固定安装在柜体的内部;所述操作主机固定安装在显示板的下方;所述采样分析装置固定在固定安装在操作主机的下方;所述采样分析装置的两侧分别连接有采样管;所述柜体的相对两侧壁面上分别设置有上下两个安装口;每个安装口处连接有防尘板。本实用新型专利技术能够通过活动板的上下移动来监测空间内不同高度层的VOC含量,监测效果较为全面,有力地保证了无尘室的生产环境正常。力地保证了无尘室的生产环境正常。力地保证了无尘室的生产环境正常。

【技术实现步骤摘要】
一种VOC在线监测装置


[0001]本技术涉及气体监测
,特别涉及一种VOC在线监测装置。

技术介绍

[0002]VOC是挥发性有机化合物(volatile organic compounds)的英文缩写。VOC是指环境监测中以氢焰离子检测器测出的非甲烷烃类检出物总称,其中包括含氧烃类、含卤烃类、广义包括甲烷、丙烷、氯烃、氟烃及醇、醚、酮、醛等含氧烃,胺等含氮烃,二硫化碳等含硫烃。
[0003]如今,在芯片的生产工艺过程中,高等级洁净度的无尘室对芯片的生产至关重要。细菌、静电、粉尘、有害气体等均会直接影响到芯片的质量与寿命,其中挥发性有机物(VOCs)就是重要的有害物之一。
[0004]由于VOC分为多种不同的有害成分,在空气中有明显的分层显现,有的聚积在上方,有的聚积在下方,现有的VOC在线监测装置不能较为全面的监测空间内VOC的含量。现设计一种VOC在线监测装置,来解决上述问题。

技术实现思路

[0005]因此,本技术正是鉴于上述问题而提出的。本技术是通过以下技术方案来实现:
[0006]一种VOC在线监测装置,包括:柜体、显示板、操作主机、采样管、采样分析装置、双轴电机、皮带、吊杆、固定件;
[0007]所述柜体的正面转动连接有柜门;所述柜体的底部连接有支撑架;
[0008]所述显示板固定安装在柜体的内部;
[0009]所述操作主机固定安装在显示板的下方;
[0010]所述采样分析装置固定在固定安装在操作主机的下方;所述采样分析装置的两侧分别连接有采样管;
[0011]所述柜体的相对两侧壁面上分别设置有上下两个安装口;每个安装口处连接有防尘板;
[0012]所述防尘板的一侧延伸有卡合部,卡合部与安装口配合在一起;
[0013]所述防尘板上设置有通孔,通孔处覆盖有防尘网;
[0014]所述柜体的内部设置有两个相对地分隔板,分隔板和柜体壁面之间连接有挡板,分隔板、挡板和柜体壁面形成一个缓冲区;所述分隔板上设置有连接孔,采样管与连接孔连接在一起;
[0015]所述柜体的相对两个内壁面上分别设置有两条平行的卡板;
[0016]所述双轴电机固定在柜体内部的底面上,双轴电机的两端分别连接有转轴;
[0017]所述卡板上有滑槽;
[0018]所述固定件有两个,固定在柜体内部的顶面上;所述固定件上设置有轴承套;
[0019]所述吊杆的两端分别套接在轴承套上;
[0020]所述皮带分别套接在转轴和吊杆上;
[0021]所述滑槽内设置有活动板,活动板通过连接杆与皮带连接在一起。
[0022]优选地,所述转轴的端部和吊杆的端部都设置有限位片。
[0023]优选地,所述分隔板、挡板和柜体壁面形成的缓冲区内设置有滤板。
[0024]优选地,所述皮带上还连接有清洁板,清洁板上设置有刷毛,清洁板与活动板相对设置。
[0025]本技术有益效果如下:
[0026]本技术能够通过活动板的上下移动来监测空间内不同高度层的VOC含量,监测效果较为全面,有力地保证了无尘室的生产环境正常。
附图说明
[0027]图1是本技术的整体视图。
[0028]图2是本技术的内部视图一。
[0029]图3是本技术的内部视图二。
[0030]图4是本技术的安装口的视图。
[0031]图5是本技术的防尘板的视图。
[0032]图6是本技术的分隔板的视图。
[0033]图7是本技术的滤板的视图。
[0034]图8是本技术的双轴电机的视图。
[0035]图9是本技术的滑槽的视图。
[0036]图10是本技术的转轴的视图。
[0037]图11是本技术的吊杆的视图。
[0038]图12是本技术的固定件的视图。
[0039]图13是本技术的活动板的视图。
[0040]图14是本技术的清洁板的视图。
具体实施方式
[0041]本技术的优选实施例将通过参考附图进行详细描述,这样对于技术所属领域的现有技术人员中具有普通技术的人来说容易实现这些实施例。然而本技术也可以各种不同的形式实现,因此本技术不限于下文中描述的实施例。另外,为了更清楚地描述本技术,与本技术没有连接的部件将从附图中省略。
[0042]一种VOC在线监测装置,包括:柜体1、显示板2、操作主机3、采样管4、采样分析装置5、双轴电机6、皮带7、吊杆8、固定件9;
[0043]如图1所示,所述柜体1的正面转动连接有柜门11;所述柜体1的底部连接有支撑架12;
[0044]如图3所示,所述显示板2固定安装在柜体1的内部,其用于显示监测数据;
[0045]所述操作主机3固定安装在显示板2的下方,其用于实现对VOC在线监测的操作;
[0046]所述采样分析装置5固定在固定安装在操作主机3的下方,采样分析装置5用于采集环境空气中的VOC情况并分析;所述采样分析装置5的两侧分别连接有采样管4;
[0047]如图4所示,所述柜体1的相对两侧壁面上分别设置有上下两个安装口13;每个安装口13处连接有防尘板14;
[0048]如图5所示,所述防尘板14的一侧延伸有卡合部141,卡合部141与安装口13配合在一起;
[0049]所述防尘板14上设置有通孔142,通孔142处覆盖有防尘网;
[0050]如图6所示,所述柜体1的内部设置有两个相对地分隔板15,分隔板15和柜体1壁面之间连接有挡板16,分隔板15、挡板16和柜体1壁面形成一个缓冲区;所述分隔板15上设置有连接孔151,采样管4与连接孔151连接在一起;
[0051]如图8所示,所述柜体1的相对两个内壁面上分别设置有两条平行的卡板19;
[0052]所述双轴电机6固定在柜体1内部的底面上,双轴电机6的两端分别连接有转轴61;
[0053]如图9所示,所述卡板19上有滑槽191;
[0054]如图11

图12所示,所述固定件9有两个,固定在柜体1内部的顶面上;所述固定件9上设置有轴承套91;
[0055]所述吊杆8的两端分别套接在轴承套91上;
[0056]所述皮带7分别套接在转轴61和吊杆8上,双轴电机6转动能够带动皮带7转动;
[0057]所述滑槽191内设置有活动板17,活动板17通过连接杆171与皮带7连接在一起,皮带7运动能够带动活动板17的上下移动,活动板17用于堵住卡合部141。
[0058]进一步地,如图10

图11所示,所述转轴61的端部和吊杆8的端部都设置有限位片62,限位片62用于防止皮带7与其分离。
[0059]进一步地,如图7所示,所述分隔板15、挡板16和柜体1壁面形成的缓本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种VOC在线监测装置,包括:柜体(1)、显示板(2)、操作主机(3)、采样管(4)、采样分析装置(5)、双轴电机(6)、皮带(7)、吊杆(8)、固定件(9);其特征在于:所述柜体(1)的正面转动连接有柜门(11);所述柜体(1)的底部连接有支撑架(12);所述显示板(2)固定安装在柜体(1)的内部;所述操作主机(3)固定安装在显示板(2)的下方;所述采样分析装置(5)固定在固定安装在操作主机(3)的下方;所述采样分析装置(5)的两侧分别连接有采样管(4);所述柜体(1)的相对两侧壁面上分别设置有上下两个安装口(13);每个安装口(13)处连接有防尘板(14);所述防尘板(14)的一侧延伸有卡合部(141),卡合部(141)与安装口(13)配合在一起;所述防尘板(14)上设置有通孔(142),通孔(142)处覆盖有防尘网;所述柜体(1)的内部设置有两个相对地分隔板(15),分隔板(15)和柜体(1)壁面之间连接有挡板(16),分隔板(15)、挡板(16)和柜体(1)壁面形成一个缓冲区;所述分隔板(15)上设置有连接孔(151),采样管(4)与连接...

【专利技术属性】
技术研发人员:江大白胡增钟生
申请(专利权)人:中用科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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