一种硅片机器人夹爪机构制造技术

本实用新型专利技术提供一种硅片机器人夹爪机构，包括：动力单元、抓取夹爪和夹爪连接板，所述夹爪连接板的底部设置有所述动力单元，所述动力单元的两侧各设置有一个所述抓取夹爪，用于驱动所述抓取夹爪；所述抓取夹爪上设置有多个与多种尺寸硅片相配合的片篮夹块。本实用新型专利技术的有益效果是通过夹爪连接板、抓取气缸、抓取夹爪以及多种尺寸片篮夹块的设置，实现了一种气缸一个行程可兼容多种尺寸片篮的功能，两种功效合二为一，节省物料的同时提高节拍效率，实现设备的自动化和智能化；用一种结构实现多种尺寸片篮的夹取动作，使之合并为一个动作，节省物料的同时避免了浪费。同时具有结构简单，维修方便，加工成本低、生产效率高。生产效率高。生产效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片机器人夹爪机构


[0001]本技术属于半导体行业硅片上料
，尤其是涉及一种硅片机器人夹爪机构。

技术介绍

[0002]在光伏或半导体领域，在硅片进行喷砂操作时，需要进行硅片的上料。目前，大多数生产硅片的企业都是采用手工方式搬运，将硅片逐个插入硅片篮，然后人工将片篮搬运至清洗设备上，由于硅片很薄，在搬运过程中很容易刮伤人员，且容易造成硅片的损坏及污染；此外还有通过四轴机械手一片一片的取放硅片的方式，均不能适应不同大小尺寸硅片以及硅片片篮的夹取以及搬运，不利于实现自动化生产。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的问题是提供一种硅片机器人夹爪机构，尤其适合喷砂机设备中对多种尺寸片篮的夹取。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种硅片机器人夹爪机构，其特征在于，包括：动力单元、抓取夹爪和夹爪连接板，所述夹爪连接板的底部设置有所述动力单元，所述动力单元的两侧各设置有一个所述抓取夹爪，用于驱动所述抓取夹爪；
[0005]所述抓取夹爪上设置有多个与多种尺寸硅片相配合的片篮夹块。
[0006]进一步的，所述抓取夹爪包括依次连接设置的第一连接板、第二连接板和第三连接板，所述第二连接板垂直连接于所述第一连接板的一端；所述第三连接板垂直连接于所述第二连接板背离所述第一连接板的一端。
[0007]进一步的，所述第三连接板平行所述第一连接板并延背离所述第一连接板的方向延伸。
[0008]进一步的，所述第一连接板连接于所述动力单元；
[0009]一对抓取夹爪相对设置的一侧设置有与多种尺寸硅片相匹配的片篮夹块。
[0010]进一步的，所述片篮夹块为带有凸沿结构的连接块，一对抓取夹爪上的凸沿结构相对设置；
[0011]所述连接块连接于所述第三连接板。
[0012]进一步的，所述连接块的长度尺寸根据硅片片篮尺寸设置有多组。
[0013]进一步的，所述夹爪连接板上为“L”型连接板，所述夹爪连接板的横板的底部设置有所述动力单元；所述夹爪连接板的竖板通过开设的螺纹孔连接夹取装置。
[0014]进一步的，所述夹爪连接板上还设置有加强肋，用于加强连接。
[0015]进一步的，所述动力单元至少设置有一组。
[0016]进一步的，所述动力单元为抓取气缸
[0017]由于采用上述技术方案，具有以下有益效果：
[0018]通过夹爪连接板、抓取气缸、抓取夹爪以及多种尺寸片篮夹块的设置，实现了一种
气缸一个行程可兼容多种尺寸片篮的功能，两种功效合二为一，节省物料的同时提高节拍效率，实现设备的自动化和智能化；用一种结构实现多种尺寸片篮的夹取动作，使之合并为一个动作，节省物料的同时避免了浪费。同时具有结构简单，维修方便，加工成本低、生产效率高。
附图说明
[0019]图1是本技术一种实施例的整体结构示意图。
[0020]图中：
[0021]10、动力单元
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20、抓取夹爪
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30、夹爪连接板
[0022]21、片篮夹块
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22、第一连接板
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23、第二连接板
[0023]24、第三连接板
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31、横板
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32、竖板
[0024]33、加强肋
具体实施方式
[0025]下面结合实施例和附图对本技术作进一步说明：
[0026]在本技术的一种实施例中，如图1所示，一种硅片机器人夹爪机构，包括：动力单元10、抓取夹爪20和夹爪连接板30，夹爪连接板30的底部设置有动力单元10，动力单元10的两侧各设置有一个抓取夹爪20；抓取夹爪20上设置有多个与多种尺寸硅片相配合的片篮夹块21；在工作过程中，夹爪机构通过夹爪连接板30连接在夹取装置上，通过动力单元10驱动一对抓取夹爪20对多种尺寸的片篮进行夹取，并在夹取过程中通过片篮夹块21对片篮进行限位。
[0027]具体的，抓取夹爪20包括依次连接设置的第一连接板22、第二连接板23和第三连接板24，其中第一连接板22与第二连接板23垂直连接，第二连接板23与第三连接板24同样垂直连接，具体的第二连接板23垂直连接于第一连接板22的一端；第三连接板24垂直连接于第二连接板23背离第一连接板22的一端。在本实施例中，第三连接板24平行第一连接板22并延背离第一连接板22的方向延伸；第一连接板22与第二连接板23之间、第二连接板23与第三连接板24之间分别通过螺纹紧固件进行连接。
[0028]如图几所示，在本实施例中，第一连接板22背离第二连接板23的一侧连接于动力单元10，一对抓取夹爪20上的第三连接板24相对设置的一侧设置有与多种硅片尺寸的片篮相匹配的片篮夹块21。同样的，第一连接板22与动力单元10之间通过螺纹紧固件进行连接，片篮夹块21与第三连接板24之间同样通过螺纹紧固件进行连接。
[0029]具体的，片篮夹块21为带有凸沿结构的连接块，连接在动力单元10两侧的一对抓取夹爪20上的凸沿结构相对设置；该片篮夹块21上连接块背离凸沿的一侧通过螺纹紧固件连接于第三连接板24。其中为适应多种尺寸的硅片片篮，将连接块的长度尺寸根据硅片片篮尺寸进行设置，凸沿的尺寸不做更改。常用硅片尺寸为5寸、6寸或8寸，因此在一对第三连接板24相对的一侧平行间隔设置有多组多种尺寸的片篮夹块21，同种尺寸的片篮夹块21对应设置。如图1所示，在本实施例中，设置有两种尺寸的片篮夹块21，分别为6寸和8寸；可以想到，作为可替换方案，可以调整第三连接板24的尺寸，进行5寸等其他尺寸硅片片篮的片篮夹块21的布设。
[0030]具体的，夹爪连接板30上为“L”型连接板，该夹爪连接板30包括垂直设置的横板31和竖板32，其中夹爪连接板30的横板31的底部设置有动力单元10；夹爪连接板30的竖板32连接夹取装置。如图1所示，在本实施例中，横板31与动力单元之间、竖板32与夹取装置之间均通过螺纹紧固件连接；本实施例中，夹爪连接板30上还设置有加强肋33，用于加强整个装置的强度。
[0031]具体的，动力单元10至少设置有一组。在本实施例中动力单元10选取的为抓取气缸，对动作可以实现更精准的控制。
[0032]本技术的一种实施例的工作过程：
[0033]首先在前道工序程序已经读取片篮的尺寸规格，当片篮就位后，夹取装置将夹爪机构移动到对应高度，其中6寸片篮对比8寸片篮高度更低，宽度更窄，因此有两种片篮夹块对应两种规格的片篮，当动力单元10的行程一定时，通过片篮夹块21的不同长度实现夹取不同片篮。
[0034]通过夹爪连接板、抓取气缸、抓取夹爪以及多种尺寸片篮夹块的设置，实现了一种气缸一个行程可兼容多种尺寸片篮的功能，两种功效合二为一，节省物料的同时提高节拍效率，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片机器人夹爪机构，其特征在于，包括：动力单元、抓取夹爪和夹爪连接板，所述夹爪连接板的底部设置有所述动力单元，所述动力单元的两侧各设置有一个所述抓取夹爪，用于驱动所述抓取夹爪；所述抓取夹爪上设置有多个与多种尺寸硅片相配合的片篮夹块。2.根据权利要求1所述的一种硅片机器人夹爪机构，其特征在于：所述抓取夹爪包括依次连接设置的第一连接板、第二连接板和第三连接板，所述第二连接板垂直连接于所述第一连接板的一端；所述第三连接板垂直连接于所述第二连接板背离所述第一连接板的一端。3.根据权利要求2所述的一种硅片机器人夹爪机构，其特征在于：所述第三连接板平行所述第一连接板并延背离所述第一连接板的方向延伸。4.根据权利要求2或3所述的一种硅片机器人夹爪机构，其特征在于：所述第一连接板连接于所述动力单元；一对抓取夹爪相对设置的一侧设置有与多种尺寸硅片相匹配的片篮夹块。5.根据权利要求2所述的一种硅...

【专利技术属性】
技术研发人员：靳立辉，杨骅，李博，杜晨朋，王毅，
申请(专利权)人：天津环博科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：