一种观察硅胶阵列微观形貌用扫描电镜制造技术

技术编号:38907815 阅读:19 留言:0更新日期:2023-09-25 09:26
本实用新型专利技术涉及扫描电镜领域,且公开了一种观察硅胶阵列微观形貌用扫描电镜,包括检测台,检测台上固定安装有放置台,放置台上设置有有夹持结构,夹持结构包括夹板,气缸固定安装于检测台上,检测台的顶端位于放置台的上方设置有检测的扫描电镜,扫描电镜的顶端固定安装有固定块,固定块的顶端设置有驱动固定块位于平面内任意移动的移动条一和移动条二,移动条一有移动条二之间设置有移动结构,移动结构包括丝杆一和丝杆二,移动条一上开设有滑槽一,移动条二上开设有滑槽二,滑槽一以及滑槽二重叠部分处滑动连接有滑柱,滑柱转动连接于固定块上,该实用新型专利技术结构使得扫描电镜可以位于平面内任意位置移动,便于对硅胶阵列进行扫描观察。描观察。描观察。

【技术实现步骤摘要】
一种观察硅胶阵列微观形貌用扫描电镜


[0001]本技术涉及扫描电镜领域,具体为一种观察硅胶阵列微观形貌用扫描电镜。

技术介绍

[0002]在对硅胶阵列进行微观形貌观察的时候,需要使用到扫描电镜,目前的扫描电镜在使用过程中只能单一的位于X轴或者Y轴方向移动,使得移动过程非常的麻烦,降低了扫描的效率,为此我们提出了一种观察硅胶阵列微观形貌用扫描电镜。

技术实现思路

[0003](一)解决的技术问题
[0004]针对现有技术的不足,本技术提供了一种观察硅胶阵列微观形貌用扫描电镜,解决了上述的问题。
[0005](二)技术方案
[0006]为实现上述所述目的,本技术提供如下技术方案:一种观察硅胶阵列微观形貌用扫描电镜,包括检测台,所述检测台上固定安装有放置台,所述放置台上设置有有夹持结构,所述气缸固定安装于检测台上,所述检测台的顶端位于放置台的上方设置有检测的扫描电镜,所述扫描电镜的顶端固定安装有固定块,所述固定块的顶端设置有驱动固定块位于平面内任意移动的移动条一和移动条二,所述移动条一有移动条二之间设置有移动结构。
[0007]优选的,所述夹持结构包括夹板,两个夹板位于放置台的两侧处,所述检测台上对应每个夹板的一侧处均固定安装有气缸,所述气缸的输出端固定安装于夹板上。
[0008]优选的,所述移动结构包括丝杆一和丝杆二,所述检测台的顶端上位于X轴方向处固定安装有电机一,所述电机一的输出端与丝杆一固定连接,所述检测台的顶端上位于Y轴方向靠近电机一的位置处固定安装有电机二,所述电机二的输出端与丝杆二固定连接,所述丝杆一上螺纹连接有滑块一,所述滑块一的一侧与移动条一固定连接,所述丝杆二上螺纹连接有滑块二,所述滑块二的一侧与移动条二固定连接在一起,所述移动条一上开设有滑槽一,所述移动条二上开设有滑槽二,所述滑槽一以及滑槽二重叠部分处滑动连接有滑柱,所述滑柱转动连接于固定块上。
[0009]优选的,所述移动条一的高度高于移动条二的高度,且移动条一于移动条二之间不接触,所述移动条一与移动条二的尺寸相吻合,且滑槽一与滑槽二以及滑柱的尺寸相吻合。
[0010]优选的,所述固定块内贯穿有限位杆,所述限位杆位于固定块内移动,且检测台上位于电机一的另一侧固定安装有支撑块,所述限位杆的对应端活动连接于支撑块的顶端处。
[0011](三)有益效果
[0012]与现有技术相比,本技术提供了一种观察硅胶阵列微观形貌用扫描电镜,具
备以下有益效果:
[0013]该观察硅胶阵列微观形貌用扫描电镜,电机一带动丝杆一转动,推动丝杆一上的滑块一位于X轴方向移动,通过滑柱滑动带动固定块上的扫描电镜位于X轴方向移动,启动电机二,电机二带动丝杆二转动,推动丝杆二上的滑块二位于Y轴方向移动,通过滑柱滑动带动固定块上的扫描电镜位于Y轴方向移动,同时启动电机一和电机二即可使得滑柱位于X、Y轴任意位置移动,从而使得扫描电镜可以随意移动便于对硅胶阵列进行扫描观察,通过限位杆使得固定块滑动过程更加地稳定。
附图说明
[0014]图1为本技术结构示意图;
[0015]图2为本技术移动结构示意图;
[0016]图3为本技术滑柱位置示意图。
[0017]图中:1、检测台;2、放置台;3、气缸;4、夹板;5、扫描电镜;6、电机一;7、电机二;8、丝杆一;9、丝杆二;10、滑块一;11、滑块二;12、移动条一;13、移动条二;14、滑槽一;15、滑槽二;16、滑柱;17、固定块;18、限位杆;19、支撑块。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1

3,一种观察硅胶阵列微观形貌用扫描电镜,包括检测台1,检测台1上固定安装有放置台2,放置台2上设置有有夹持结构,气缸3固定安装于检测台1上,检测台1的顶端位于放置台2的上方设置有检测的扫描电镜5,扫描电镜5的顶端固定安装有固定块17,固定块17的顶端设置有驱动固定块17位于平面内任意移动的移动条一12和移动条二13,移动条一12有移动条二13之间设置有移动结构。
[0020]进一步的,夹持结构包括夹板4,两个夹板4位于放置台2的两侧处,检测台1上对应每个夹板4的一侧处均固定安装有气缸3,气缸3的输出端固定安装于夹板4上,将硅胶阵列放在放置台2上后,启动两侧的气缸3推动夹板4将硅胶阵列夹持住。
[0021]进一步的,移动结构包括丝杆一8和丝杆二9,检测台1的顶端上位于X轴方向处固定安装有电机一6,电机一6的输出端与丝杆一8固定连接,检测台1的顶端上位于Y轴方向靠近电机一6的位置处固定安装有电机二7,电机二7的输出端与丝杆二9固定连接,丝杆一8上螺纹连接有滑块一10,滑块一10的一侧与移动条一12固定连接,丝杆二9上螺纹连接有滑块二11,滑块二11的一侧与移动条二13固定连接在一起,移动条一12上开设有滑槽一14,移动条二13上开设有滑槽二15,滑槽一14以及滑槽二15重叠部分处滑动连接有滑柱16,滑柱16转动连接于固定块17上,电机一6带动丝杆一8转动,推动丝杆一8上的滑块一10位于X轴方向移动,通过滑柱16滑动带动固定块17上的扫描电镜5位于X轴方向移动,启动电机二7,电机二7带动丝杆二9转动,推动丝杆二9上的滑块二11位于Y轴方向移动,通过滑柱16滑动带动固定块17上的扫描电镜5位于Y轴方向移动。
[0022]进一步的,移动条一12的高度高于移动条二13的高度,且移动条一12于移动条二13之间不接触,移动条一12与移动条二13的尺寸相吻合,且滑槽一14与滑槽二15以及滑柱16的尺寸相吻合。
[0023]进一步的,固定块17内贯穿有限位杆18,限位杆18位于固定块17内移动,且检测台1上位于电机一6的另一侧固定安装有支撑块19,限位杆18的对应端活动连接于支撑块19的顶端处,通过限位杆18使得固定块17滑动过程更加地稳定。
[0024]工作原理:将硅胶阵列放在放置台2上后,启动两侧的气缸3推动夹板4将硅胶阵列夹持住,启动电机一6,电机一6带动丝杆一8转动,推动丝杆一8上的滑块一10位于X轴方向移动,通过滑柱16滑动带动固定块17上的扫描电镜5位于X轴方向移动,启动电机二7,电机二7带动丝杆二9转动,推动丝杆二9上的滑块二11位于Y轴方向移动,通过滑柱16滑动带动固定块17上的扫描电镜5位于Y轴方向移动,同时启动电机一6和电机二7即可使得滑柱16位于X、Y轴任意位置移动,从而使得扫描电镜5可以随意移动便于对硅胶阵列进行扫描观察,通过限位杆18使得固定块17滑动过程更加地稳定。
[0025]尽管已经示出和描述了本技术的实施例,对本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种观察硅胶阵列微观形貌用扫描电镜,包括检测台(1),其特征在于:所述检测台(1)上固定安装有放置台(2),所述放置台(2)上设置有夹持结构,气缸(3)固定安装于检测台(1)上,所述检测台(1)的顶端位于放置台(2)的上方设置有检测的扫描电镜(5),所述扫描电镜(5)的顶端固定安装有固定块(17),所述固定块(17)的顶端设置有驱动固定块(17)位于平面内任意移动的移动条一(12)和移动条二(13),所述移动条一(12)有移动条二(13)之间设置有移动结构。2.根据权利要求1所述的一种观察硅胶阵列微观形貌用扫描电镜,其特征在于:所述夹持结构包括夹板(4),两个夹板(4)位于放置台(2)的两侧处,所述检测台(1)上对应每个夹板(4)的一侧处均固定安装有气缸(3),所述气缸(3)的输出端固定安装于夹板(4)上。3.根据权利要求1所述的一种观察硅胶阵列微观形貌用扫描电镜,其特征在于:所述移动结构包括丝杆一(8)和丝杆二(9),所述检测台(1)的顶端上位于X轴方向处固定安装有电机一(6),所述电机一(6)的输出端与丝杆一(8)固定连接,所述检测台(1)的顶端上位于Y轴方向靠近电机一(6)的位置处固定安装有电机二(7),所...

【专利技术属性】
技术研发人员:李健许弯弯傅磊
申请(专利权)人:安徽猛犸数据科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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