放电电极制造技术

本发明专利技术提供一种电晕放电用放电电极，在前端尖锐的前部中异物难于附着，且即使附着也被吹跑，抑制异物附着而实现长期维持良好的放电特性。本发明专利技术的放电电极（１００）具备：内部具有气体流路（１１１）的基体部（１１０）、一部分是尖头体（１２１），在内部具有连通到该尖头体（１２１）倾斜面（１２１ａ）的倾斜面吹出流路（１２３）的前端部（１２０），其中，前端部（１２０）以使尖头体（１２１）从基体部（１１０）突出的状态机械式固定在基体部（１１０），与基体部（１１０）电连接，且把基体部（１１０）的气体流路（１１１）与倾斜面吹出流路（１２３）连通。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电晕放电用的放电电极。
技术介绍
作为电晕放电用放电电极的现有技术，例如知道有专利文献1 (特开 2007-134141号公报，专利技术名称是离子化装置的电极针单元和离子化装置) 记载的专利技术。在专利文献1记载的现有技术中，电极针在靠近电极针基部侧的一部 分被支承部件所支承，而空气在电极针前端部周围流动。由此，使处于电 极针前端附近的尘埃、灰尘等被空气吹跑，不使尘埃、灰尘等附着。作为其他的现有技术，例如知道有专利文献2(特开平8-88074号公报， 专利技术名称是离子发生装置用放电电极)记载的专利技术。而且作为其他的现有技术，例如知道有专利文献3 (特开2004-247107 号公报，专利技术名称是喷嘴型放电电极)记载的专利技术。在这些专利文献2、 3记载的现有技术中，把喷嘴前端形成针状，使离 子承载在从喷嘴中央吹出的高速风中而把离子搬送到远距离。这些专利文 献2、 3记载的现有技术的放电电极也希望有利用风使尘埃、灰尘难于附着 的效果。专利文献1:特开2007-134141号公报(段落号,图1 ) 专利文献2:特开平8-88074号公报(图1，图2) 专利文献3:特开2004-247107号公报(图1,图2) 在专利文献1记载的现有技术中，把电极针的前端周围作为空气流动 的空间，但由于前端附近电极针尖锐，所以随着空气流动的空间增大而空 气分散流动，特别是在前端附近的倾斜面处，空气的分散变显著而空气的 势头变弱，万一在电极针的针前端倾斜面处有尘埃、灰尘、硅氧烷等(以 下叫做异物)附着，则用空气除去并不容易，有可能就有微小的异物堆积。 特别是在硅树脂制品包含的低分子硅氧烷挥发成气体状的硅氧烷堆积附着的硅氧烷是异物的情况下，在制造半导体用硅晶片等的无尘车间中若附着 在电路的表面，则会引起触点障碍，因此特别有问题。专利文献2、 3记载的现有技术中，异物附着在电极针前端侧的可能性 被降低，但若异物附着在电极针的倾斜面和侧面，在没有空气流动时就有 可能有微小异物堆积。由于电极不是尖锐的前部，所以与针状电极相比还 有放电特性不良好的问题。也就是说，即使在放电电极的倾斜面内侧和外侧都有空气流流动，也 存在异物容易附着并有可能放电特性恶化的问题。而且有把放电电极设定 成尖锐前部，即使与针状的放电电极比较也确保放电特性不恶化的要求。
技术实现思路
于是本专利技术是为了解决上述课题而开发的，其目的在于提供一种电晕 放电用放电电极，在前端尖锐的前部中异物难于附着，且即使附着也被吹 跑，抑制异物附着而实现长期维持良好的放电特性。本
技术实现思路
1的放电电极具备由电导体形成且内部具有气体流路的基体部、由电导体形成且一部分是尖头体而在内部具有连通到该尖头体倾斜面 的倾斜面吹出流^ 各的前端部，其中，前端部以使尖头体从基体部突出的状态机械式固定在基体部，并与基 体部电连接，且把基体部的气体流路与倾斜面吹出流路连通。本
技术实现思路
2的放电电极是在本
技术实现思路
1记载的放电电才及中，所述前端部是把由电导体形成的多个小物体固接并形成包含尖头体的 形状，利用多个小物体之间的间隙来形成倾斜面吹出流路。 本
技术实现思路
3的放电电极是在 本
技术实现思路
1记载的放电电才及中，所述前端部是把由电导体形成的多个直中实棒体固接并形成包含尖头 体的形状，利用多个直中实棒体之间的间隙来形成倾斜面吹出流路。 本
技术实现思路
4的放电电极是在 本
技术实现思路
1记载的放电电极中，所述前端部是把由电导体形成的多个直中空管体固接并形成包含尖头体的形状，利用多个直中空管体之间的间隙和管内空间来形成倾斜面吹出 流路。本
技术实现思路
5的放电电极是在 本
技术实现思路
1记载的放电电极中，所述前端部把作为具有柔性的电导体并且在表面形成有多个凸部的片 状体巻绕成螺旋状并形成包含尖头体的形状，利用邻接的两个片状体与凸 部的间隙空间来形成倾斜面吹出流路。本
技术实现思路
6的放电电极是在本
技术实现思路
1记载的放电电极中，所述前端部是在由电导体形成的针状体周围固定一个直中空管体并形 成包含尖头体的形状，利用针状体与直中空管体的间隙空间来形成倾斜面 吹出流路。本
技术实现思路
7的放电电极是在本
技术实现思路
1记载的;^文电电极中，所述前端部形成为在由电导体形成的针状体周围固定半径不同的多 个直中空管体以成为多重圆筒状并形成包含尖头体的形状，并且利用针状 体与直中空管体的间隙空间来形成倾斜面吹出流路。本
技术实现思路
8的放电电极所述前端部形成为把由电导体形成的针状体固定在所述基体部并形 成包含尖头体的形状，并且利用针状体与所述基体部的间隙空间来形成倾 在+面吹出流^各。本
技术实现思路
9的放电电极是在本
技术实现思路
1~本
技术实现思路
8任一项记载的放电电极中， 所述前端部的尖头体是多棱锥体或圆锥体。根据以上的本专利技术，能够提供一种电暈放电用放电电极，在前端尖锐 的前部中异物难于附着，且即使附着也被吹跑，抑制异物附着而实现长期 维持良好的放电特性。附图说明图1是用于实施本专利技术的实施例放电电极的说明图，图1 (a)是放电 电极的立体外观图，图1 (b)是放电电极的俯视图，图1 (c)是前端部的局部放大图2是其他实施例放电电极的说明图，图2 (a)是放电电极的立体外 观图，图2 (b)是放电电极的俯视图，图2 (c)是前端部的放大图，图2 (d)是其他前端部的俯视放大图3是其他实施例放电电极的说明图，图3 (a)是放电电极的立体外 观图，图3 (b)是放电电极的俯视图，图3 (c)是前端部的俯视放大图， 图3 (d)是前端部的侧剖视图4是前端部的说明图，图4 (a)是制造前前端部的俯视图，图4(b) 是制造前前端部的主视图，图4 (c)是制造前其他前端部的主视图5是其他实施例放电电极的说明图，图5 (a)是放电电极的立体外 观图，图5 (b)是放电电极的俯视图，图5 (c)是前端部的侧剖视图6是其他实施例放电电极的说明图，图6 (a)是放电电极的立体外 观图，图6 (b)是放电电极的俯视图7是其他实施例放电电极的说明图，图7 (a)是前端部的立体外观 图，图7 (b)是针状体支承部的说明图，图7 (c)是连接部的说明图，图 7(d)是连接部的说明图，图7 (e)是前端部的剖视图8是说明放电电极被附着异物情况的照片，图8 (a)是现有方式放 电电极的照片，图8 (b)是本专利技术放电电极使用初期的照片，图8(c)是 本专利技术放电电极经过规定期间后的照片；图9是其他实施例放电电极的说明图，图9 (a)是放电电极的立体外 观图，图9 (b)是放电电极的俯视图，图9 (c)是前端部的侧剖视图。111气体流路 120前端部 122小物体211气体流路 220前端部 222直中实圆棒体(圓棒) 224直中空圆管体(圓管)100》丈电电才及 110基体部 121尖头体 121a倾4斗面 123倾斜面吹出流路(间隙) 200放电电极 210基体部 221尖头体 221a倾斜面 223倾斜面吹出流路(间隙) 225倾斜面吹出流路(间隙、管内空间)300力丈电电极 310基体部 311气体流路 320前端部 321尖头体 321a倾斜面 322片状体322a倾斜部323凸部324倾斜面吹出流路(间隙) 325轴部 400》文电电极 410基体部 411气体流i 各 420前端部 421尖本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种放电电极，其特征在于，具备：　由电导体形成且内部具有气体流路的基体部、　由电导体形成且一部分是尖头体而在内部具有连通到该尖头体倾斜面的倾斜面吹出流路的前端部，　前端部以使尖头体从基体部突出的状态机械式固定在基体部，并与 基体部电连接，且把基体部的气体流路与倾斜面吹出流路连通。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：冈野一雄，
申请(专利权)人：冈野一雄，
类型：发明
国别省市：JP[日本]