一种高纯乙硼烷中杂质分析仪制造技术

本发明专利技术涉及精细化工技术领域，更具体地说，涉及一种高纯乙硼烷中杂质分析仪，包括储气罐、载气罐、定量管、色谱柱和检测装置；所述定量管与储气罐连接，以对储气罐内的待检测样品定量抽取；所述定量管与载气罐和色谱柱分别连接，以通过载气罐内的载气将定量管内部的待检测样品引入至色谱柱内；所述色谱柱用于对待检测样品中的乙硼烷和杂质进行分离，色谱柱与检测装置连接，以将色谱柱分离出的杂质送入至检测装置内进行检测分析处理。本发明专利技术可以有效对高纯乙硼烷气体中的杂质进行分离，并精准检测高纯乙硼烷气体中的杂质含量；其内部设有可以调节尺寸的储气罐，可以根据实际需要存储的待检测样品量进行调节，满足不同情况的使用需求。求。求。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯乙硼烷中杂质分析仪


[0001]本专利技术涉及精细化工
，更具体地说，涉及一种高纯乙硼烷中杂质分析仪。

技术介绍

[0002]乙硼烷是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，也可以广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，铝合金门窗制造、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态，印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
[0003]目前，乙硼烷是主要作为高纯气中杂质来检测的，对于高纯乙硼烷中的杂质检测，国家也未出台相关标准，现有技术也难以准确分析高纯乙硼烷中杂质的含量。因此，目前亟需一张高纯乙硼烷中杂质的分析仪以解决上述技术问题。

技术实现思路

[0004]在
技术实现思路
部分中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本专利技术的
技术实现思路
部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。
[0005]为至少部分地解决上述问题，本专利技术提供了一种高纯乙硼烷中杂质分析仪，包括储气罐、载气罐、定量管、色谱柱和检测装置；所述定量管与储气罐连接，以对储气罐内的待检测样品定量抽取；所述定量管与载气罐和色谱柱分别连接，以通过载气罐内的载气将定量管内部的待检测样品引入至色谱柱内；所述色谱柱用于对待检测样品中的乙硼烷和杂质进行分离，色谱柱与检测装置连接，以将色谱柱分离出的杂质送入至检测装置内进行检测分析处理。<br/>[0006]可选地，所述检测装置为GM826DID气相色谱仪。
[0007]可选地，所述储气罐包括上罐体、下罐体和调节气缸；所述上罐体的顶面上设有带有控制阀门的出气孔，上罐体下端密封滑动配合在下罐体顶部的环形滑道内，下罐体底部设有进气孔；所述调节气缸一端固定在上罐体，调节气缸另一端固定在下罐体上，以驱动上罐体在下罐体的环形滑道内滑动。
[0008]可选地，所述的一种高纯乙硼烷中杂质分析仪，还包括混匀装置；所述混匀装置包括上叶轮机构、下叶轮机构和动力机构；所述上叶轮机构上端转动连接在上罐体的中心，上叶轮机构下端滑动配合在下叶轮机构上，下叶轮机构中部密封转动在下罐体底部的进气孔内，下叶轮机构与装设在下罐体底部的动力机构连接。
[0009]可选地，所述上叶轮机构包括上轮轴、上架板、竖螺杆、上叶轮本体和滑轴；所述上轮轴上端转动在上罐体的中心，上轮轴上固定上架板，上架板的外侧均匀环绕转动多根竖螺杆，多根竖螺杆下端与多个上叶轮本体一一固定，多个上叶轮本体下端分别固定一根滑轴，多根滑轴滑动配合在下叶轮机构的多个纵向滑道内。
[0010]可选地，所述下叶轮机构包括下轮轴、下架板和下叶轮本体；所述下轮轴中部密封
转动在下罐体的进气孔内，下轮轴上端固定连接下架板，下架板的外侧均匀环绕连接多个下叶轮本体，每个下叶轮本体上设有一个与滑轴滑动配合的纵向滑道；所述下轮轴下端与动力机构连接。
[0011]可选地，所述下架板包括圆盘座、横连接轴、竖连接轴、第一锥齿轮、第二锥齿轮、套管和插接螺杆；所述圆盘座固定在下轮轴上，圆盘座的外侧面上均匀环绕转动多根横连接轴内端，每根横连接轴上固定第一锥齿轮，多个第一锥齿轮与第二锥齿轮垂直啮合，第二锥齿轮固定在套管上，套管转动在下轮轴上，套管上螺纹配合插接螺杆，下轮轴上均匀环绕设置多个插孔，插接螺杆插接在一个插孔内；每根横连接轴外端通过直角管连接一根竖连接轴，竖连接轴上连接下叶轮本体。
[0012]可选地，所述下叶轮本体中部设有与竖连接轴转动配合的纵向通孔；每根所述竖螺杆上螺纹配合两个锁定螺母，两个锁定螺母顶压在上架板的两侧侧面上，锁定螺母和上架板之间设有橡胶垫圈。
[0013]可选地，所述下轮轴的内侧设有穿轴孔，上轮轴中部密封滑动在穿轴孔内，上轮轴上端设有纵向输气孔。
[0014]可选地，所述动力机构包括固定在电机架上的动力电机，电机架滑动在下罐体底部的竖吊架上，竖吊架上螺纹配合可抵挡在电机架下方的顶杆；动力电机输出轴上固定主动锥齿轮，主动锥齿轮两端啮合传动上锥齿轮和下锥齿轮，下锥齿轮固定在上轮轴的上；上锥齿轮固定在转管上，转管转动在电机架上，转管滑动在下轮轴上，转管上固定多根竖杆，多根竖杆中部滑动在固定盘上，每根竖杆位于旋转盘和转管的杆体上套设一根压缩弹簧，每根竖杆上螺纹配合一个限位螺母，限位螺母位于旋转盘上方。
[0015]相比现有技术，本专利技术至少包括以下有益效果：
[0016]本专利技术提供了一种高纯乙硼烷中杂质分析仪，可以有效对高纯乙硼烷气体中的杂质进行分离，并精准检测高纯乙硼烷气体中的杂质含量；其内部设有可以调节尺寸的储气罐，可以根据实际需要存储的待检测样品量进行调节，满足不同情况的使用需求；在储气罐内设有混匀装置，可以有效对储气罐内的待检测样品进行混匀处理，使得被抽取检测分析的待检测样品中杂质含量更为均匀，提高检测准确性。
[0017]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或相关技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本专利技术实施例提供的结构框图；
[0020]图2为本专利技术实施例提供的储气罐和混匀装置的结构示意图；
[0021]图3为本专利技术实施例提供的储气罐和混匀装置的剖视图；
[0022]图4为本专利技术实施例提供的储气罐的结构示意图；
[0023]图5为本专利技术实施例提供的混匀装置的结构示意图；
[0024]图6为本专利技术实施例提供的上叶轮机构的结构示意图；
[0025]图7为本专利技术实施例提供的下叶轮机构的结构示意图；
[0026]图8为本专利技术实施例提供的下架板的结构示意图；
[0027]图9为本专利技术实施例提供的下叶轮本体的结构示意图；
[0028]图10为本专利技术实施例提供的动力机构的结构示意图。
[0029]图标：储气罐1；上罐体11；下罐体12；调节气缸13；混匀装置2；上叶轮机构3；上轮轴31；纵向输气孔311；上架板32；竖螺杆33；上叶轮本体34；滑轴35；下叶轮机构4；下轮轴41；下架板42；圆盘座421；横连接轴422；竖连接轴423；第一锥齿轮424；第二锥齿轮425；套管426；插接螺杆427；下叶轮本体43；动力机构5；电机架51；动力电机52；竖吊架53；顶杆54；主动锥齿轮55；上锥齿轮56；下锥齿轮57；转管58；竖杆59；固定盘510。
具体实施方式
[0030]为了使本领域的技术人员更好地理解本申请中的技术方案，下面将对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯乙硼烷中杂质分析仪，其特征在于，包括储气罐(1)、载气罐、定量管、色谱柱和检测装置；所述定量管与储气罐(1)连接，以对储气罐(1)内的待检测样品定量抽取；所述定量管与载气罐和色谱柱分别连接，以通过载气罐内的载气将定量管内部的待检测样品引入至色谱柱内；所述色谱柱用于对待检测样品中的乙硼烷和杂质进行分离，色谱柱与检测装置连接，以将色谱柱分离出的杂质送入至检测装置内进行检测分析处理。2.根据权利要求1所述的一种高纯乙硼烷中杂质分析仪，其特征在于，所述检测装置为GM826DID气相色谱仪。3.根据权利要求1所述的一种高纯乙硼烷中杂质分析仪，其特征在于，所述储气罐(1)包括上罐体(11)、下罐体(12)和调节气缸(13)；所述上罐体(11)的顶面上设有带有控制阀门的出气孔，上罐体(11)下端密封滑动配合在下罐体(12)顶部的环形滑道内，下罐体(12)底部设有进气孔；所述调节气缸(13)一端固定在上罐体(11)，调节气缸(13)另一端固定在下罐体(12)上，以驱动上罐体(11)在下罐体(12)的环形滑道内滑动。4.根据权利要求3所述的一种高纯乙硼烷中杂质分析仪，其特征在于，还包括混匀装置(2)；所述混匀装置(2)包括上叶轮机构(3)、下叶轮机构(4)和动力机构(5)；所述上叶轮机构(3)上端转动连接在上罐体(11)的中心，上叶轮机构(3)下端滑动配合在下叶轮机构(4)上，下叶轮机构(4)中部密封转动在下罐体(12)底部的进气孔内，下叶轮机构(4)与装设在下罐体(12)底部的动力机构(5)连接。5.根据权利要求4所述的一种高纯乙硼烷中杂质分析仪，其特征在于，所述上叶轮机构(3)包括上轮轴(31)、上架板(32)、竖螺杆(33)、上叶轮本体(34)和滑轴(35)；所述上轮轴(31)上端转动在上罐体(11)的中心，上轮轴(31)上固定上架板(32)，上架板(32)的外侧均匀环绕转动多根竖螺杆(33)，多根竖螺杆(33)下端与多个上叶轮本体(34)一一固定，多个上叶轮本体(34)下端分别固定一根滑轴(35)，多根滑轴(35)滑动配合在下叶轮机构(4)的多个纵向滑道内。6.根据权利要求5所述的一种高纯乙硼烷中杂质分析仪，其特征在于，所述下叶轮机构(4)包括下轮轴(41)、下架板(42)和下叶轮本体(43)；所述下轮轴(41)中部密封转动在下罐体(12)的进气...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛艳东，刘丽娜，
申请(专利权)人：北京高麦克仪器科技有限公司，
类型：发明
国别省市：