一种大尺寸碳化硅生长装置制造方法及图纸

技术编号:38883627 阅读:13 留言:0更新日期:2023-09-22 14:12
本实用新型专利技术涉及碳化硅生长领域,具体公开了一种大尺寸碳化硅生长装置,包括箱体,所述箱体的内侧壁固定连接有横板,所述横板的底面开设有加热槽,所述横板的上表面放置有加热框,所述加热框的内底壁放置有多组相对称的反应框,所述箱体的内顶壁固定连接有两组相对称的电动伸缩杆,两组电动伸缩杆的底端共同固定连接有盖板,所述盖板的底面与加热框的顶端相接触,所述箱体的内底壁固定连接有加热机构。该装置通过加热框与反应框的配合,能够同时对多个材料进行加工处理,避免工人容易因该装置无法对其进行多个处理出现工作效率低下的问题,通过设置有盖板,能够对加工时的处理件进行密封处理,提高了加工物在反应时的安全性。提高了加工物在反应时的安全性。提高了加工物在反应时的安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种大尺寸碳化硅生长装置


[0001]本技术涉及碳化硅生长
,具体是一种大尺寸碳化硅生长装置。

技术介绍

[0002]碳化硅是一种无机物,是用石英砂、石油焦或煤焦、木屑生产绿色碳化硅时需要加食盐等原料通过电阻炉高温冶炼而成,碳化硅在大自然也存在罕见的矿物莫桑石,碳化硅为应用最广泛、最经济的一种,可以称为金钢砂或耐火砂,中国工业生产的碳化硅分为黑色碳化硅和绿色碳化硅两种,均为六方晶体。
[0003]根据中国专利号为CN210287584U所公开的一种大尺寸碳化硅晶体生长装置,包括第一腔体和第二腔体、可沿上下方向活动的穿设于第一腔体和第二腔体中的坩埚、下端连接在坩埚顶部且上端穿出第二腔体的坩埚轴、设于第一腔体中的加热机构和保温机构、开设于第一腔体上或第二腔体上的抽气口和充气口,传统该装置在进行碳化硅生长加工时,多数需要对其进行密封放置与加热冶炼,但此类方式加工的该装置多数无法同时对多个碳化硅单体进行加工,导致工人在对其进行加工处理时出现效率低下的问题,为此我们通过一种大尺寸碳化硅生长装置来解决以上问题。

技术实现思路

[0004]针对现有的问题,本技术提供一种大尺寸碳化硅生长装置,可以有效的解决
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为解决上述问题,本技术采用如下的技术方案:
[0006]一种大尺寸碳化硅生长装置,包括箱体,所述箱体的内侧壁固定连接有横板,所述横板的底面开设有加热槽,所述横板的上表面放置有加热框,所述加热框的内底壁放置有多组相对称的反应框,所述箱体的内顶壁固定连接有两组相对称的电动伸缩杆,两组电动伸缩杆的底端共同固定连接有盖板,所述盖板的底面与加热框的顶端相接触,所述箱体的内底壁固定连接有加热机构。
[0007]作为本技术再进一步的方案:所述箱体的下方设有两组相对称的支撑腿,每组所述支撑腿的顶端均与箱体的底面固定连接。
[0008]作为本技术再进一步的方案:所述箱体的正面通过销轴铰接有密封盖,所述密封盖的正面固定连接有把手。
[0009]作为本技术再进一步的方案:所述箱体的上表面固定连接有控制箱,所述控制箱的正面固定镶嵌有控制面板。
[0010]作为本技术再进一步的方案:所述箱体的内顶壁固定连接有弹簧,所述弹簧的底端与盖板的上表面固定连接。
[0011]作为本技术再进一步的方案:所述箱体的左右两侧均设有等距离排列的防撞垫,每组所述防撞垫相互靠近的一侧面分别与箱体的左右两侧面固定连接。
[0012]与现有技术相比,本技术的有益效果是:通过加热框与反应框的配合,能够同
时对多个材料进行加工处理,避免工人容易因该装置无法对其进行多个处理出现工作效率低下的问题,通过设置有盖板,能够对加工时的处理件进行密封处理,提高了加工物在反应时的安全性,通过设置有电动伸缩杆,能够使盖板的移动实现自动化,避免该装置容易因盖板无法移动出现密封失败的现象。
附图说明
[0013]图1为本技术中箱体的立体结构示意图;
[0014]图2为本技术中箱体的内部结构立体示意图;
[0015]图3为本技术中加热框的立体结构示意图;
[0016]图4为本技术中加热框的内部结构立体示图。
[0017]图中:1、箱体;2、控制箱;3、防撞垫;4、密封盖;5、把手;6、支撑腿;7、弹簧;8、电动伸缩杆;9、加热框;10、反应框;11、横板;12、加热机构;13、加热槽;14、盖板。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0019]如图1

4所示,在本实施例中,本实施方式提供了一种大尺寸碳化硅生长装置,包括箱体1,箱体1的内侧壁固定连接有横板11,横板11的底面开设有加热槽13,横板11的上表面放置有加热框9,加热框9的内底壁放置有多组相对称的反应框10,箱体1的内顶壁固定连接有两组相对称的电动伸缩杆8,两组电动伸缩杆8的底端共同固定连接有盖板14,盖板14的底面与加热框9的顶端相接触,箱体1的内底壁固定连接有加热机构12。
[0020]箱体1的下方设有两组相对称的支撑腿6,每组支撑腿6的顶端均与箱体1的底面固定连接,起到了对该装置进行支撑防滑的作用,避免该装置容易因稳定性不足出现滑动倾倒的现象,箱体1的正面通过销轴铰接有密封盖4,密封盖4的正面固定连接有把手5,可以使密封盖4的打开更加便捷,避免工人在对其进行打开时出现无处下手的现象,箱体1的上表面固定连接有控制箱2,控制箱2的正面固定镶嵌有控制面板,可以工人对该装置的操作更加便捷,避免工人在对其进行操作时出现不便的现象。
[0021]箱体1的内顶壁固定连接有弹簧7,弹簧7的底端与盖板14的上表面固定连接,能够使盖板14的移动更加平稳流畅,避免盖板14在移动时出现卡顿的现象,箱体1的左右两侧均设有等距离排列的防撞垫3,每组防撞垫3相互靠近的一侧面分别与箱体1的左右两侧面固定连接,起到了对该装置进行防撞防护的作用,避免该装置容易因外界碰撞出现损坏的现象。
[0022]本技术的工作原理是:在使用时,首先将该装置与电源相连通,并通过控制开关进行控制,然后利用把手5将密封盖4打开,并将加热框9放入至该装置内部,接着将碳化硅与反应框10放置在该装置内部,同时利用电动伸缩杆8的工作,使盖板14下落并对加热框9进行密封处理,最后利用加热机构12与加热槽13的配合对其进行加热处理,达到了对多个碳化硅单体进行加工的目的,提高了工人的工作效率。
[0023]需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序,而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
[0024]尽管已经示出和描述了本技术的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大尺寸碳化硅生长装置,包括箱体(1),其特征在于,所述箱体(1)的内侧壁固定连接有横板(11),所述横板(11)的底面开设有加热槽(13),所述横板(11)的上表面放置有加热框(9),所述加热框(9)的内底壁放置有多组相对称的反应框(10),所述箱体(1)的内顶壁固定连接有两组相对称的电动伸缩杆(8),两组电动伸缩杆(8)的底端共同固定连接有盖板(14),所述盖板(14)的底面与加热框(9)的顶端相接触,所述箱体(1)的内底壁固定连接有加热机构(12)。2.根据权利要求1所述的一种大尺寸碳化硅生长装置,其特征在于,所述箱体(1)的下方设有两组相对称的支撑腿(6),每组所述支撑腿(6)的顶端均与箱体(1)的底面固定连接。3.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈志谋
申请(专利权)人:扬州申威光电器材有限公司
类型:新型
国别省市:

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