一种大尺寸碳化硅生长用籽晶固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及碳化硅生长技术领域，具体公开了一种大尺寸碳化硅生长用籽晶固定装置，包括底板，所述底板的底面开设有两组籽晶收纳槽，每个所述籽晶收纳槽的内顶壁均开设有微孔，每个所述微孔的上方均设有筒体，每个所述筒体的底面均与底板的上表面固定连接，通过设有籽晶收纳槽可以对碳化硅籽晶进行籽晶收纳槽，并且通过设有滑杆和滑孔可以使支撑板在密封垫内部进行上下移动，并且利用拉簧可以拉动支撑板向上移动，配合密封垫可以使筒体内部的气压降低，从而配合微孔对碳化硅籽晶进行吸附固定，防止碳化硅籽晶出现掉落，解决了碳化硅籽晶的吸附力较低，导致碳化硅籽晶在生长的过程中会随着重量增加出现掉落，以至于影响碳化硅籽晶生长的问题。硅籽晶生长的问题。硅籽晶生长的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种大尺寸碳化硅生长用籽晶固定装置


[0001]本技术涉及碳化硅生长
，具体是一种大尺寸碳化硅生长用籽晶固定装置。

技术介绍

[0002]碳化硅作为继Si、GaAs之后发展起来的第三代宽禁带半导体材料，由于其具有禁带宽度大、临界击穿电场强度高、热导率高、化学稳定性好等优良的物理化学特性，是制造高性能电力电子器件、固体微波器件和固体传感器等新型器件以及耐高温集成电路的优选衬底材料。
[0003]目前在对大尺寸碳化硅籽晶进行生产的过程中，需要对大尺寸碳化硅籽晶进行固定，使大尺寸碳化硅籽晶能够在生长室内进行生长，现阶段固定装置在使用时虽然能够对大尺寸碳化硅籽晶进行固定，但是在使用时依旧存在一些不足，例如在使用时对碳化硅籽晶的吸附力较低，导致碳化硅籽晶在生长的过程中会随着重量增加出现掉落，以至于影响碳化硅籽晶的生长，为此提出一种大尺寸碳化硅生长用籽晶固定装置来解决以上问题。

技术实现思路

[0004]针对现有的问题，本技术提供一种大尺寸碳化硅生长用籽晶固定装置，可以有效的解决
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案：
[0006]一种大尺寸碳化硅生长用籽晶固定装置，包括底板，所述底板的底面开设有两组籽晶收纳槽，每个所述籽晶收纳槽的内顶壁均开设有微孔，每个所述微孔的上方均设有筒体，每个所述筒体的底面均与底板的上表面固定连接，每个所述筒体的上表面均开设有滑孔，每个所述滑孔的内壁均滑动连接有滑杆，每个所述滑杆的底端均延伸至筒体的内部，每个所述滑杆的底端均固定连接有支撑板，每个所述支撑板的底端均固定连接有密封垫，两组所述密封垫的外表面分别与两组筒体的内壁相接触，每个所述滑杆的外表面均套设有拉簧，两组所述拉簧的底端分别与两组支撑板的上表面固定连接，两组所述拉簧的顶端分别与两组筒体的内顶壁固定连接。
[0007]作为本技术再进一步的方案：每个所述籽晶收纳槽的内部均设有密封圈，两组所述密封圈的顶端分别与两组籽晶收纳槽的内顶壁固定连接。
[0008]作为本技术再进一步的方案：所述底板的上方设有两组压板，两组所述滑杆的顶端分别与两组压板的底面固定连接。
[0009]作为本技术再进一步的方案：每个所述筒体的外表面均固定连接有连接座，每个所述连接座的底面均与底板的上表面固定连接。
[0010]作为本技术再进一步的方案：所述底板的左右两侧面均固定连接有弯板，每个所述弯板的顶端均固定连接有安装板，每个所述安装板的上表面均开设有安装孔。
[0011]作为本技术再进一步的方案：所述底板的左右两侧均设有拉板，两个所述拉
板相互靠近的一侧面分别与底板的左右两侧面固定连接。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：通过设有籽晶收纳槽可以对碳化硅籽晶进行籽晶收纳槽，并且通过设有滑杆和滑孔可以使支撑板在密封垫内部上下移动，并且利用拉簧可以拉动支撑板向上移动，配合密封垫可以使筒体内部的气压降低，从而配合微孔对碳化硅籽晶进行吸附固定，防止碳化硅籽晶出现掉落，解决了碳化硅籽晶的吸附力较低，导致碳化硅籽晶在生长的过程中会随着重量增加出现掉落，以至于影响碳化硅籽晶生长的问题。
附图说明
[0013]图1为一种大尺寸碳化硅生长用籽晶固定装置的立体结构示意图；
[0014]图2为一种大尺寸碳化硅生长用籽晶固定装置仰视图的立体结构示意图；
[0015]图3为一种大尺寸碳化硅生长用籽晶固定装置底板的立体结构示意图；
[0016]图4为一种大尺寸碳化硅生长用籽晶固定装置筒体侧剖图的立体结构示意图。
[0017]图中：1、底板；2、拉板；3、安装板；4、弯板；5、筒体；6、连接座；7、滑杆；8、滑孔；9、压板；10、籽晶收纳槽；11、密封圈；12、微孔；13、密封垫；14、支撑板；15、拉簧；16、安装孔。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]如图1
‑
4所示，在本实施例中，本实施方式提供了一种大尺寸碳化硅生长用籽晶固定装置，包括底板1，底板1的底面开设有两组籽晶收纳槽10，每个籽晶收纳槽10的内顶壁均开设有微孔12，每个微孔12的上方均设有筒体5，每个筒体5的底面均与底板1的上表面固定连接，每个筒体5的上表面均开设有滑孔8，每个滑孔8的内壁均滑动连接有滑杆7，每个滑杆7的底端均延伸至筒体5的内部，每个滑杆7的底端均固定连接有支撑板14，每个支撑板14的底端均固定连接有密封垫13，两组密封垫13的外表面分别与两组筒体5的内壁相接触，每个滑杆7的外表面均套设有拉簧15，两组拉簧15的底端分别与两组支撑板14的上表面固定连接，两组拉簧15的顶端分别与两组筒体5的内顶壁固定连接。
[0020]每个籽晶收纳槽10的内部均设有密封圈11，两组密封圈11的顶端分别与两组籽晶收纳槽10的内顶壁固定连接，通过设有密封圈11可以增加在对碳化硅籽晶定位时的密封效果，防止碳化硅籽晶出现掉落，底板1的上方设有两组压板9，两组滑杆7的顶端分别与两组压板9的底面固定连接，通过设有压板9可以便于工作人员推动滑杆7向下移动，从而便于对滑杆7进行控制，每个筒体5的外表面均固定连接有连接座6，每个连接座6的底面均与底板1的上表面固定连接，通过设有连接座6可以增加筒体5的稳定性，防止筒体5在使用时出现松动。
[0021]底板1的左右两侧面均固定连接有弯板4，每个弯板4的顶端均固定连接有安装板3，每个安装板3的上表面均开设有安装孔16，通过设有弯板4和安装板3可以对该装置进行支撑，使该装置在使用时便于安装，减少安装时需要的时间，底板1的左右两侧均设有拉板
2，两个拉板2相互靠近的一侧面分别与底板1的左右两侧面固定连接，通过设有拉板2可以便于搬动该装置进行移动，从而便于将该装置安装在生长室内。
[0022]本技术的工作原理是：在使用时将该装置通过安装板3和安装孔16安装在生长室内的指定位置，并且在使用时使用者首先推动压板9，使压板9推动滑杆7向下移动，滑杆7推动支撑板14向下移动，支撑板14推动密封垫13将筒体5下方的空气通过微孔12排出，将碳化硅籽晶放在籽晶收纳槽10的内部，使籽晶收纳槽10内部的密封圈11与碳化硅籽晶接触，松开压板9，利用拉簧15的拉力，拉动支撑板14向上移动，使支撑板14带动密封垫13向上移动，使密封垫13下方气压降低，对籽晶收纳槽10内部的碳化硅籽晶进行吸附。
[0023]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大尺寸碳化硅生长用籽晶固定装置，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)的底面开设有两组籽晶收纳槽(10)，每个所述籽晶收纳槽(10)的内顶壁均开设有微孔(12)，每个所述微孔(12)的上方均设有筒体(5)，每个所述筒体(5)的底面均与底板(1)的上表面固定连接，每个所述筒体(5)的上表面均开设有滑孔(8)，每个所述滑孔(8)的内壁均滑动连接有滑杆(7)，每个所述滑杆(7)的底端均延伸至筒体(5)的内部，每个所述滑杆(7)的底端均固定连接有支撑板(14)，每个所述支撑板(14)的底端均固定连接有密封垫(13)，两组所述密封垫(13)的外表面分别与两组筒体(5)的内壁相接触，每个所述滑杆(7)的外表面均套设有拉簧(15)，两组所述拉簧(15)的底端分别与两组支撑板(14)的上表面固定连接，两组所述拉簧(15)的顶端分别与两组筒体(5)的内顶壁固定连接。2.根据权利要求1所述的一种大尺寸碳化硅生长用籽晶固定装置，其特征在于，每个所述籽晶收纳槽(10)的内部...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈志谋，
申请(专利权)人：扬州申威光电器材有限公司，
类型：新型
国别省市：