过滤装置及过滤设备制造方法及图纸

本申请公开了一种过滤装置及过滤设备。该过滤装置包括架体，及多个过滤片、第一挡片和第二挡片。架体沿第一方向的第一侧具有第一开口，架体沿第一方向的第二侧具有第二开口。多个过滤片设置于架体的容纳空间，每个过滤片沿第一方向设置。多个第一挡片位于架体的第一侧，且每个第一挡片分别与两个相邻的过滤片连接。多个第二挡片位于架体的第二侧，且每个第二挡片分别与两个相邻的过滤片连接。多个第一挡片与多个第二挡片沿垂直于第一方向的第二方向交替排布。本申请的过滤装置，通过多个过滤片对流经过滤装置的气流进行过滤，相邻过滤片的间隙通过第一挡片和第二挡片交替封堵，可以确保气流充分地流经过滤片，过滤装置的过滤效率较高。效率较高。效率较高。

【技术实现步骤摘要】
过滤装置及过滤设备


[0001]本申请涉及化学过滤器
，尤其涉及一种过滤装置及过滤设备。

技术介绍

[0002]随着半导体工艺制程的进步，大规模集成电路的制程精度已经全面进入纳米时代，空气分子污染(Airborne Molecular Contamination，AMC)逐渐成为影响洁净室环境和工艺制程良率的重要因素。作为AMC控制的主要手段，在洁净室的过滤设备(Fan Filter Unit，FFU)上加装化学过滤器，越来越多地应用于半导体和液晶面板项目中。
[0003]目前的FFU用化学过滤器，主要采用填充无纺布(也称作夹炭布)过滤介质的形式，且将无纺布进行褶叠设计，使无纺布具有多个褶形，以在既定的空间内增加过滤面积。然而，褶叠设计的无纺布存在的一方面缺陷是：褶形容易坍塌，特别是褶间距较小，褶高较高时，这会造成较大的压损，导致过滤介质的有效利用率不能得到充分发挥，过滤器的过滤效率较低；另一方面缺陷是：现有的无纺布褶叠加工需要在特定的褶纸机上以固定的褶高进行，无法将同一张无纺布加工成不同的褶高，而采用固定褶高的化学过滤器中间部分的气流速度要明显大于靠边缘部分的气流速度，因此造成该种化学过滤器中各部分的寿命和效率不均。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供一种过滤装置及过滤设备，以解决化学过滤器的过滤效率较低的问题。
[0005]一方面，本申请实施例提出了一种过滤装置，包括架体，及多个过滤片、第一挡片和第二挡片；所述架体内部具有容纳空间，所述架体沿第一方向的第一侧具有第一开口，所述架体沿第一方向的第二侧具有第二开口；多个所述过滤片设置于所述架体的容纳空间，每个所述过滤片沿所述第一方向设置；多个所述第一挡片位于所述架体的第一侧，多个所述第一挡片与所述架体连接，且每个所述第一挡片分别与两个相邻的所述过滤片连接；多个所述第二挡片位于所述架体的第二侧，多个所述第二挡片与所述架体连接，且每个所述第二挡片分别与两个相邻的所述过滤片连接；多个所述第一挡片与多个所述第二挡片沿第二方向交替排布，所述第二方向垂直于所述第一方向。
[0006]根据本申请实施例的一个方面，所述过滤片沿所述第二方向的两侧中的至少一侧设置有网状结构。
[0007]根据本申请实施例的一个方面，多个所述过滤片平行设置。
[0008]根据本申请实施例的一个方面，在所述第二方向上，多个所述第一挡片中靠近所述架体的所述第一挡片与所述架体连接。
[0009]根据本申请实施例的一个方面，在所述第二方向上，多个所述第二挡片中靠近所述架体的所述第二挡片与所述架体连接。
[0010]根据本申请实施例的一个方面，多个所述过滤片在所述第一方向上的高度相同。
[0011]根据本申请实施例的一个方面，在所述第二方向上，靠近所述架体中部的所述过滤片在所述第一方向上的高度高于远离所述架体中部的所述过滤片在所述第一方向上的高度。
[0012]根据本申请实施例的一个方面，在所述第二方向上，多个所述过滤片相对所述架体中部对称分布。
[0013]根据本申请实施例的一个方面，所述架体为环状结构或多边形结构。
[0014]另一方面，本申请实施例提出了一种过滤设备，包括风机过滤机组、连接架及如前述的过滤装置，所述过滤装置通过所述连接架连接于所述风机过滤机组的进风口。
[0015]本申请实施例提供的过滤装置，通过多个过滤片对流经过滤装置的气流进行过滤，相邻过滤片的间隙通过第一挡片和第二挡片交替封堵，可以确保气流充分地流经过滤片，过滤片的利用效率可以充分发挥，可以提升过滤效果，过滤装置的过滤效率较高。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本申请实施例提供的过滤装置的俯视结构示意图；
[0018]图2为本申请实施例提供的过滤装置的主视结构示意图；
[0019]图3为本申请实施例提供的过滤装置的过滤片的结构示意图；
[0020]图4为本申请另一实施例提供的过滤装置的俯视结构示意图。
[0021]附图标记：
[0022]1‑
架体，2
‑
过滤片，3
‑
第一挡片，4
‑
第二挡片，5
‑
网状结构。
具体实施方式
[0023]下面结合附图和实施例对本申请的实施方式作进一步详细描述。以下实施例的详细描述和附图用于示例性地说明本申请的原理，但不能用来限制本申请的范围，即本申请不限于所描述的实施例。
[0024]在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有说明，术语“第一”和“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；“多个”的含义是两个或两个以上；术语“内”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0025]请参阅图1及图2，本申请实施例提供一种过滤装置，包括架体1、多个过滤片2、多个第一挡片3和多个第二挡片4。
[0026]架体1内部具有容纳空间，架体1沿第一方向的第一侧具有第一开口，架体1沿第一方向的第二侧具有第二开口，例如，架体1的前后两侧分别具有第一开口和第二开口。实际应用时，第一开口和第二开口可以分别作为过滤装置的进风口和出风口。具体实施时，架体1为环状结构或多边形结构，例如，架体1可以为矩形结构。
[0027]多个过滤片2设置于架体1的容纳空间，每个过滤片2沿第一方向设置，即每个过滤片2可以平行于第一方向设置。具体地，每个过滤片2的一端可以与架体1的顶部连接，另一端可以与架体1的底部连接。实际应用时，过滤片2可以采用夹炭布，或者采用其他可以控制空气分子污染的过滤介质。
[0028]多个第一挡片3位于架体1的第一侧。多个第一挡片3与架体1连接，具体地，每个第一挡片3的一端可以与架体1的顶部连接，另一端可以与架体1的底部连接。并且，每个第一挡片3分别与两个相邻的过滤片2连接，具体地，每个第一挡片3的左右两侧分别与两个相邻的过滤片2连接。
[0029]多个第二挡片4位于架体1的第二侧。相似地，多个第二挡片4与架体1连接，具体地，每个第二挡片4的一端可以与架体1的顶部连接，另一端可以与架体1的底部连接。且每个第二挡片4分别与两个相邻的过滤片2连接，具体地，每个第二挡片4的左右两侧分别与两个相邻的过滤片2连接。在具体实施中，多个第二挡片4与多个第一挡片3沿垂直于第一方向的第二方向交替排布。
[0030]本申请实施例提供的过滤装置，通过多个过滤片2对流经过滤装置的气流进本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种过滤装置，其特征在于，包括架体，及多个过滤片、第一挡片和第二挡片；所述架体内部具有容纳空间，所述架体沿第一方向的第一侧具有第一开口，所述架体沿第一方向的第二侧具有第二开口；多个所述过滤片设置于所述架体的容纳空间，每个所述过滤片沿所述第一方向设置；多个所述第一挡片位于所述架体的第一侧，多个所述第一挡片与所述架体连接，且每个所述第一挡片分别与两个相邻的所述过滤片连接；多个所述第二挡片位于所述架体的第二侧，多个所述第二挡片与所述架体连接，且每个所述第二挡片分别与两个相邻的所述过滤片连接；多个所述第一挡片与多个所述第二挡片沿第二方向交替排布，所述第二方向垂直于所述第一方向。2.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤片沿所述第二方向的两侧中的至少一侧设置有网状结构。3.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，多个所述过滤片平行设置。4.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李卫，徐刚，周涛，
申请(专利权)人：世源科技工程有限公司，
类型：新型
国别省市：