一种具有刻蚀液自动切换补给机构的多工位刻蚀设备制造技术

技术编号:38837455 阅读:9 留言:0更新日期:2023-09-17 09:53
本发明专利技术公开了一种具有刻蚀液自动切换补给机构的多工位刻蚀设备,涉及刻蚀设备技术领域,该刻蚀设备旨在解决现有技术下单工位工作效率低,不具备在刻蚀液和清水间自动切换补给的技术问题,该刻蚀设备包括传送架、依次设置在传送架右侧的刻蚀槽和风干箱、固定连接在传送架、刻蚀槽和风干箱后端的背板、从左往右依次固定连接在刻蚀槽前端的刻蚀液箱和清水箱,该刻蚀设备采用多工位的设计,可以同时对多个产品进行刻蚀作用,有效提高工作效率,通过第一供液泵和第二供液泵的设计,在刻蚀液箱和清水箱之间自动切换补给,刻蚀台采用可转动的设计,配合可移动的U型移动架,使刻蚀管的出液角度最佳,保证最好的刻蚀效果,最后通过风扇进行风干。行风干。行风干。

【技术实现步骤摘要】
一种具有刻蚀液自动切换补给机构的多工位刻蚀设备


[0001]本专利技术属于刻蚀设备
,具体涉及一种具有刻蚀液自动切换补给机构的多工位刻蚀设备。

技术介绍

[0002]刻蚀的目的是用化学或物理方法有选择地从硅片表面去除不需要的材料,刻蚀方法分为干法刻蚀和湿法刻蚀,干法刻蚀具备选择性好、重复性好、生产效率高、设备简单、成本低的优点。
[0003]目前,专利号为CN 202211639397.X的专利技术专利公开了一种PCB板喷淋蚀刻设备,其特征在于:包括设备本体、夹持机构、蚀刻机构和控制机构,所述控制机构通过控制所述夹持机构将PCB板移动到所述蚀刻机构处进行喷淋蚀刻;设备本体,包括分别容纳所述夹持机构、蚀刻机构和控制机构的夹持腔、蚀刻腔和控制腔,所述夹持腔与所述蚀刻腔连通,所述夹持腔两端壁相对设置有两滑槽;夹持机构,包括滑动组件、转动组件、夹持组件、第一拉线和磁吸组件,所述滑动组件带动所述转动组件、夹持组件和磁吸组件沿着所述滑槽上下移动,所述转动组件一端与所述滑动组件固定连接,另一端与所述转动组件转动连接,所述磁吸组件通过所述第一拉线控制所述夹持组件的夹持力度;所述转动组件包括第一横板,与所述横板转动连接的第一转台,与所述第一转台转动连接的夹持台;所述夹持组件包括固定块、弹簧杆、第一弹簧和夹持板,所述固定块与所述夹持台固定连接,所述固定块两端设有供所述弹簧杆插入的弹簧槽,所述第一弹簧设置在所述弹簧槽内部用于抵接所述弹簧杆,所述弹簧杆远离所述第一弹簧的一端与所述夹持板固定连接;所述磁吸组件包括花键杆、第二弹簧和第一磁铁,所述夹持台远离所述第一转台的一端设有供所述花键杆插入的花键槽,所述第二弹簧设置在所述花键槽内部用于抵接所述花键杆,所述花键杆远离所述第二弹簧的一端与所述第一磁铁固定连接;所述第一拉线一端连接所述弹簧杆,另一端连接所述花键杆;蚀刻机构,包括第二横板、喷淋器、第二转台、第二磁铁,所述第二横板固设在所述蚀刻腔内壁上,所述喷淋器固设在所述第二横板的两端,所述第二磁铁固设在所述第二转台上并与所述第一磁铁磁吸配合,所述第二横板设有供所述第一磁铁穿过的通孔,所述第二磁铁带动所述第一磁铁转动,其采用的是有避免PCB板在蚀刻液中浸泡,导致PCB板侧面被大幅腐蚀,但该刻蚀设备采用单工位的设计,同时只能对一个产品进行刻蚀,工作效率低,不具备在刻蚀液和清水间自动切换补给的功能,刻蚀后的产品需要另外进行清洗和风干。
[0004]因此,针对上述单工位效率低和不能在刻蚀液和清水间自动切换补给的问题,亟需得到解决,以改善刻蚀设备的使用场景。

技术实现思路

[0005](1)要解决的技术问题
[0006]针对现有技术的不足,本专利技术的目的在于提供一种具有刻蚀液自动切换补给机构
的多工位刻蚀设备,该刻蚀设备旨在解决现有技术下单工位工作效率低,不具备在刻蚀液和清水间自动切换补给的技术问题。
[0007](2)技术方案
[0008]为了解决上述技术问题,本专利技术提供了这样一种具有刻蚀液自动切换补给机构的多工位刻蚀设备,该刻蚀设备包括传送架、依次设置在所述传送架右侧的刻蚀槽和风干箱、固定连接在所述传送架、刻蚀槽和风干箱后端的背板、从左往右依次固定连接在所述刻蚀槽前端的刻蚀液箱和清水箱;其中,所述刻蚀液箱上端从左往右依次设置有第一供液泵和第一加液口,所述清水箱上端从左往右依次设置有第二供液泵和第二加液口,所述传送架内前后两侧均转动连接有传送轴,所述传送轴和另一传送轴外侧安装有等距分布的传送带,所述背板后端安装有等距分布的伸缩气缸,所述伸缩气缸前端可伸缩端穿过所述背板固定连接有连接座,所述连接座内转动连接有滚珠丝杠,所述滚珠丝杠外侧安装有丝杠副,所述连接座内安装有用于驱动所述滚珠丝杠的第一电机,所述丝杠副前端固定连接有连接杆,所述连接杆下端固定连接有安装座,所述安装座下端固定连接有等距分布的升降气缸,所述升降气缸下端安装有真空吸盘,所述刻蚀槽左右两侧上端均安装有轴承座,所述轴承座内转动连接有转动杆,所述转动杆和另一转动杆之间固定连接有刻蚀架,所述刻蚀架上端安装有等距分布的刻蚀台,所述刻蚀槽左右两端均开设有滑动槽,所述滑动槽内滑动连接有滑动块,所述滑动块和另一滑动块外侧安装有U型移动架,所述U型移动架顶部下端安装有等距分布的刻蚀管,所述刻蚀液箱内转动连接有搅拌轴,所述搅拌轴上下两端均固定连接有等距分布的固定杆,所述固定杆外侧安装有搅拌叶片,所述背板前端右侧安装有顶板,所述顶板下端安装有风扇,所述刻蚀液箱和清水箱顶部下端均安装有自动加液阀,所述刻蚀槽左右两端均固定连接有齿条。
[0009]使用本技术方案的刻蚀设备时,待刻蚀的产品放在传送架内的传送带上,传送轴带动传送带转动,待刻蚀的产品向后运送,背板后端的伸缩气缸推动连接座往前,安装座下端的升降气缸推动真空吸盘向下,将待刻蚀的产品吸住,升降气缸缩回,连接座内的第一电机启动,驱动滚珠丝杠旋转,丝杠副带动连接杆向右移动,升降气缸推动真空吸盘向下,将待刻蚀的产品放在刻蚀台中,伸缩气缸缩回,轴承座内的转动杆带动刻蚀架旋转,调整刻蚀角度,U型移动架前后移动,U型移动架内侧的滑动块在滑动槽内同步移动,调整出液位置,刻蚀液箱内的搅拌轴旋转,带动固定杆和搅拌叶片旋转,将刻蚀液搅拌均匀,第一供液泵将刻蚀液箱内的刻蚀液抽出,并通过U型移动架顶部下端的刻蚀管对刻蚀台内待刻蚀的产品进行刻蚀,然后切换成第二供液泵,将清水箱内的清水抽出,对刻蚀后的产品进行清洗,同理,真空吸盘将清洗后的产品送入风干箱中,启动顶板下端的风扇,将产品风干。
[0010]进一步地,所述U型移动架左右两端内侧均安装有第二电机,所述第二电机输出轴外侧安装有齿轮,所述齿轮和齿条为啮合连接。
[0011]进一步地,所述刻蚀槽内固定连接有第一限位座,所述第一限位座上端活动连接有第一过滤网。
[0012]进一步地,所述搅拌轴左端穿过所述刻蚀液箱依次安装有联轴器和第三电机,所述第三电机和刻蚀液箱之间固定连接有上下对称分布的支撑架。
[0013]进一步地,所述刻蚀槽左端固定连接有第四电机,所述第四电机输出轴和转动杆之间安装有传动皮带。
[0014]进一步地,所述风干箱内固定连接有第二限位座,所述第二限位座上端活动连接有第二过滤网。
[0015]进一步地,所述刻蚀液箱和第一供液泵进口端之间安装有第一进液管,所述清水箱和第二供液泵进口端之间安装有第二进液管,所述第一供液泵和第二供液泵出口端之间安装有Y型出液管,所述Y型出液管上端安装有四通接头,所述四通接头的其他接口与刻蚀管之间安装有供液管,所述供液管和Y型出液管上均安装有阀门。
[0016]进一步地,所述真空吸盘、传送带、刻蚀台和刻蚀管一一对应,且真空吸盘与传送带和刻蚀台上下对齐,并且刻蚀管和刻蚀台上下对齐。
[0017](3)有益效果
[0018]与现有技术相比,本专利技术的有益效果在于:本专利技术的刻蚀设备采用多工位的设计,可以同时对多个产品进行刻蚀作用,有效提高工作效率,通过第一供液泵和第二供液泵的设计,在刻蚀液箱和清水箱之本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有刻蚀液自动切换补给机构的多工位刻蚀设备,该刻蚀设备包括传送架(1)、依次设置在所述传送架(1)右侧的刻蚀槽(2)和风干箱(3)、固定连接在所述传送架(1)、刻蚀槽(2)和风干箱(3)后端的背板(4)、从左往右依次固定连接在所述刻蚀槽(2)前端的刻蚀液箱(5)和清水箱(6);其特征在于,所述刻蚀液箱(5)上端从左往右依次设置有第一供液泵(7)和第一加液口(8),所述清水箱(6)上端从左往右依次设置有第二供液泵(9)和第二加液口(10),所述传送架(1)内前后两侧均转动连接有传送轴(11),所述传送轴(11)和另一传送轴(11)外侧安装有等距分布的传送带(12),所述背板(4)后端安装有等距分布的伸缩气缸(13),所述伸缩气缸(13)前端可伸缩端穿过所述背板(4)固定连接有连接座(14),所述连接座(14)内转动连接有滚珠丝杠(15),所述滚珠丝杠(15)外侧安装有丝杠副(16),所述连接座(14)内安装有用于驱动所述滚珠丝杠(15)的第一电机(17),所述丝杠副(16)前端固定连接有连接杆(18),所述连接杆(18)下端固定连接有安装座(19),所述安装座(19)下端固定连接有等距分布的升降气缸(20),所述升降气缸(20)下端安装有真空吸盘(21),所述刻蚀槽(2)左右两侧上端均安装有轴承座(22),所述轴承座(22)内转动连接有转动杆(23),所述转动杆(23)和另一转动杆(23)之间固定连接有刻蚀架(24),所述刻蚀架(24)上端安装有等距分布的刻蚀台(25),所述刻蚀槽(2)左右两端均开设有滑动槽(26),所述滑动槽(26)内滑动连接有滑动块(27),所述滑动块(27)和另一滑动块(27)外侧安装有U型移动架(28),所述U型移动架(28)顶部下端安装有等距分布的刻蚀管(29),所述刻蚀液箱(5)内转动连接有搅拌轴(30),所述搅拌轴(30)上下两端均固定连接有等距分布的固定杆(31),所述固定杆(31)外侧安装有搅拌叶片(32),所述背板(4)前端右侧安装有顶板(33),所述顶板(33)下端安装有风扇(34),所述刻蚀液箱(5)和清水箱(6)顶部下端均安装有自动加液阀(35),所述刻蚀槽(2)左右两端均固...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐文涛李永飞闫东永张运浩
申请(专利权)人:苏州迈克希自动化科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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