【技术实现步骤摘要】
激光光路调试方法及激光加工设备
[0001]本专利技术涉及激光加工
,尤其涉及一种激光光路调试方法及激光加工设备。
技术介绍
[0002]在高精度加工领域常用激光加工设备对工件进行加工。
[0003]激光加工设备在制造、组装等过程中不可避免地会产生各种误差,若误差累积到一定程度,则激光加工设备输出光束的位置会产生显著变化,并偏离初始误差校正条件,导致加工幅面内的各个聚焦光斑位置误差增大,影响激光加工的准确度及加工质量。
技术实现思路
[0004]有鉴于此,本申请提供了一种激光光路调试方法及激光加工设备,用以解决现有技术中激光加工设备加工准确性低、加工质量差的问题。
[0005]本申请提供了一种激光光路调试方法,所述激光光路调试方法应用于激光加工设备,所述激光加工设备包括沿光路方向依次设置的第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、振镜组件、扫描镜及工作平台,其中,所述第三反射镜及所述振镜组件安装于移动件上,所述移动件能相对于所述第二反射镜在竖直方向上移动,所述激光光路调试方法包括:
[0006]在所述工作平台上设置光斑分析仪,在所述第二反射镜与所述第三反射镜之间设置参考光阑,所述参考光阑上设置有通光孔;
[0007]设置沿所述光路方向照射的指示光束,且使得所述指示光束穿过所述通光孔照射至所述光斑分析仪;
[0008]调整所述移动件与所述第二反射镜之间的距离,再调整所述第一反射镜和/或所述第二反射镜的姿态,直至所述光斑分析仪检测到所述指示光束穿过所述通光孔的中心。 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种激光光路调试方法,其特征在于,所述激光光路调试方法应用于激光加工设备,所述激光加工设备包括沿光路方向依次设置的第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、振镜组件、扫描镜及工作平台,其中,所述第三反射镜及所述振镜组件安装于移动件上,所述移动件能相对于所述第二反射镜在竖直方向上移动,所述激光光路调试方法包括:在所述工作平台上设置光斑分析仪,在所述第二反射镜与所述第三反射镜之间设置参考光阑,所述参考光阑上设置有通光孔;设置沿所述光路方向照射的指示光束,且使得所述指示光束穿过所述通光孔照射至所述光斑分析仪;调整所述移动件与所述第二反射镜之间的距离,再调整所述第一反射镜和/或所述第二反射镜的姿态,直至所述光斑分析仪检测到所述指示光束穿过所述通光孔的中心。2.根据权利要求1所述的激光光路调试方法,其特征在于,所述再调整所述第一反射镜和/或所述第二反射镜的姿态,直至所述光斑分析仪检测到所述指示光束穿过所述通光孔的中心,具体包括:调整所述第一反射镜和/或所述第二反射镜的姿态,直至所述光斑分析仪检测到圆对称的光斑效果,此时所述指示光束穿过所述通光孔的中心。3.根据权利要求1所述的激光光路调试方法,其特征在于,所述调整所述移动件与所述第二反射镜之间的距离,再调整所述第一反射镜和/或所述第二反射镜的姿态,直至所述光斑分析仪检测到所述指示光束穿过所述通光孔的中心,具体包括:调整所述移动件使得所述移动件与所述第二反射镜相距第一距离,并调整所述第一反射镜的姿态,以使所述指示光束穿过所述通光孔的中心并使得所述光斑分析仪检测到圆对称的光斑效果;调整所述移动件使得所述移动件与所述第二反射镜相距第二距离,并调整所述第二反射镜的姿态,以使所述指示光束穿过所述通光孔的中心并使得所述光斑分析仪检测到圆对称的光斑效果;其中,所述第一距离小于所述第二距离。4.根据权利要求3所述的激光光路调试方法,其特征在于,所述第一距离为所述移动件的移动行程中与所述第二反射镜相距最近的极限距离,所述第二距离为所述移动件的移动行程中与所述第二反射镜相距最远的极限距离。5.根据权利要求1
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4任一项所述的激光光路调试方法,其特征在于,所述通光孔的孔径设置为所述指示光束直径的0.5
‑
0.9倍。6.根据权利要求1所述的激光光路调试方法,其特征在于,在所述调整所述移动件与所述第二反射镜之间的距离,再调整所述第一反射镜和/或所述第二反射镜的姿态,直至所述光斑分析仪检测到所述指示光束穿过所述通光孔的中心之后,所述激光光路调试方法还包括:拆除所述第二反射镜与所述第三反射镜之间的所述参考光阑。7.根据权利要求6所述的激光光路调试方法,其特征在于,在所述拆除所述第二反射镜与所述第三反射镜之间的所述参考光阑之后,所述激光光路调试方法还包括:在所述振镜组件与所述第三反射镜之间设置所述参考光阑,调整所述第三反射镜的姿态,直至所述光斑分析仪检测到所述指示光束穿过所述通光孔的中心;
拆除所述振镜组件与所述第三反射镜之间的所述参考光阑。8.根据权利要求7所述的激光光路调试方法,其特征在于,所述振镜组件包括X轴反射镜、Y轴反射镜、与X轴反射镜连接的第...
【专利技术属性】
技术研发人员:梁宗森,陈国栋,吕洪杰,杨朝辉,
申请(专利权)人:深圳市大族数控科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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