碳化硅洁净车间及碳化硅生产厂房制造技术

本实用新型专利技术实施例提供了一种碳化硅洁净车间及碳化硅生产厂房，属于碳化硅生产领域，碳化硅生产厂房内置有碳化硅洁净车间，碳化硅洁净车间包括车间本体、回气管路、空气处理机组及空气冷却结构，车间本体设置有进风口和排风口，进风口处设置有第一过滤单元，回气管路的两端分别与进风口和排风口连通，空气处理机组设置于回气管路，空气冷却结构设置于回气管路。通过设置带有空气处理机组和空气冷却结构的回气管路，车间本体内排出的空气可以经过处理和冷却后，重新变为洁净度和温度满足相关要求的新风回到车间本体内，如此新风系统产生的新风可以循环利用，从而减少对新风系统的新风需求，降低新风系统的能耗。降低新风系统的能耗。降低新风系统的能耗。

【技术实现步骤摘要】
碳化硅洁净车间及碳化硅生产厂房


[0001]本技术涉及碳化硅生产领域，具体而言，涉及一种碳化硅洁净车间及碳化硅生产厂房。

技术介绍

[0002]作为第三代半导体材料的代表，碳化硅(SiC)具有宽禁带、高击穿电场、高热导率、高饱和电子迁移率等特点，因此采用碳化硅材料制备的半导体器件适用于高电压、大电流、高温、高频等场景，前景十分广阔。
[0003]经专利技术人研究发现，现有的碳化硅洁净车间对空气的洁净度要求很高，相应地对新风的需求量很大，导致新风系统能耗较高。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种碳化硅洁净车间和碳化硅生产厂房，其能够有效减少新风系统的能耗，降低碳化硅生产的成本。
[0005]本技术的实施例是这样实现的：
[0006]第一方面，本技术提供一种碳化硅洁净车间，包括：
[0007]车间本体，所述车间本体设置有进风口和排风口，所述进风口处设置有第一过滤单元；
[0008]回气管路，所述回气管路的两端分别与所述进风口和所述排风口连通；
[0009]空气处理机组，所述空气处理机组设置于所述回气管路；
[0010]空气冷却结构，所述空气冷却结构设置于所述回气管路。
[0011]在可选的实施方式中，所述空气处理机组包括依次设置的进风段、化学过滤段、中效过滤段、均流段、风机段、高效过滤段以及出风段。
[0012]在可选的实施方式中，所述第一过滤单元为FFU。
[0013]在可选的实施方式中，所述空气冷却结构为DCC。
[0014]在可选的实施方式中，所述进风口位于所述车间本体的顶部，所述排风口位于所述车间本体的底部。
[0015]在可选的实施方式中，沿所述回气管路中的气流方向，所述空气冷却结构位于所述空气处理机组的下游。
[0016]在可选的实施方式中，碳化硅洁净车间还包括工艺设备、支撑架以及防护罩，所述支撑架放置于所述车间本体的地面，所述工艺设备放置于所述支撑架，所述防护罩设置于所述支撑架且与所述支撑架共同形成容纳所述工艺设备的工作空间，所述防护罩的顶部设置有进气口，所述支撑架设置有排气口，所述进气口和所述排气口分别与所述工作空间连通。
[0017]在可选的实施方式中，所述进气口处设置有第二过滤单元。
[0018]在可选的实施方式中，所述第二过滤单元为EFU。
[0019]第二方面，本技术提供一种碳化硅生产厂房，包括前述实施方式任一项所述的碳化硅洁净车间。
[0020]本技术实施例的有益效果包括：
[0021]本碳化硅洁净车间包括车间本体、回气管路、空气处理机组及空气冷却结构，车间本体设置有进风口和排风口，进风口处设置有第一过滤单元，回气管路的两端分别与进风口和排风口连通，空气处理机组设置于回气管路，空气冷却结构设置于回气管路。通过设置带有空气处理机组和空气冷却结构的回气管路，车间本体内排出的空气可以经过处理和冷却后，重新变为洁净度和温度满足相关要求的新风回到车间本体内，如此新风系统产生的新风可以循环利用，从而减少对新风系统的新风需求，降低新风系统的能耗，降低碳化硅的生产成本。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0023]图1为本技术实施例提供的碳化硅洁净车间的结构示意图；
[0024]图2为本技术实施例提供的空气处理机组的结构示意图。
[0025]图标:10
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碳化硅生产厂房；20
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碳化硅洁净车间；100
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车间本体；110
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进风口；112
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第一过滤单元；120
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排风口；200
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工艺设备；210
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支撑架；212
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排气口；220
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防护罩；222
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进气口；224
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第二过滤单元；240
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工作空间；300
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回气管路；400
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空气处理机组；410
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进风段；420
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化学过滤段；430
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中效过滤段；440
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均流段；450
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风机段；460
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高效过滤段；470
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出风段；500
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空气冷却结构。
具体实施方式
[0026]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0027]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0029]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和
操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0030]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0031]请参照图1，本技术提供一种碳化硅生产厂房10，其内置有碳化硅洁净车间20，碳化硅洁净车间20用于碳化硅的生产，包括但不限于碳化硅衬底检测、碳化硅外延或者器件的加工等。
[0032]详细地，本碳化硅洁本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅洁净车间(20)，其特征在于，包括：车间本体(100)，所述车间本体(100)设置有进风口(110)和排风口(120)，所述进风口(110)处设置有第一过滤单元(112)；回气管路(300)，所述回气管路(300)的两端分别与所述进风口(110)和所述排风口(120)连通；空气处理机组(400)，所述空气处理机组(400)设置于所述回气管路(300)；空气冷却结构(500)，所述空气冷却结构(500)设置于所述回气管路(300)。2.根据权利要求1所述的碳化硅洁净车间(20)，其特征在于，所述空气处理机组(400)包括依次设置的进风段(410)、化学过滤段(420)、中效过滤段(430)、均流段(440)、风机段(450)、高效过滤段(460)以及出风段(470)。3.根据权利要求1所述的碳化硅洁净车间(20)，其特征在于，所述第一过滤单元(112)为FFU。4.根据权利要求1所述的碳化硅洁净车间(20)，其特征在于，所述空气冷却结构(500)为DCC。5.根据权利要求1所述的碳化硅洁净车间(20)，其特征在于，所述进风口(110)位于所述车间本体(100)的顶部，所述排风口(120)位于所述车间本体(100)的底部。6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：张哲，卫元元，吕芳栋，罗鸿，叶水全，徐江，简征程，李建，李书文，王奇缘，张建，张旭，卿成，
申请(专利权)人：通威微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：