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本实用新型实施例提供了一种碳化硅洁净车间及碳化硅生产厂房，属于碳化硅生产领域，碳化硅生产厂房内置有碳化硅洁净车间，碳化硅洁净车间包括车间本体、回气管路、空气处理机组及空气冷却结构，车间本体设置有进风口和排风口，进风口处设置有第一过滤单元，回...
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