一种适用于半导体键合工序多功能使用操作柜制造技术

本实用新型专利技术属于半导体制造加工辅助装置技术领域，具体涉及一种适用于半导体键合工序多功能使用操作柜，包括柜体、多扇柜门和多个支撑腿，所述柜体顶部设有门锁扫码枪和显微镜组件，所述柜体内部开设有材料存储箱、产品存储箱和夹具存储抽屉，所述柜体外壁连通设有氮气管路，所述柜门包括材料存储箱柜门和产品存储箱柜门，所述材料存储箱柜门均配合设有扫码电磁锁，所述支撑腿均连接设有万向轮，本实用新型专利技术可防止产品氧化，可实现扫码开门领取相应的物件，可通过显微镜随时监控产品的质量，同时可自由移动至工作地点，杜绝了人工发放领用材料的错误率，大大提高了工作效率和产品质量。量。量。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于半导体键合工序多功能使用操作柜


[0001]本技术属于半导体制造加工辅助装置
，具体涉及一种适用于半导体键合工序多功能使用操作柜。

技术介绍

[0002]键合工序的产品一般对产品的储存条件要求比较高，储存稍有不到位容易出现产品质量问题。常规的作业存在生产效率低、人员作业工作量大员工流失率高、产品作业时间长容易出现产品分层等质量问题。常规作业流程步骤如下：1、装片后固化后的产品放入键合氮气柜；2、键合员工到氮气柜找出所对应的产品，放到键合工作桌待键合一层；3、键合组长根据要求开出改机申请，对应操作工到物料室领取对应的键合夹具、金铜丝、劈刀；4、试验合格后，开机开始正常生产；5、键合操作工将技术员调试好试机料交到对应的QA处进行拉力、推力、弹坑试验；6、键合技术员根据改机申请进行产品调试；7、键合后的产品放到键合工作桌已键合处；8、中途金铜丝用完和劈刀寿命到均需到物料室更换；9、键合后的产品交到MC处检验合格后交往塑封工序。现有常规操作流程存在以下缺点：1、常规操作流程，键合前、键合后的产品均暴露在空气中，产品容易落灰尘；2、常规操作流程，键合前、键合后的产品均暴露在空气中，产品容易氧化；3、常规操作流程，键合前、键合后的产品均暴露在空气中，产品容易吸收空气中的水汽，导致塑封后产品分层等质量异常；4、常规的操作流程，键合过程中的质量监控，必须将产品送到固定的MC处，过程浪费时间，操作工离开机台报警浪费机台产能；5、常规的操作流程，机台劈刀寿命到，员工需要跑到物料室领取材料，有时候需要排队领料，导致机台长时间报警无人处理，浪费效率；6、常规的操作流程，机台金铜丝用完，员工需要跑到物料室领取金铜丝，有时候需要排队领料，导致机台长时间报警无人处理，浪费效率；7、常规的操作流程，员工领取劈刀、金铜丝都需要到物料室领取，一天下来员工要跑不少路，会加重员工的工作负荷，导致员工离职率高的现象；8、人工发放和领取材料，确认不到位会出现材料发错和领错的现象出现，导致产品质量；9、常规的操作流程，技术员改机还需要到物料室领取夹具，浪费时间，影响机台效率；10、常规的操作流程，键合物料桌、材料室、检验台都是固定地方，间隔较远影响效率。

技术实现思路

[0003]针对现有技术中存在的上述不足之处，本技术提供了一种适用于半导体键合工序多功能使用操作柜，用以解决上述现有的问题。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术采用了如下技术方案：
[0005]一种适用于半导体键合工序多功能使用操作柜，包括柜体、多扇柜门和多个支撑腿，所述柜体顶部设有门锁扫码枪和显微镜组件，所述柜体内部开设有材料存储箱、产品存储箱和夹具存储抽屉，所述柜体外壁连通设有氮气管路，所述柜门包括材料存储箱柜门和产品存储箱柜门，所述材料存储箱柜门均配合设有扫码电磁锁，所述支撑腿均连接设有万向轮。
[0006]进一步，所述显微镜组件包括显微镜和产品托盘，所述产品托盘位于显微镜下方。
[0007]进一步，所述材料存储箱位于柜体左右两侧，所述产品存储箱位于柜体中部，所述夹具存储抽屉位于柜体底部。
[0008]进一步，所述门锁扫码枪为两个，且位于箱体顶部两侧。
[0009]进一步，所述产品存储箱为四个，所述产品存储箱柜门为四扇，且均配合设有门锁。
[0010]进一步，所述材料存储箱为十个，且均等分布于柜体左右两侧。
[0011]本技术与现有技术相比，具有如下有益效果：
[0012]1.本技术可防止尘埃粒子或者异物落到产品上，避免了产品质量的发生；
[0013]2.本技术为封闭式结构，可通有保护的惰性气体氮气，防止产品氧化发生；
[0014]3.本技术设有显微镜，员工可随时监控产品的质量，进一步减少了质量异常的发生；
[0015]4.本技术可存放产品、材料和夹具，大大降低了员工的工作量，大大降低了员工的离职率，对员工的稳定性起到一定的作用；
[0016]5.本技术设有门锁扫码枪，可用流程卡扫码领取相应的物件，杜绝了人工发放领用材料的错误率，杜绝了因为材料发放领用错误的质量异常；
[0017]6.本技术设有万向轮，可以根据需求移动地方，也可以作为质量流动检验桌，大大的方便了生产线的使用效果。
附图说明
[0018]图1为本技术一种适用于半导体键合工序多功能使用操作柜实施例的立体结构示意图(视角一)；
[0019]图2为本技术一种适用于半导体键合工序多功能使用操作柜实施例的立体结构示意图(视角二)；
[0020]图3为本技术一种适用于半导体键合工序多功能使用操作柜实施例的立体结构示意图(视角三)；
[0021]说明书附图中的附图标记包括：
[0022]柜体1、门锁扫码枪2、显微镜组件3、显微镜31、产品托盘32、材料存储箱4、产品存储箱5、夹具存储抽屉6、氮气管路7、万向轮8。
具体实施方式
[0023]为了使本领域的技术人员可以更好地理解本技术，下面结合附图和实施例对本技术技术方案进一步说明。
[0024]其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本技术的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。
[0025]本技术实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本技术的描述中，需要理解的是，若出现术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位
或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
[0026]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“连接”等指示部件之间的连接关系，该术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个部件内部的连通或两个部件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0027]实施例：
[0028]如图1
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图3所示，本技术的一种适用于半导体键合工序多功能使用操作柜，包括柜体1、多扇柜门和多个支撑腿，柜体1顶部设有门锁扫码枪2和显微镜组件3，柜体1内部开设有材料存储箱4、产品存储箱5和夹具存储抽屉6，柜体1外壁连通设有氮气管路7，柜门包括材料存储箱柜门和产品存储箱柜门，材料存储箱柜门均配合设有扫码电磁锁，支撑腿均连接设有万向轮8，显微镜组件3包括显微镜31和产品本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于半导体键合工序多功能使用操作柜，其特征在于：包括柜体、多扇柜门和多个支撑腿，所述柜体顶部设有门锁扫码枪和显微镜组件，所述柜体内部开设有材料存储箱、产品存储箱和夹具存储抽屉，所述柜体外壁连通设有氮气管路，所述柜门包括材料存储箱柜门和产品存储箱柜门，所述材料存储箱柜门均配合设有扫码电磁锁，所述支撑腿均连接设有万向轮。2.如权利要求1所述的一种适用于半导体键合工序多功能使用操作柜，其特征在于：所述显微镜组件包括显微镜和产品托盘，所述产品托盘位于显微镜下方。3.如权利要求2所述的一种适用于半导体键合工序多...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈李广，仲兆文，陈万群，
申请(专利权)人：上海芯哲微电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：