一种晶棒切割用定位工装制造技术

本实用新型专利技术涉及晶棒加工技术领域，公开了一种晶棒切割用定位工装，所述工装架的板架中部贯通开设有晶棒插孔，且工装架的板架一侧正对于晶棒插孔的通口端安装有定夹头，所述工装架的腔体内部转动连接有传动丝杆，所述传动丝杆的轴杆端套设有推送滑台，且推送滑台的输出端贯穿工装架的板面安装有与定夹头相对合的动夹头。本实用新型专利技术取代了传统采用人工手动旋钮螺栓推动压板对晶棒进行压固的方式，通过利用夹具机构中定夹头与动夹头的机械对夹，具有快速、高效的对夹固定性能，能够降低工作人员的操作强度，同时具有稳定的对夹功能，通过传动丝杆与推送滑台的组合，推动定夹头与动夹头的机械对夹，具有牢固稳定的定位夹固功能。具有牢固稳定的定位夹固功能。具有牢固稳定的定位夹固功能。

【技术实现步骤摘要】
一种晶棒切割用定位工装


[0001]本技术涉及晶棒加工
，特别涉及一种晶棒切割用定位工装。

技术介绍

[0002]晶棒是指整个的单晶硅，因为单晶硅棒的制作是用直拉法区熔法制作完成的，其成品均为棒状，故称为晶棒，在晶棒生产完毕后，通常需对其进行精加工工序，将其切割为晶片的形式，其加工流程通常为将晶棒安装在工装上，最后将载有晶棒的工装于切片机上进行切片制成硅晶片，最后经过脱胶、清洗、烘干后得到硅晶片成品，工装作为晶棒切割的定位设备，是晶棒稳定切割的重要固定结构，例如现有专利技术所示：经检索，中国专利网公开了蓝宝石晶棒切割工装(公开公告号CN205466795U)，此类装置通过将晶棒放在定位槽内，再用压板压紧定位，使晶棒固定牢固，以便于进行稳定的切割工作。
[0003]但是，针对上述公开专利以及现有市场所采取的晶棒切割工装，还存在一些不足之处：此类采用拧动螺栓压紧压板，继而利用压板将晶棒固定在定位槽内的方式，其手动拧紧压固的方式，操作强度较高，效率较慢，且手动旋钮螺栓压固的方式，旋钮力有限，稳定性较差。为此，本领域技术人员提供了一种晶棒切割用定位工装，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于提供一种晶棒切割用定位工装，可以有效解决
技术介绍
中现有采用手动拧紧螺栓压固的方式，操作强度较高，效率较慢，且手动旋钮螺栓压固的方式，旋钮力有限，稳定性较差的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种晶棒切割用定位工装，包括导轨架，所述导轨架的轨道顶端安装有夹具机构，且导轨架的轨道上方卡合有顶料机构；
[0006]所述夹具机构包括安装在导轨架轨道顶端的支撑座，所述支撑座的支座上方设置有两组工装架，所述工装架的板架中部贯通开设有晶棒插孔，且工装架的板架一侧正对于晶棒插孔的通口端安装有定夹头，所述工装架的腔体内部转动连接有传动丝杆，所述传动丝杆的轴杆端套设有推送滑台，且推送滑台的输出端贯穿工装架的板面安装有与定夹头相对合的动夹头。
[0007]作为本技术再进一步的方案：两组所述工装架之间安装有固定在支撑座上方的同步电机，所述同步电机的输出端设置有同步齿轮，所述传动丝杆的输出端设置有与同步齿轮相啮合的传动齿轮。
[0008]作为本技术再进一步的方案：所述工装架的板架另一侧安装有与动夹头相导向卡合的推送导杆。
[0009]作为本技术再进一步的方案：所述顶料机构包括卡合安装在导轨架导轨上方的导向推座，所述导向推座的支座上方设置有电动推杆，且电动推杆的伸缩端设置有与晶棒插孔水平对齐的顶料推头。
[0010]作为本技术再进一步的方案：所述导轨架的轨道中部开设有导轨槽，所述导向推座的支座下方设置有与导轨槽相导向卡合的导向滑块。
[0011]作为本技术再进一步的方案：所述导轨架的轨道两侧排布设置有两组校位通孔，且每组校位通孔的数量均为多个，所述导向推座的支座两侧对称开设有与校位通孔相对应的锁止通孔，且锁止通孔与校位通孔的通孔内部配套设置有紧固插销。
[0012]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0013]1.本技术取代了传统采用人工手动旋钮螺栓推动压板对晶棒进行压固的方式，通过利用夹具机构中定夹头与动夹头的机械对夹，一方面具有快速、高效的对夹固定性能，能够降低工作人员的操作强度，另一方面具有稳定的对夹功能，通过传动丝杆与推送滑台的组合，推动定夹头与动夹头的机械对夹，具有牢固稳定的定位夹固功能。
[0014]2.本技术在利用夹具机构对晶棒进行夹固切割工作时，通过利用顶料机构的自主式顶料，能够对夹具机构内的晶棒进行持续不断的顶料前推工作，以便于相对应的切割设备对延伸出的晶棒进行循环切割工作。
附图说明
[0015]图1为本技术一种晶棒切割用定位工装的结构示意图；
[0016]图2为本技术一种晶棒切割用定位工装图1中A处的放大示意图；
[0017]图3为本技术一种晶棒切割用定位工装中夹具机构的结构示意图；
[0018]图4为本技术一种晶棒切割用定位工装中夹具机构的平面示意图。
[0019]图中：1、导轨架；2、导向推座；3、电动推杆；4、顶料推头；5、支撑座；6、工装架；7、动夹头；8、定夹头；9、导轨槽；10、导向滑块；11、锁止通孔；12、校位通孔；13、晶棒插孔；14、推送导杆；15、传动丝杆；16、传动齿轮；17、同步齿轮；18、同步电机；19、推送滑台。
具体实施方式
[0020]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0021]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0022]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0023]请参照图1
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4所示，一种晶棒切割用定位工装，包括导轨架1，导轨架1的轨道顶端安装有夹具机构，夹具机构包括安装在导轨架1轨道顶端的支撑座5，支撑座5的支座上方设置有两组工装架6，工装架6的板架中部贯通开设有晶棒插孔13，且工装架6的板架一侧正对
于晶棒插孔13的通口端安装有定夹头8，工装架6的腔体内部转动连接有传动丝杆15，传动丝杆15的轴杆端套设有推送滑台19，且推送滑台19的输出端贯穿工装架6的板面安装有与定夹头8相对合的动夹头7，两组工装架6之间安装有固定在支撑座5上方的同步电机18，同步电机18的输出端设置有同步齿轮17，传动丝杆15的输出端设置有与同步齿轮17相啮合的传动齿轮16，工装架6的板架另一侧安装有与动夹头7相导向卡合的推送导杆14，在利用定位工装对晶棒进行切割工作时，通过导轨架1将定位工作安装在切割设备的切口端，而后，将晶棒贯通放入晶棒插孔13内，在放料完毕后，同步电机18开始工作，带动同步齿轮17转动，通过同步齿轮17与传动齿轮16的啮合传动，推动传动丝杆15转动，继而传动丝杆15在转动过程中，将旋转推力转化为水平推力，推动推送滑台19沿推送导杆14方向滑动，将动夹头7推向定夹头8，利用动夹头7与定夹头8的对夹，对晶棒插孔13内的晶棒进本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶棒切割用定位工装，包括导轨架(1)，其特征在于，所述导轨架(1)的轨道顶端安装有夹具机构，且导轨架(1)的轨道上方卡合有顶料机构；所述夹具机构包括安装在导轨架(1)轨道顶端的支撑座(5)，所述支撑座(5)的支座上方设置有两组工装架(6)，所述工装架(6)的板架中部贯通开设有晶棒插孔(13)，且工装架(6)的板架一侧正对于晶棒插孔(13)的通口端安装有定夹头(8)，所述工装架(6)的腔体内部转动连接有传动丝杆(15)，所述传动丝杆(15)的轴杆端套设有推送滑台(19)，且推送滑台(19)的输出端贯穿工装架(6)的板面安装有与定夹头(8)相对合的动夹头(7)。2.根据权利要求1所述的一种晶棒切割用定位工装，其特征在于，两组所述工装架(6)之间安装有固定在支撑座(5)上方的同步电机(18)，所述同步电机(18)的输出端设置有同步齿轮(17)，所述传动丝杆(15)的输出端设置有与同步齿轮(17)相啮合的传动齿轮(16)。3.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖迪，李健，赵俊竹，
申请(专利权)人：山西鼎芯晶体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：