布线衬底和显示装置制造方法及图纸

公开了显示装置和布线衬底。显示装置包括显示区域和在显示区域的一侧上的焊盘区域、在显示区域和焊盘区域中在第一衬底上并且包括布线和导电图案的多个导电层、在多个导电层上的过孔层、在显示区域中在过孔层上并且彼此间隔开的多个电极以及在多个电极中的至少一个上的发光元件。多个导电层中的至少一个包括第一金属层、在第一金属层上的第二金属层和在第二金属层上的第三金属层。第二金属层包括铜(Cu)，第三金属层包括铝合金，并且第三金属层的晶粒度小于第二金属层的晶粒度。的晶粒度小于第二金属层的晶粒度。的晶粒度小于第二金属层的晶粒度。

【技术实现步骤摘要】
布线衬底和显示装置


[0001]本公开涉及布线衬底和包括有布线衬底的显示装置。

技术介绍

[0002]随着多媒体的发展，显示装置正变得越来越重要。相应地，正使用各种类型的显示装置，诸如有机发光显示器(OLED)和液晶显示器(LCD)。
[0003]作为用于显示图像的装置，存在包括有发光元件的自发光显示装置。自发光显示装置可包括使用有机材料作为用于发光元件的发光材料的有机发光显示器或使用无机材料作为发光材料的无机发光显示器。

技术实现思路

[0004]本公开的各方面提供了布线具有光滑表面和改善的直线性的布线衬底以及包括有布线衬底的显示装置。
[0005]然而，本公开的各方面不局限于本文中阐述的方面。通过参照以下给出的本公开的详细描述，本公开的以上和其它方面将对于本公开所属的领域的普通技术人员变得更显而易见。
[0006]根据本公开的实施方式，显示装置可包括显示区域和布置在显示区域的一侧上的焊盘区域、在显示区域和焊盘区域中布置在第一衬底上并且包括有布线和导电图案的多个导电层、布置在多个导电层上的过孔层、在显示区域中布置在过孔层上并且彼此间隔开的多个电极以及布置在多个电极中的至少一个上的发光元件。多个导电层中的至少一个可包括第一金属层、布置在第一金属层上的第二金属层和布置在第二金属层上的第三金属层。第二金属层可包括铜(Cu)，第三金属层可包括铜合金，并且第三金属层的晶粒度可小于第二金属层的晶粒度。
[0007]第三金属层可包括包含有铜的主要成分以及包含有银(Ag)、镁(Mg)、铝(Al)、铟(In)、铌(Nb)和硼(B)中的至少一种的杂质金属。
[0008]第一金属层可包括钛(Ti)，并且第二金属层可包括纯铜(Cu)。
[0009]第三金属层的晶粒度可为第二金属层的晶粒度的四分之一或更小。
[0010]第三金属层的厚度可小于第二金属层的厚度。
[0011]第三金属层的厚度可为约或更大。
[0012]第一金属层的厚度可在约至约的范围内，并且第二金属层的厚度可在约至约的范围内。
[0013]布线和导电图案中的每个可包括第一金属层、第二金属层和第三金属层，并且布线和导电图案中的每个的线边缘粗糙度(LER)值为约0.195μm或更小。
[0014]多个导电层可包括第一导电层、第二导电层和第三导电层，第一导电层包括布置在显示区域中的底部金属层和布置在焊盘区域中的第一焊盘布线，第二导电层布置在第一导电层上并且包括布置在显示区域中的多个栅电极和布置在焊盘区域中的第二焊盘布线，
第三导电层布置在第二导电层上并且包括布置在显示区域中的第一导电图案和布置在焊盘区域中的焊盘电极下层。过孔层可在显示区域中布置在第三导电层上。显示装置还可包括在焊盘区域中布置在焊盘电极下层上的焊盘电极上层和布置在焊盘电极上层上的焊盘电极覆盖层。
[0015]显示装置还可包括布置在第一导电层与第二导电层之间的栅极绝缘层、布置在第二导电层与第三导电层之间的第一层间绝缘层和布置在第三导电层上的第一钝化层。栅极绝缘层、第一层间绝缘层和第一钝化层中的每个可包括无机绝缘材料。
[0016]多个导电层还可包括布置在第三导电层上并且包括有第一电压布线和第二电压布线的第四导电层。显示装置还可包括布置在第一钝化层上的第二层间绝缘层和布置在第四导电层上的第二钝化层。
[0017]过孔层可包括暴露第二钝化层的上表面的一部分的沟槽部分。第一电极和第二电极中的每个的至少一部分可在沟槽部分中直接布置在第二钝化层上。发光元件可布置在沟槽部分中。
[0018]多个电极可包括第一电极和与第一电极间隔开的第二电极。显示装置还可包括布置在第一电极和第二电极上的第一绝缘层、布置在第一电极上并且电接触发光元件的第一连接电极以及布置在第二电极上并且电接触发光元件的第二连接电极。
[0019]多个电极可包括第一电极和与第一电极间隔开的第二电极。显示装置还可包括布置在第一电极上并且电接触发光元件的第一连接电极和布置在第二电极上并且电接触发光元件的第二连接电极。焊盘电极上层、第一电极和第二电极可包括相同的材料，并且焊盘电极覆盖层、第一连接电极和第二连接电极可包括相同的材料。
[0020]发光元件可布置在第一绝缘层上。
[0021]根据本公开的实施方式，布线衬底可包括布置在衬底上并且包括有布线和导电图案的多个导电层以及布置在多个导电层中的相邻的导电层之间的至少一个绝缘层。多个导电层中的至少一个可包括第一金属层、布置在第一金属层上的第二金属层和布置在第二金属层上的第三金属层。第二金属层可包括铜(Cu)，第三金属层可包括铜合金，并且第三金属层的晶粒度可小于第二金属层的晶粒度。
[0022]第一金属层可包括钛(Ti)，第二金属层可包括纯铜(Cu)，并且第三金属层可包括包含有铜的主要成分以及包含有银(Ag)、镁(Mg)、铝(Al)、铟(In)、铌(Nb)和硼(B)中的至少一种的杂质金属。
[0023]第三金属层的晶粒度可为第二金属层的晶粒度的四分之一或更小。
[0024]第一金属层可具有在约至约的范围内的厚度，第二金属层可具有在约至的范围内的厚度，并且第三金属层可具有约或更大的厚度。
[0025]布线和导电图案中的每个可包括第一金属层、第二金属层和第三金属层，并且布线和导电图案中的每个的线边缘粗糙度(LER)值为约0.195μm或更小。
[0026]布线衬底还可包括显示区域和布置为与显示区域相邻的焊盘区域。多个导电层可包括第一导电层、第二导电层和第三导电层，第一导电层包括布置在显示区域中的底部金属层和布置在焊盘区域中的第一焊盘布线，第二导电层布置在第一导电层上并且包括布置在显示区域中的多个栅电极和布置在焊盘区域中的第二焊盘布线，第三导电层布置在第二导电层上并且包括布置在显示区域中的第一导电图案和布置在焊盘区域中的焊盘电极下
层。
[0027]布线衬底还可包括布置在第一导电层上的缓冲层、在显示区域中布置在缓冲层与第二导电层之间的栅极绝缘层、布置在第二导电层与第三导电层之间的层间绝缘层以及布置在第三导电层上的第一钝化层。栅极绝缘层、层间绝缘层和第一钝化层中的每个可包括无机绝缘材料，并且第二焊盘布线可直接布置在缓冲层上。
[0028]在根据实施方式的布线衬底中，通过包括包含有铜合金并且具有小晶粒度的金属覆盖层，布线和导电图案中的每个可具有平滑的表面和改善的直线性。
[0029]在根据实施方式的包括有以上布线衬底的显示装置中，能够减少布置在多个导电层之间的绝缘层的台阶覆盖缺陷，并且能够防止布线之间的短路和烧毁缺陷。
[0030]本公开的效果不限于前述效果，并且各种其它效果包括在说明书中。
附图说明
[0031]通过下面结合附图的实施方式的描述，这些和/或其它方面将变得显而易见并且更容易领会，在附图中：
[0032]图1是根据实施方式的显示装置的示意性平面视图；
[0033]图2是示出根据实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显示装置，包括：显示区域和焊盘区域，所述焊盘区域布置在所述显示区域的一侧上；多个导电层，所述多个导电层在所述显示区域和所述焊盘区域中布置在第一衬底上，并且包括布线和导电图案；过孔层，所述过孔层布置在所述多个导电层上；多个电极，所述多个电极在所述显示区域中布置在所述过孔层上并且彼此间隔开；以及发光元件，所述发光元件布置在所述多个电极中的至少一个上，其中，所述多个导电层中的至少一个包括：第一金属层；第二金属层，所述第二金属层布置在所述第一金属层上；以及第三金属层，所述第三金属层布置在所述第二金属层上，所述第二金属层包括铜，所述第三金属层包括铜合金，并且所述第三金属层的晶粒度小于所述第二金属层的晶粒度。2.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第三金属层包括：主要成分，所述主要成分包括铜；以及杂质金属，所述杂质金属包括银、镁、铝、铟、铌和硼中的至少一种。3.根据权利要求2所述的显示装置，其中，所述第一金属层包括钛，并且所述第二金属层包括纯铜。4.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第三金属层的所述晶粒度为所述第二金属层的所述晶粒度的四分之一或更小。5.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第三金属层的厚度小于所述第二金属层的厚度。6.根据权利要求5所述的显示装置，其中，所述第三金属层的所述厚度为或更大。7.根据权利要求5所述的显示装置，其中，所述第一金属层的厚度在至的范围内，并且所述第二金属层的所述厚度在至的范围内。8.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述布线和所述导电图案中的每个包括所述第一金属层、所述第二金属层和所述第三金属层，并且所述布线和所述导电图案中的每个的线边缘粗糙度值为0.195μm或更小。9.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述多个导电层包括：第一导电层，所述第一导电层包括布置在所述显示区域中的底部金属层和布置在所述焊盘区域中的第一焊盘布线；第二导电层，所述第二导电层布置在所述第一导电层上，并且
包括布置在所述显示区域中的多个栅电极和布置在所述焊盘区域中的第二焊盘布线；以及第三导电层，所述第三导电层布置在所述第二导电层上，并且包括布置在所述显示区域中的第一导电图案和布置在所述焊盘区域中的焊盘电极下层，所述过孔层在所述显示区域中布置在所述第三导电层上，并且所述显示装置还包括：焊盘电极上层，所述焊盘电极上层在所述焊盘区域中布置在所述焊盘电极下层上；以及焊盘电极覆盖层，所述焊盘电极覆盖层布置在所述焊盘电极上层上。10.根据权利要求9所述的显示装置，还包括：栅极绝缘层，所述栅极绝缘层布置在所述第一导电层与所述第二导电层之间；第一层间绝缘层，所述第一层间绝缘层布置在所述第二导电层与所述第三导电层之间；以及第一钝化层，所述第一钝化层布置在所述第三导电层上，其中，所述栅极绝缘层、所述第一层间绝缘层和所述第一钝化层中的每个包括无机绝缘材料。11.根据权利要求10所述的显示装置，其中，所述多个导电层还包括布置在所述第三导电层上并且包括有第一电压布线和第二电压布线的第四导电层，并且所述显示装置还包括：第二层间绝缘层，所述第二层间绝缘层布置在所述第一钝化层上；以及第二钝化层，所述第二钝化层布置在所述第四导电层上。12.根据权利要求11所述的显示装置，其中，所述多个电极包括第一电极和与所述第一电极间隔开的第二电极，所述过孔层包括暴露所述第二钝化层的上表面的一部分的沟槽部分，所述第一电极和所述第二电极中的每个的至少一部分在所述沟槽部分中直接布置在所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：李东敏，成炫阿，姜泰旭，金荣绿，朴圭淳，朴俊龙，申铉亿，郑锺铉，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：