【技术实现步骤摘要】
一种芯片检测挑选机及芯片检测挑选方法
[0001]本专利技术涉及芯片生产
,尤其是指一种芯片检测挑选机及芯片检测挑选方法。
技术介绍
[0002]晶圆圆片附着在膜上,膜封装在不锈钢圆环上,完整的晶圆切割成单个芯片后,需要根据芯片的质量实施分选操作,将缺陷芯片从膜上取走,从而需要对膜上的芯片进行检测挑选。在专利申请号为CN201310007497.5专利申请名称为一种全自动晶粒分选设备及全自动晶粒分选方法的专利中公开了:本设备由晶圆工作台、分选工作台、运输传送系统、晶圆工作台推送装置、分选工作台推送装置、摆臂机构、芯片分选料库,上述七个主要部分组成。本专利技术改善了现有技术中的传统布局与机械结构,在机体平台上提供了一种优选的布局结构,通过运输传送系统将盘片在工作台、推送装置及芯片分选料库三者之间自如进出进行取放,实现了全自动晶粒分选。在此专利申请中芯片检测效果差,无法对芯片的顶端和底端分别进行精准的检测。另外,此专利申请中缺少废料回收结构,芯片挑选后的缺陷芯片无法直接回收。摆臂机构只能完成芯片的分选动作,摆臂机构的功能和作用单一。因此,缺陷十分明显,亟需提供一种解决方案。
技术实现思路
[0003]为了解决上述技术问题,本专利技术的目的在于提供一种芯片检测效果好、缺陷芯片回收方便且摆臂机构能带动芯片进行检测和回收等功能的芯片检测挑选机及芯片检测挑选方法。
[0004]为了实现上述目的,本专利技术采用如下技术方案:
[0005]一种芯片检测挑选机,其包括机架及分别设置于机架上的第一料 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种芯片检测挑选机,其特征在于:包括机架(1)及分别设置于机架(1)上的第一料仓(2)、送料装置(3)、第一芯片检测装置(4)、芯片抓取装置(5)、扩膜装置(6)、废料回收结构(7)、第二芯片检测装置(8)和贴装工作台(9),所述第一料仓(2)内储存有多个载具;所述送料装置(3)在第一料仓(2)、第一芯片检测装置(4)和扩膜装置(6)之间往复运动,以将载具从第一料仓(2)依序输送至第一芯片检测装置(4)和扩膜装置(6),所述第一芯片检测装置(4)用于对送料装置(3)所输送的载具上的芯片进行检测;所述扩膜装置(6)用于放置载具并能将载具上的薄膜张紧;所述贴装工作台(9)上吸附有载具;所述芯片抓取装置(5)能在扩膜装置(6)、第二芯片检测装置(8)、废料回收结构(7)和贴装工作台(9)之间往复运动,以将扩膜后的载具上的芯片输送第二芯片检测装置(8),通过第二芯片检测装置(8)对芯片抓取装置(5)所抓取的芯片进行检测后,第二芯片检测装置(8)再将芯片贴装至贴装工作台(9)的载具上或输送至废料回收结构(7)进行回收。2.根据权利要求1所述的一种芯片检测挑选机,其特征在于:所述芯片检测挑选机还包括分别设置于机架(1)上的第二送料机构(15)及第二料仓(16),所述第二送料机构(15)用于将扩膜装置(6)上的载具输送至第二料仓(16)内;所述第二料仓(16)用于存储载具。3.根据权利要求1所述的一种芯片检测挑选机,其特征在于:所述芯片检测挑选机还包括分别设置于机架(1)上的第三送料机构(17)及第三料仓(18),所述第三送料机构(17)用于将贴装工作台(9)上的载具输送至第三料仓(18)内或件第三料仓(18)内的载具输送至贴装工作台(9)上;所述第三料仓(18)用于存储载具。4.根据权利要求1所述的一种芯片检测挑选机,其特征在于:所述送料装置(3)包括检测台(31)及分别设置于机架(1)上的转运机构(32)、第一送料机构(33)、调节机构(34)和取料机构(35);所述调节机构(34)的输出端与检测台(31)连接;所述取料机构(35)用于将第一料仓(2)内的载具取出,所述转运机构(32)能在取料机构(35)、检测台(31)和第一送料机构(33)之间往复运动,以将取料机构(35)取出的载具依次输送至检测台(31)及第一送料机构(33);所述调节机构(34)用于带动检测台(31)在第一芯片检测装置(4)和转运机构(32)之间往复运动;所述检测台(31)用于吸附载具;所述第一芯片检测装置(4)用于对检测台(31)上的芯片进行检测;所述第一送料机构(33)用于将载具输送至扩膜装置(6)。5.根据权利要求4所述的一种芯片检测挑选机,其特征在于:所述第一送料机构(33)包括设置于机架(1)上的滑轨(36)、设置于滑轨(36)上的直线驱动器(37)、与滑轨(36)滑动连接的夹持件(38)及设置于机架(1)上并分别位于滑轨(36)的两侧的两个放置台(39),所述转运机构(32)用于将检测后的载具转运至两个放置台(39)上,两个放置台(39)配合以支撑载具,所述夹持件(38)的输出端与直线驱动器(37)连接,所述夹持件(38)能夹持载具,所述直线驱动器(37)用于带动夹持件(38)靠近或远...
【专利技术属性】
技术研发人员:赖理,黄采敏,朱伟东,刘金生,
申请(专利权)人:广东吉洋视觉技术有限公司,
类型:发明
国别省市:
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