金属遮罩的检测方法技术

一种金属遮罩的检测方法。在此检测方法中，在翘曲的一金属遮罩上定义彼此平行且分离的一第一基准直线与一第二基准直线，其中该第一基准直线的长度为L1，该第二基准直线的长度为L2；摊平该金属遮罩，以使该第一基准直线变成一第一形变线，该第二基准直线变成一第二形变线，其中该第一形变线的长度为L3，该第二形变线的长度为L4；以及判断该第一基准直线的长度L1、该第二基准直线的长度L2、该第一形变线的长度L3与该第二形变线的长度L4是否满足以下数学式：

【技术实现步骤摘要】
金属遮罩的检测方法
[0001]本专利技术是根据母案申请(申请号：202110985240.1，专利技术名称金属遮罩及其检测方法)所提出的分案申请。


[0002]本专利技术是有关于一种用于图案化制程工具及其检测方法，且特别是有关于一种金属遮罩及其检测方法。

技术介绍

[0003]现今有些显示面板，例如有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示面板，采用精细金属遮罩(Fine Metal Mask，FMM)为制程工具之一。具体而言，有机发光二极管显示面板是采用蒸镀(evaporation)制造。在蒸镀过程中，使用精细金属遮罩放置在玻璃板上，而蒸镀过程中产生的镀料能依照精细金属遮罩的多个开口沉积在玻璃板上，以形成有机发光二极管显示面板内的膜层，例如发光层。
[0004]目前显示面板(包括有机发光二极管显示面板)已朝向高分辨率趋势发展。为了制造高分辨率的显示面板，金属遮罩需要具有相当薄的厚度，而且金属遮罩的这些开口在位置与形状上的误差不能过大，否则会制造出不良的显示面板，造成良率下降。

技术实现思路

[0005]本专利技术至少一实施例提出一种金属遮罩的检测方法，其能帮助筛选金属遮罩，确保使用符合检测标准的金属遮罩，以达到提升良率的目的。
[0006]本专利技术至少一实施例还提出一种金属遮罩，其可用上述检测方法而筛选得到。
[0007]本专利技术至少一实施例所提出的金属遮罩的检测方法包括提供金属遮罩，其中金属遮罩具有彼此相对的第一长边与第二长边、彼此相对的第一短边与第二短边以及多个图案区，其中第一长边、第二长边、第一短边与第二短边围绕这些图案区，而这些图案区呈规则排列。根据邻近第一长边与第二长边的这些图案区，定义第一基准直线与第二基准直线，其中第一基准直线邻近第一长边，并沿着第一长边延伸。第二基准直线邻近第二长边，并沿着第二长边延伸。接着，量测邻近第一长边的这些图案区与第一基准直线之间的第一最大偏移长度，其中第一最大偏移长度与第一基准直线垂直。量测邻近第二长边的这些图案区与第二基准直线之间的第二最大偏移长度，其中第二最大偏移长度与第二基准直线垂直。当第一最大偏移长度与第二最大偏移长度之间的相差值小于或等于20微米时，判断金属遮罩符合检测标准，即符合制程使用之合格金属遮罩。在本专利技术至少一实施例中，上述检测方法还包括当第一最大偏移长度小于或等于30微米时，判断金属遮罩为符合检测标准之遮罩，即符合制程所需的合格金属遮罩。反之，当第一最大偏移长度大于30微米时，判断金属遮罩为不合格遮罩。
[0008]在本专利技术至少一实施例中，上述检测方法还包括当第二最大偏移长度小于或等于30微米时，判断金属遮罩为符合检测标准之遮罩，即符合制程所需的合格金属遮罩。反之，
当第二最大偏移长度大于30微米时，判断金属遮罩为不合格遮罩。在本专利技术至少一实施例中，上述检测方法还包括根据邻近第一短边的这些图案区，定义第三基准直线，其中第三基准直线邻近第一短边，并沿着第一短边延伸。接着，量测邻近第一短边的这些图案区与第三基准直线之间的第三最大偏移长度，其中第三最大偏移长度与第三基准直线垂直。当第三最大偏移长度小于或等于10微米时，判断金属遮罩为符合检测标准之遮罩，即符合制程所需的合格金属遮罩。反之，当第三最大偏移长度大于10微米时，判断金属遮罩为不合格遮罩。
[0009]本专利技术至少一实施例所提出的金属遮罩的检测方法包括在翘曲的金属遮罩上定义彼此平行且分离的第一基准直线与第二基准直线，其中第一基准直线的长度为L1，第二基准直线的长度为L2。接着，摊平金属遮罩，以使第一基准直线变成第一形变线，第二基准直线变成第二形变线，其中第一形变线的长度为L3，第二形变线的长度为L4。接着，判断第一基准直线的长度L1、第二基准直线的长度L2、第一形变线的长度L3与第二形变线的长度L4是否满足以下数学式：
[0010]│
(L3+L4)/2
‑
(L1+L2)/2
│
≤20微米
[0011]当第一基准直线的长度L1、第二基准直线的长度L2、第一形变线的长度L3与第二形变线的长度L4满足数学式时，判断金属遮罩符合检测标准。
[0012]在本专利技术至少一实施例中，上述摊平金属遮罩的方法包括将金属遮罩夹置于两块硬式基板之间，以使这些硬式基板压平金属遮罩。
[0013]在本专利技术至少一实施例中，上述第一基准直线与第二基准直线之间的距离介于3公分至25公分之间。
[0014]在本专利技术至少一实施例中，上述第一基准直线与第二基准直线两者长度不相等。
[0015]本专利技术至少一实施例所提出的金属遮罩的检测方法包括提供金属遮罩，其中金属遮罩具有彼此相对的第一长边与第二长边、彼此相对的第一短边与第二短边以及多个图案区，其中第一长边、第二长边、第一短边与第二短边围绕这些图案区，而这些图案区呈规则排列。接着，根据邻近第一长边与第二长边的这些图案区，定义第一基准直线与第二基准直线，其中第一基准直线邻近第一长边，并沿着第一长边延伸，第二基准直线邻近第二长边，并沿着第二长边延伸。接着，量测邻近第一长边的这些图案区与第一基准直线之间的第一最大偏移长度，其中第一最大偏移长度与第一基准直线垂直。量测邻近第二长边的这些图案区与第二基准直线之间的第二最大偏移长度，其中第二最大偏移长度与第二基准直线垂直。当第一最大偏移长度与第二最大偏移长度任一者小于或等于30微米时，判断金属遮罩为符合检测标准之遮罩，即符合制程所需的合格金属遮罩。
[0016]本专利技术至少一实施例所提出的金属遮罩包括基板。基板具有彼此相对的第一长边与第二长边、彼此相对的第一短边与第二短边以及多个图案区，其中第一长边、第一短边、第二长边与第二短边依序连结并围绕这些图案区，且于基板上定义第一基准直线与第二基准直线。此外，第一基准直线邻近第一长边，并沿着第一长边延伸。第二基准直线邻近第二长边，并沿着第二长边延伸，其中第一长边的这些图案区与第一基准直线之间具有第一最大偏移长度，且第一最大偏移长度与第一基准直线垂直。第二长边的这些图案区与第二基准直线之间具有第二最大偏移长度，其中第二最大偏移长度与第二基准直线垂直，而第一最大偏移长度与第二最大偏移长度之间的相差值小于或等于20微米。
[0017]在本专利技术至少一实施例中，上述图案区呈规则排列。
[0018]在本专利技术至少一实施例中，上述第一基准直线的两分别邻近第一短边与第二短边，而第二基准直线的两端点也分别邻近第一短边与第二短边。
[0019]在本专利技术至少一实施例中，这些图案区分别具有多个周缘。第一最大偏移长度为邻近第一长边的这些周缘与第一基准直线之间的最大距离，而第二最大偏移长度为邻近第二长边的这些周缘与第二基准直线之间的最大距离。
[0020]在本专利技术至少一实施例中，各个图案区的形状为多边形，其中各个图案区具有多个顶点。第一长边与第一短边之间形成第一角落，第一长边与第二短边之间形成第二角落，第二长边与第一短边之间形成第三角落，第二长边与第二本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属遮罩的检测方法，包括：在翘曲的一金属遮罩上定义彼此平行且分离的一第一基准直线与一第二基准直线，其中该第一基准直线的长度为L1，该第二基准直线的长度为L2；摊平该金属遮罩，以使该第一基准直线变成一第一形变线，该第二基准直线变成一第二形变线，其中该第一形变线的长度为L3，该第二形变线的长度为L4；以及判断该第一基准直线的长度L1、该第二基准直线的长度L2、该第一形变线的长度L3与该第二形变线的长度L4是否满足以下数学式：
│
(L3+L4)/2
‑
(L1+L2)/2

【专利技术属性】
技术研发人员：杨芸佩，李美伦，林文宜，
申请(专利权)人：达运精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：