金属遮罩及金属遮罩的制造方法技术

本发明专利技术公开了一种金属遮罩，包括：金属板材，具有相对的蒸镀面与背面以及从蒸镀面延伸至背面的多个贯孔，每一贯孔的尺寸从蒸镀面朝向背面的方向逐渐缩减，每一贯孔于蒸镀面形成一第一开口，第一开口包括主开口部以及多个副开口部，主开口部具有相对的二长边以及相对的二短边，二短边连接于二长边之间，副开口部连接于长边的两端；副开口部具有平行长边的长度，长度大于15μm并小于45μm，每一副开口部具有垂直于长度的宽度，宽度大于0μm并小于10μm之间。此外，亦提供金属遮罩的制造方法。亦提供金属遮罩的制造方法。亦提供金属遮罩的制造方法。

【技术实现步骤摘要】
金属遮罩及金属遮罩的制造方法


[0001]本专利技术关于一种金属遮罩及金属遮罩的制造方法，尤指一种应用于制造萤幕面板时所使用的金属遮罩及金属遮罩的制造方法。

技术介绍

[0002]应用有机光二极管(Organic Light
‑
Emitting Diode，OLED)技术所生产的OLED面板因为具有自发光、广视角、省电、高效率、反应时间及轻薄等优点，而成为目前市场上手机显示面板的主要元件。
[0003]在OLED面板的结构中，包括了玻璃基板及玻璃基板上的有机发光材料层。有机发光材料层主要是由多个发光图案所组成，制造发光图案时主要是以精密金属遮罩(Fine Metal Mask,FMM)搭配蒸镀而形成于玻璃基板上。其中，FMM上的贯孔不仅决定了发光图案于玻璃基板上的配置位置，还决定了发光图案的尺寸、精细度等，进而影响到OLED面板的显示品质。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种金属遮罩，具有良好的贯孔形状，且蒸镀时阴影效应影响较小。
[0005]本专利技术另外提供了一种金属遮罩的制造方法，制造出的金属遮罩具有良好的贯孔形状，且蒸镀时阴影效应影响较小。
[0006]为达上述优点，本专利技术一实施例提供一种金属遮罩，包括：金属板材。金属板材具有相对的蒸镀面、背面以及从蒸镀面延伸至背面的多个贯孔，其中每一贯孔尺寸从蒸镀面朝向背面的方向逐渐缩减，每一贯孔于蒸镀面形成第一开口，第一开口包括主开口部以及多个副开口部，主开口部具有相对的二长边以及相对的二短边，二短边连接于二长边之间，副开口部连接于每一二长边的两端；其中，每一副开口部具有平行长边的长度，长度大于15μm并小于45μm，每一副开口部具有垂直于长边的宽度，宽度大于0μm并小于10μm之间。
[0007]在本专利技术的一实施例中，上述的贯孔于背面形成第二开口，并于蒸镀面及背面之间形成蚀刻开口，第二开口具有分别对应短边的第一对应边，蚀刻开口具有对应短边的第二对应边，在平行长边的方向上，相对应的第一对应边与第二对应边之间的距离小于5μm。
[0008]在本专利技术的一实施例中，上述的金属板材的厚度介于15～50μm。
[0009]在本专利技术的一实施例中，上述的长边与短边的长度比介于2到6之间。
[0010]本专利技术亦提供一种金属遮罩的制造方法，包括：提供金属板材，金属板材具有相对的蒸镀面与背面的步骤。于蒸镀面形成第一图案化光阻层，并于背面形成第二图案化光阻层的步骤。其中，第一图案化光阻层包括多个第一光阻开口，第二图案化光阻层包括多个第二光阻开口，第二光阻开口分别对应第一光阻开口的位置，且第二光阻开口的尺寸小于第一光阻开口，其中每一第一光阻开口包含主光阻开口部以及多个副光阻开口部，主光阻开口部具有相对的二长边与相对的二短边，二短边连接于二长边之间，副光阻开口部连接于每一长边的两端。以及对金属板材进行蚀刻，以形成多个贯孔的步骤。其中每一贯孔尺寸从
蒸镀面朝向背面的方向逐渐缩减，每一贯孔于蒸镀面形成第一开口，第一开口包括主开口部以及多个副开口部，主开口部具有相对的二长边以及相对的二短边，二短边连接于二长边之间，副开口部连接于每一二长边的两端；其中，每一副开口部具有平行长边的长度，长度大于15μm并小于45μm，每一副开口部具有垂直于长边的宽度，宽度大于0μm并小于10μm之间。
[0011]在本专利技术的一实施例中，上述的每一副光阻开口部包括梯形开口，梯形开口具有底边、顶边、第一腰边以及第二腰边，底边连接主光阻开口部，第一腰边平行并连接主光阻开口部的短边，第二腰边倾斜于二长边。
[0012]在本专利技术的一实施例中，上述的底边与顶边之间的距离小于10μm。
[0013]在本专利技术的一实施例中，上述的顶边于平行二长边的方向上具有第一长度，第一长度大于5μm且小于15μm；底边于平行长边的方向上具有第二长度，第二长度大于10且小于30μm。
[0014]藉以上说明，本专利技术金属遮罩，对于贯孔在蒸镀面形成的第一开口进行了形状设计，通过将第一开口分成主开口及多个位于主开口的长边的副开口，且针对副开口的尺寸进行调整，因此，制造出来的金属遮罩能具有良好形状的蚀刻开口，且同时，因为在背面的第二开口的边缘与蚀刻开口的边缘距离小于一定尺寸而能够降低阴影效应的影响。且本专利技术也提供了制造上述金属遮罩的制造方法。
[0015]为让本专利技术的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附图式，详细说明如下。
附图说明
[0016]图1为本专利技术一实施例的金属遮罩的示意图；
[0017]图2为图1实施例中贯孔的剖面示意图；
[0018]图3为图1实施例中由蒸镀面看过去第一开口、第一光阻开口与贯孔的示意图；
[0019]图4为图1实施例中副开口的放大示意图；
[0020]图5A、图5B为本专利技术一实施例金属遮罩的制造方法的流程示意图；
[0021]图6为图1实施例中副光阻开口部的放大示意图；
[0022]图7为本专利技术在延伸长度固定而改变延伸范围的不同实施例的贯孔比较图；
[0023]图8为本专利技术在延伸范围固定而改变延伸长度的不同实施例的贯孔比较图。
[0024]其中，附图标记：
[0025]1:金属遮罩
[0026]10:金属板材
[0027]11:夹持部
[0028]12:贯孔部
[0029]13:焊接部
[0030]2:蒸镀面
[0031]3:背面
[0032]4:贯孔
[0033]41:第一开口
[0034]411:主开口部
[0035]411a:长边
[0036]411b:短边
[0037]412:副开口部
[0038]D:长度
[0039]E:宽度
[0040]42:蚀刻开口
[0041]421:第二对应边
[0042]43:第二开口
[0043]431:第一对应边
[0044]5:光阻层
[0045]5A:第一图案化光阻层
[0046]51:第一光阻开口
[0047]511:主光阻开口部
[0048]511a:长边
[0049]511b:短边
[0050]512:副光阻开口部
[0051]512a:底边
[0052]512b:顶边
[0053]512c:第一腰边
[0054]512d:第二腰边
[0055]L1:第一长度
[0056]L2:第二长度
[0057]D1:距离
[0058]D2:距离
[0059]H:厚度
[0060]W:方向
[0061]5B:第二图案化光阻层
[0062]52:第二光阻开口
[0063]6:光阻涂料
[0064]7:保护层
[0065]S110:步骤
[0066]S120:本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属遮罩，其特征在于，包括：一金属板材，具有相对的一蒸镀面与一背面以及从该蒸镀面延伸至该背面的多个贯孔，其中每一该些贯孔的一尺寸从该蒸镀面朝向该背面的方向逐渐缩减，每一该些贯孔于该蒸镀面形成一第一开口，该第一开口包括一主开口部以及多个副开口部，该主开口部具有相对的二长边以及相对的二短边，该二短边连接于该二长边之间，该些副开口部连接于每一该二长边的两端；其中，每一该些副开口部具有平行该二长边的一长度，该长度大于15μm并小于45μm，每一该些副开口部具有垂直于该长度的一宽度，该宽度大于0μm并小于10μm之间。2.如权利要求1所述的金属遮罩，其特征在于，每一该些贯孔于该背面形成一第二开口，并于该蒸镀面及该背面之间形成一蚀刻开口，该第二开口具有分别对应该二短边的二第一对应边，该蚀刻开口具有对应该二短边的第二对应边，在平行该二长边的方向上，相对应的该第一对应边与该第二对应边之间的距离小于5μm。3.如权利要求1所述的金属遮罩，其特征在于，该金属板材的一厚度介于15～50μm。4.如权利要求1所述的金属遮罩，其特征在于，每一该二长边与每一该二短边的长度比介于2到6之间。5.一种金属遮罩的制造方法，其特征在于，包括：提供一金属板材，该金属板材具有相对的一蒸镀面与一背面；于该蒸镀面形成一第一图案化光阻层，并于该背面形成一第二图案化光阻层，其中该第一图案化光阻层包括多个第一光阻开口，该第二图案化光阻层包括多个第二光阻开口，该些第二光阻开口分别对应该...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘康翔，林启维，
申请(专利权)人：达运精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：