电池片用双面PECVD系统及沉积方法技术方案

本发明专利技术提出了一种电池片用双面PECVD系统及沉积方法，用以解决目前电池片薄膜沉积步骤复杂，容易损坏硅片以及薄膜沉积质量差的问题。一种电池片用双面PECVD系统，包括反应箱，反应箱内对称设有电极，其中上方的电极为阴极，下方的电极为阳极，两个电极之间通过RF电源相连，电极内设有透气孔，电极上设有与透气孔连通的气仓，其中一个气仓设在电极的上端，另一个设在下端，气仓通过气管与反应箱外的输气管连通，两个电极之间对称设有用于夹持工件的衬套，衬套的两侧设有若干加热管。本发明专利技术减少了镀膜工艺步骤和设备，使镀膜工艺更加稳定。定。定。

【技术实现步骤摘要】
电池片用双面PECVD系统及沉积方法


[0001]本专利技术涉及太阳能电池生产
，特别是指一种电池片用双面PECVD系统及沉积方法。

技术介绍

[0002]异质结电池片在生产过程中需要进行薄膜沉积，传统异质结电池在进行PECVD过程中通过单侧沉积的方式进行，需要来回对硅片进行翻面，设备结构复杂，翻片时容易产生碎片，影响了硅片的质量；同时硅片在沉积时，由于是通过多个孔隙喷出气体，气体分布不均，导致硅片表面各处接触气体的时间不同，薄膜沉积不均，影响了薄膜的质量。

技术实现思路

[0003]本专利技术提出一种电池片用双面PECVD系统及沉积方法，解决了目前电池片薄膜沉积步骤复杂，容易损坏硅片以及薄膜沉积质量差的问题。
[0004]本专利技术的技术方案是这样实现的：
[0005]一种电池片用双面PECVD系统，包括反应箱，反应箱内对称设有电极，其中上方的电极为阴极，下方的电极为阳极，两个电极之间通过RF电源相连，电极内设有透气孔，电极上设有与透气孔连通的气仓，其中一个气仓设在电极的上端，另一个设在下端，气仓通过气管与反应箱外的输气管连通，两个电极之间对称设有用于夹持工件的衬套，衬套的两侧设有若干加热管。
[0006]其中，电极与加热管之间设有叶片，所述气管内设有固定杆，固定杆上转动设有转轴，转轴一端设有桨叶，另一端滑动穿过电极与叶片相连。
[0007]其中，反应箱的内壁上对称滑动设有滑块，滑块通过弹簧杆与衬套相连，所述反应箱的侧壁上设有箱门，便于衬套移动取出工件。
>[0008]其中，所述衬套的上下两侧对称设有液压缸，液压缸的伸缩端设有用于密封等离子区的挡板，所述滑块上下端面上滑动设有密封板，密封板与挡板相抵。
[0009]其中，气管的两侧对称设有输气管，输气管滑动设在反应箱上，输气管上设有通槽，通槽与输气管上的通气孔连通，能够快速切换气源，稳定气体供应，保持生产稳定。
[0010]其中，通槽与通气孔的连通处设有密封垫，避免漏气、泄气的情况出现，保障反应气体稳定输入。
[0011]其中，一种电池片双面PECVD系统的沉积方法，包括以下步骤：
[0012]S1，把工件夹持在衬套上，同时向两个气管内输入反应气体，其连通两个电极，同时对工件两面的i层镀膜；
[0013]S2，i层镀膜完成，再向工件背面p层镀膜，同时向正面的n层镀膜。
[0014]有益效果
[0015]本专利技术设置双面喷出气体的电极，能够同时对硅片进行双面沉积，加快了生产节奏，减少了设备投入，省去了多次翻片的流程，减少了翻片时对硅片的损坏，使得硅片镀膜
时更稳定；通过设置桨叶带动叶片转动，能够打散进入等离子反应区内的气体，使其分布均匀，且通过挡板和密封板聚集气体，促使反应区内各处气体分布均匀，使得硅片表面薄膜沉积的更加均匀，提高了薄膜的质量。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本专利技术的示意图；
[0018]图2为箱门的示意图。
具体实施方式
[0019]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0020]实施例1
[0021]如图1所示，一种电池片用双面PECVD系统，包括反应箱1，反应箱1内对称设有电极11，其中上方的电极11为阴极，下方的电极11为阳极，两个电极11之间通过RF电源12相连，电极11内设有透气孔10，电极11上设有与透气孔10连通的气仓9，其中一个气仓9设在电极11的上端，另一个设在下端，气仓9通过气管5与反应箱1外的输气管2连通，两个电极11之间对称设有用于夹持工件21的衬套23，衬套23的两侧设有若干加热管19，所述反应箱1的侧壁上对称设有第一排气口24和第二排气口25，电极11与加热管19之间设有叶片20，所述气管5内设有固定杆8，固定杆8上转动设有转轴7，转轴7一端设有桨叶6，另一端滑动穿过电极11与叶片20相连，所述衬套23的上下两侧对称设有液压缸13，液压缸13的伸缩端设有用于密封等离子区的挡板14，所述滑块15上下端面上滑动设有密封板17，密封板17与挡板14相抵。
[0022]本实施例工作过程及原理：首先把工件21放进衬套23上卡紧，同时滑动密封板17，然后密闭反应箱1，且通过两个气管5向反应箱1内输入反应气体，然后连通两个电极11，打开加热管19，气体打入时，吹动桨叶6转动，带动叶片20转动，打散、搅均通过电极11的气体，且同时伸展液压缸13带动挡板14移动与密封板17相抵，使反应区相对密封，然后气体在各自的反应区内向工件21的两个表面沉积薄膜，i层镀膜完成后，通过第一排气口24和第二排气口25分别排出两个反应区内的气体，然后再对工件21正面的n层进行镀膜，同时对工件21背面的p层镀膜，能够同时对工件21进行双面沉积，加快了生产节奏，减少了设备投入，省去了多次翻片的流程，减少了翻片时对硅片的损坏，使得硅片镀膜时更稳定
[0023]实施例2
[0024]优选的，反应箱1的内壁上对称滑动设有滑块15，滑块15通过弹簧杆16与衬套23相连，所述反应箱1的侧壁上设有箱门22，便于衬套23移动取出工件21；气管5的两侧对称设有输气管2，输气管2滑动设在反应箱1上，输气管2上设有通槽4，通槽4与输气管2上的通气孔3
连通，能够快速切换气源，稳定气体供应，保持生产稳定；通槽4与通气孔3的连通处设有密封垫18，避免漏气、泄气的情况出现，保障反应气体稳定输入。
[0025]本实施例其他结构与实施例1相同。
[0026]实施例3
[0027]优选的，一种电池片双面PECVD系统的沉积方法，包括以下步骤：
[0028]S1，把工件21夹持在衬套23上，同时向两个气管5内输入反应气体，且连通两个电极11，同时对工件21两面的i层镀膜；
[0029]S2，i层镀膜完成，再向工件21背面P层镀膜，同时向正面的n层镀膜。
[0030]本实施例其他结构与实施例1相同。
[0031]以上所述仅为本专利技术的较佳实施例而已，并不用以限制本专利技术，凡在本专利技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电池片用双面PECVD系统，包括反应箱(1)，其特征在于：反应箱(1)内对称设有电极(11)，电极(11)内设有透气孔(10)，电极(11)上设有与透气孔(10)连通的气仓(9)，其中一个气仓(9)设在电极(11)的上端，另一个设在下端，气仓(9)通过气管(5)与反应箱(1)外的输气管(2)连通，两个电极(11)之间对称设有用于夹持工件(21)的衬套(23)，衬套(23)的两侧设有若干加热管(19)。2.根据权利要求1所述的一种电池片用双面PECVD系统，其特征在于：电极(11)与加热管(19)之间设有叶片(20)，所述气管(5)内设有固定杆(8)，固定杆(8)上转动设有转轴(7)，转轴(7)一端设有桨叶(6)，另一端滑动穿过电极(11)与叶片(20)相连。3.根据权利要求1所述的一种电池片用双面PECVD系统，其特征在于：反应箱(1)的内壁上对称滑动设有滑块(15)，滑块(15)通过弹簧杆(16)与衬套(23)相连，所述反应箱(1)的侧壁上设有箱门(22)。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：褚一凡，李森，
申请(专利权)人：山东泉为新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：