一种烘干炉燃烧塔及烘干炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种烘干炉燃烧塔及烘干炉，其中烘干炉燃烧塔包括：塔体，内部设有腔室，外部设有与腔室相连通的进气口和出气口，沿进气口至出气口方向形成气流道，腔室包括沿气流道方向依次设置的加热腔和冷凝腔，加热腔沿气流道方向依次为第一低温区—高温区—第二低温区；加热组件，设置于加热腔内，用于加热；冷凝组件，设置于冷凝腔内，用于冷凝；缓气组件，设置于加热腔内，用于减缓气流道内气流速度。能够以适宜速度排出气体，并对气体进行充分燃烧。烘干炉具有上述烘干炉燃烧塔，能够有效防止烘干蒸发的气体液化回流污染硅片。本实用新型专利技术应用于硅片烘干设备领域。实用新型专利技术应用于硅片烘干设备领域。实用新型专利技术应用于硅片烘干设备领域。

【技术实现步骤摘要】
一种烘干炉燃烧塔及烘干炉


[0001]本技术涉及硅片烘干设备领域，特别涉及一种烘干炉燃烧塔及烘干炉。

技术介绍

[0002]在硅片经过丝网印刷后，需要对硅片表面的银铝浆进行烘干，在烘干时，硅片表面的银铝浆蒸发形成银铝气体，银铝气体在未经过充分燃烧时，容易液化回流污染硅片，也会造成有害气体直接排放的问题。
[0003]现有燃烧塔采用半边打孔的蜂窝陶瓷板配合加热灯丝形成多个温区进行废气的燃烧，并在加热温区后增加隔温腔，用冷凝器降温后排放。上述燃烧塔在使用时，废气上升速度过慢，气体无法顺畅排出，可能会出现气体从炉腔中溢出后液化污染机器的现象；同时，在燃烧后，使用隔温腔隔离燃烧区和冷凝区，隔温腔内的气体温度不可控，会降低了燃烧的效率。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种烘干炉燃烧塔，能够以适宜速度排出气体，并对气体进行充分燃烧。
[0005]还提出一种具有上述烘干炉燃烧塔的烘干炉。
[0006]根据本技术第一方面实施例的烘干炉燃烧塔，包括：
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种烘干炉燃烧塔，其特征在于，包括：塔体，内部设有腔室，外部设有与所述腔室相连通的进气口和出气口，沿进气口至出气口方向形成气流道，所述腔室包括沿所述气流道方向依次设置的加热腔和冷凝腔，所述加热腔沿所述气流道方向依次为第一低温区—高温区—第二低温区；加热组件，设置于所述加热腔内，用于加热；冷凝组件，设置于所述冷凝腔内，用于冷凝；缓气组件，设置于所述加热腔内，用于减缓所述气流道内气流速度。2.根据权利要求1所述的烘干炉燃烧塔，其特征在于：所述缓气组件包括多个沿所述气流道方向依次间隔设置的隔板，所述隔板上设有多个散布的气孔，所述气孔沿气流道方向设置，两相邻所述隔板的每一所述气孔均错位设置。3.根据权利要求2所述的烘干炉燃烧塔，其特征在于：所述加热组件包括沿所述气流道方向依次设置的多组加热件，每组所述加热件设置于两相邻所述隔板之间，且每组所述加热件之间的隔板数量至少为二。4.根据权利要求1所述的烘干炉燃烧塔，其特征在于：还包括多个第一测温件，所述第一测温件沿所述气流道方向依次设置于所述加热腔中。5.根据权利要求1所述的烘干炉燃烧塔，其特征在于：所述冷凝组件朝向气流道方向伸出设置且伸出端悬空，所述冷凝组件的伸出端与所述冷凝腔的侧壁形成避让通道，所述加热腔与...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：江苏利元亨智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：