一种晶圆表面缺陷检测设备制造技术

本实用新型专利技术属于晶圆检测设备领域，尤其是一种晶圆表面缺陷检测设备，针对现有的检测镜头是暴露在外界的，由于空气中含有灰尘，灰尘会吸附在镜头上，时间久了灰尘会累积起来，会影响到检测镜头对晶圆进行检测问题，现提出如下方案，其包括设备主体，设备主体包括有机台、支撑架、固定板、检测镜头、控制面板、LED灯组、滑轨和连座，所述支撑架的底部四角分别与机台的顶部四角固定连接，所述固定板的底部与支撑架的顶部固定连接，所述检测镜头设置在固定板的底部，控制面板、LED灯组和滑轨均设置在机台的顶部，通过防尘机构可以对防止灰尘飘到检测镜头的镜头上，通过清洁机构可以对检测镜头进行清洁，通过固定机构可以对无尘布进行固定，且便于更换。且便于更换。且便于更换。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆表面缺陷检测设备


[0001]本技术涉及晶圆检测设备
，尤其涉及一种晶圆表面缺陷检测设备。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。在晶圆生产过程中需要对晶圆进行检测。
[0003]经检索，公告号CN217059905U公开了一种晶圆外观缺陷快速检测设备，其包括机座、机架及晶圆座，机座设有一灯槽及控制面板，灯槽内设有LED灯组，机架及晶圆座分别安装在机座上，机架上设有检测镜头及XY活动轴，检测镜头安装在XY活动轴上，晶圆座设置在LED灯组上方及检测镜头下方，晶圆座设有滑轨、连座及卡座，滑轨具有两个并设置在灯槽两边的机座上，连座具有两个并连接两滑轨，卡座具有两个并分别设置在两连座上用于固定晶圆板，晶圆板上设有待检测的晶圆，控制面板分别与LED灯组、检测镜头及XY活动轴相连。本技术设置了固定晶圆的晶圆座，通过检测镜头代替人眼，能够对晶圆的外观进行快速检测，提高了检测效率的同时，保护晶圆不易损坏。该技术方案中存在以下问题：
[0004]检测镜头是暴露在外界的，由于空气中含有灰尘，灰尘会吸附在镜头上，时间久了灰尘会累积起来，会影响到检测镜头对晶圆进行检测；
[0005]针对上述问题，本技术文件提出了一种晶圆表面缺陷检测设备。

技术实现思路

[0006]本技术提供了一种晶圆表面缺陷检测设备，解决了现有技术中存在检测镜头是暴露在外界的，由于空气中含有灰尘，灰尘会吸附在镜头上，时间久了灰尘会累积起来，会影响到检测镜头对晶圆进行检测缺点。
[0007]本技术提供了如下技术方案：
[0008]一种晶圆表面缺陷检测设备，包括设备主体，设备主体包括有机台、支撑架、固定板、检测镜头、控制面板、LED灯组、滑轨和连座，所述支撑架的底部四角分别与机台的顶部四角固定连接，所述固定板的底部与支撑架的顶部固定连接，所述检测镜头设置在固定板的底部，控制面板、LED灯组和滑轨均设置在机台的顶部，连座设置在滑轨上；
[0009]防尘机构，防尘机构设置在固定板的底部用于对检测镜头进行防尘；
[0010]清洁机构，清洁机构设置在防尘机构上用于对检测镜头进行清洁；
[0011]固定机构，固定机构设置在防尘机构上用于对清洁机构进行固定。
[0012]在一种可能的设计中，所述防尘机构包括有用于对检测镜头进行防尘的L型保护罩、抽拉板和螺栓，所述L型保护罩通过螺栓固定在固定板的底部，所述检测镜头位于L型保护罩内，所述L型保护罩的底部开设有开口，所述L型保护罩的一侧开设有长型口，所述抽拉板的两侧分别与L型保护罩的两侧内壁滑动连接，所述抽拉板的一侧固定连接有便于抽拉板拉出的把手。
[0013]在一种可能的设计中，所述清洁机构包括有垫板和用于对检测镜头进行清洁的无尘布，所述垫板的底部与抽拉板的顶部一侧固定连接，所述无尘布放置在垫板的顶部，所述无尘布与检测镜头的镜头相贴合。
[0014]在一种可能的设计中，所述固定机构包括有螺杆、短板和夹板，所述短板的底部与抽拉板的顶部固定连接，所述螺杆与短板螺纹连接，所述夹板的底部与抽拉板的顶部滑动连接，所述螺杆的一端与夹板的一侧转动连接，所述固定机构为两组。
[0015]在一种可能的设计中，所述L型保护罩内设有两个支撑条，两个所述支撑条的两侧分别与L型保护罩的两侧内壁固定连接。
[0016]在一种可能的设计中，所述L型保护罩的顶部固定连接有凹型圆板，所述凹型圆板内放置有用于收集无尘布的收集桶。
[0017]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本技术。
[0018]本技术中，由于设置了L型保护罩和抽拉板，可以在不需要对晶圆检测时把抽拉板推至L型保护罩内，这样可防止灰尘飘到检测镜头的镜头上，起到了防尘作用；
[0019]本技术中，由于设置了无尘布，无尘布可以对检测镜头的镜头进行清洁，使检测镜头上的灰尘进行擦除，从而对检测镜头进行清洁；
[0020]本技术中，往里扭紧两个螺杆，螺杆的转动带动了夹板的移动，通过两个夹板对无尘布两端进行夹紧固定，从而可以对无尘布进行固定；
[0021]本技术中，结构合理，通过防尘机构可以对防止灰尘飘到检测镜头的镜头上，通过清洁机构可以对检测镜头进行清洁，通过固定机构可以对无尘布进行固定，且便于更换。
附图说明
[0022]图1为本技术实施例所提供的一种晶圆表面缺陷检测设备的主视结构示意图；
[0023]图2为本技术实施例所提供的一种晶圆表面缺陷检测设备的防尘机构结构示意图；
[0024]图3为本技术实施例所提供的一种晶圆表面缺陷检测设备的L型保护罩内部结构示意图；
[0025]图4为本技术实施例所提供的一种晶圆表面缺陷检测设备的抽拉板拉出状态结构示意图；
[0026]图5为本技术实施例所提供的一种晶圆表面缺陷检测设备的A部分放大结构示意图。
[0027]附图标记：
[0028]1、机台；2、支撑架；3、固定板；4、L型保护罩；5、收集桶；6、螺栓；7、抽拉板；8、凹型圆板；9、支撑条；10、垫板；11、无尘布；12、检测镜头；13、螺杆；14、短板；15、夹板。
具体实施方式
[0029]下面结合本技术实施例中的附图对本技术实施例进行描述。
[0030]在本技术实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语、“连接”、“安装”应做广义理解，例如，“连接”可以是可拆卸地连接，也可以是不可拆卸地连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接。此外“连通”可以是直接连通，也可以通过中间媒介间接连通。其中，“固定”是指彼此连接且连接后的相对位置关系不变。本技术实施例中所提到的方位用语，例如，“内”、“外”、“顶”、“底”等，仅是参考附图的方向，因此，使用的方位用语是为了更好、更清楚地说明及理解本技术实施例，而不是指示或暗指所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术实施例的限制。
[0031]本技术实施例中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
[0032]在本技术实施例中，“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
[0033]在本说明书中描述的参考“一个实施例”或“一些实施例”等意味着在本技术的一个或多个实施例中包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆表面缺陷检测设备，其特征在于，包括：设备主体，设备主体包括有机台(1)、支撑架(2)、固定板(3)、检测镜头(12)、控制面板、LED灯组、滑轨和连座，所述支撑架(2)的底部四角分别与机台(1)的顶部四角固定连接，所述固定板(3)的底部与支撑架(2)的顶部固定连接，所述检测镜头(12)设置在固定板(3)的底部，控制面板、LED灯组和滑轨均设置在机台(1)的顶部，连座设置在滑轨上；防尘机构，防尘机构设置在固定板(3)的底部用于对检测镜头(12)进行防尘；清洁机构，清洁机构设置在防尘机构上用于对检测镜头(12)进行清洁；固定机构，固定机构设置在防尘机构上用于对清洁机构进行固定。2.根据权利要求1所述的一种晶圆表面缺陷检测设备，其特征在于，所述防尘机构包括有用于对检测镜头(12)进行防尘的L型保护罩(4)、抽拉板(7)和螺栓(6)，所述L型保护罩(4)通过螺栓(6)固定在固定板(3)的底部，所述检测镜头(12)位于L型保护罩(4)内，所述L型保护罩(4)的底部开设有开口，所述L型保护罩(4)的一侧开设有长型口，所述抽拉板(7)的两侧分别与L型保护罩(4)的两侧内壁滑动连接，所述抽拉板(7)的一侧固定连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄旭彪，黄少娃，吴桂冠，翁友民，汪浩，
申请(专利权)人：深圳市铨兴科技有限公司，
类型：新型
国别省市：