用于清洁及搬运的载体机构制造技术

本公开内容的实施方式涉及用于保持光学装置的载体机构。载体机构包括相邻托盘组件，所述相邻托盘组件堆叠而使得多个光学装置透镜被保持在所述相邻托盘组件之间。载体机构通过接触光学装置透镜的角部来保持多个光学装置透镜，而不损坏多个光学装置透镜。使用设置在托盘组件中的多个支撑销和多个捕捉销来保持多个光学装置透镜。每一托盘包括对应于多个光学装置透镜的多个开口，使得流体可接触多个光学装置透镜。载体机构可用于多个光学装置透镜的多个处理方法中。镜的多个处理方法中。镜的多个处理方法中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于清洁及搬运的载体机构
[0001]背景
[0002]领域
[0003]本公开内容的实施方式总体涉及光学装置。更具体地，本文描述的实施方式涉及用于保持光学装置的载体机构。
[0004]相关技术的说明
[0005]包括波导组合器(诸如增强现实波导组合器)和平坦光学装置(诸如超表面)的光学装置被用于辅助重叠图像。产生的光传播穿过光学装置，直到光离开光学装置并且覆盖在周围环境上。
[0006]光学装置一般包括设置在光学装置上的结构。光学装置和在光学装置上形成的结构由薄而脆的材料形成，所述材料在暴露于外部应力时损坏。此外，施加在光学装置之上的一些涂层和在光学装置上形成的结构对搬运(handling)很敏感。因此，当在不同的处理工具之间传送光学装置时，光学装置容易受到损坏。因此，在处理操作期间利用载体机构来保持光学装置是期望的。然而，载体机构需要精确的配置以避免接触和损坏结构、涂层和光学装置。
[0007]此外，许多用于保持光学装置的载体机构一般仅被用于一系列处理操作中的一个步骤，导致光学装置的搬运增加。例如，竖直处理和基于流体的清洁操作难以在将光学装置保持在载体机构中的同时执行。增加的搬运可导致对光学装置的损坏。据此，本领域需要一种用于保持光学装置的载体机构。

技术实现思路

[0008]在一个实施方式中，提供一种具有至少两个托盘组件的载体。每一托盘组件包括：第一定位轨及第一非定位轨。每一托盘组件进一步包括：托盘，所述托盘耦合至所述第一定位轨及所述第一非定位轨。所述托盘设置于所述第一定位轨与所述第一非定位轨之间。每一托盘组件进一步包括：穿过所述托盘而设置的多个开口及穿过所述托盘而设置的多个捕捉(capture)销。每一托盘组件进一步包括：多个支撑销，所述多个支撑销穿过所述托盘而设置，所述多个支撑销及所述多个捕捉销能操作以保持多个光学装置透镜。
[0009]在另一实施方式中，提供一种具有至少两个托盘组件的载体。每一托盘组件包括：第一定位轨及第一非定位轨。每一托盘组件进一步包括：托盘，所述托盘耦合至所述第一定位轨及所述第一非定位轨。所述托盘设置于所述第一定位轨与所述第一非定位轨之间。每一托盘组件进一步包括：穿过所述托盘而设置的多个开口及穿过所述托盘而设置的多个捕捉销。每一托盘组件进一步包括：多个支撑销，所述多个支撑销穿过所述托盘而设置。所述多个支撑销及所述多个捕捉销能操作以保持多个光学装置透镜。所述多个支撑销包括斜坡(ramp)，所述斜坡能操作以接触所述多个光学装置透镜的角部。
[0010]在又一实施方式中，提供一种方法。所述方法包括以下步骤：在包括流体的处理站中安置载体机构。所述载体机构能操作以在第一托盘组件与第二托盘组件之间保持多个光学装置透镜。由设置于所述第一托盘组件中的多个支撑销及设置于所述第二托盘组件中的
多个捕捉销来保持所述多个光学装置透镜。所述方法进一步包括以下步骤：引导超声波(ultrasonic)能量朝向所述载体机构。所述超声波能量平行于要清洁的所述多个光学装置透镜的表面而传播。所述超声波能量迫使所述流体穿过在所述第一托盘组件与所述第二托盘组件之间的间隙且穿过在所述第一托盘组件及所述第二托盘组件中的多个开口。
[0011]附图简要说明
[0012]为了能够详细理解本公开内容的上述特征的方式，可通过参考实施方式获得对上文简要概括的本公开内容的更特定的描述，其中一些实施方式在附图中图示。然而，应注意，附图仅图示示例性实施方式且因此不应被认为是对本公开内容的范围的限制，且可允许其他等效的实施方式。
[0013]图1A是根据实施方式的载体机构的示意性透视图。
[0014]图1B是根据实施方式的载体机构的部分的示意性横截面图。
[0015]图1C是根据实施方式的载体机构的部分的示意性透视图。
[0016]图2是根据实施方式的处理站的示意性横截面图。
[0017]图3是根据实施方式的用于将多个光学装置透镜保持在载体机构中的方法的流程图。
[0018]图4是根据实施方式的用于在载体机构中处理多个光学装置透镜的子方法的流程图。
[0019]为了便于理解，已经尽可能地使用相同的参考数字来表示图所共有的相同元件。可预期，一个实施方式的元件和特征可有益地并入其他实施方式中，而无需进一步叙述。
具体实施方式
[0020]本公开内容的实施方式总体涉及光学装置。更具体地，本文描述的实施方式涉及用于保持光学装置的载体机构。在一个实施方式中，提供一种具有至少两个托盘组件的载体。每一托盘组件包括第一定位轨和第一非定位轨。每一托盘组件进一步包括耦合至第一定位轨和第一非定位轨的托盘。托盘设置于第一定位轨与第一非定位轨之间。每一托盘组件进一步包括穿过托盘而设置的多个开口和穿过托盘而设置的多个捕捉销。每一托盘组件进一步包括穿过托盘设置的多个支撑销，多个支撑销和多个捕捉销能操作以保持多个光学装置透镜。
[0021]图1A是载体机构100的示意性透视图。载体机构100包括两个或更多个托盘组件105，即，第一托盘组件105A和第二托盘组件105B。每一托盘组件105包括定位轨102、非定位轨104、和托盘106。托盘106可耦合到多个捕捉销114和多个支撑销116。在可与本文所述的其他实施方式组合的一个实施方式中，载体机构100具有在约135mm至约323mm之间的载体机构高度120。载体机构100能操作以保持多个光学装置透镜112。载体机构100提供将多个光学装置透镜112放置在清洁装置中，清洁装置诸如是超声波清洁器。载体机构100允许将化学暴露、热暴露、振动和其他制造步骤施加于多个光学装置透镜112。另外，载体机构100允许在多个光学装置透镜112上执行计量工艺。例如，当由载体机构100保持时，可在多个光学装置透镜112上执行光学检查或品质检查。载体机构100也可用以保持多个光学装置透镜112以用于运输。虽然仅展示四个捕捉销114和四个支撑销116来保持多个光学装置透镜112中的每一光学装置透镜，可将任意数量的多个支撑销116和多个捕捉销114设置在托盘106
中以如所期望地保持光学装置透镜112。
[0022]如图1A中所展示，两个或更多个托盘组件105堆叠在一起以形成载体机构100。载体机构100至少包括设置在(即，堆叠在)第一托盘组件105A上的第二托盘组件105B。第一托盘组件105A的定位轨102和非定位轨104能够与相邻的第二托盘组件105B的定位轨102和非定位轨104接触，使得两个或更多个托盘组件105可被堆叠。形成定位轨102和非定位轨104使得第一托盘组件105A的定位轨102和非定位轨104能够与相邻的第二托盘组件105B的定位轨102和非定位轨104重叠，以保持为堆叠的。在可与本文所述的其他实施方式组合的一个实施方式中，定位销设置在定位轨102上，使得两个或更多个托盘组件105保持重叠和堆叠。可利用托盘进给器(feeder)来堆叠两个或更多个托盘组件105。虽然图1A中仅展示两个托盘组件105(第一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种具有至少两个托盘组件的载体，每一托盘组件包含：第一定位轨；第一非定位轨；托盘，所述托盘耦合至所述第一定位轨及所述第一非定位轨，所述托盘设置于所述第一定位轨与所述第一非定位轨之间；多个开口及多个捕捉销，所述多个开口及所述多个捕捉销穿过所述托盘而设置；及多个支撑销，所述多个支撑销穿过所述托盘而设置，所述多个支撑销及所述多个捕捉销能操作以保持多个光学装置透镜。2.如权利要求1所述的载体，其中第一托盘组件的所述第一定位轨与第二托盘组件的第二定位轨接触，所述第一托盘组件的所述第一非定位轨与所述第二托盘组件的第二非定位轨接触，且所述第一托盘组件与所述第二托盘组件彼此相邻。3.如权利要求2所述的载体，其中在所述第一托盘组件与所述第二托盘组件之间的间隙在约6mm与约12mm之间。4.如权利要求1所述的载体，其中所述托盘保持在所述第一定位轨的第一狭缝及所述第一非定位轨的第二狭缝中。5.如权利要求4所述的载体，其中多个固定螺钉设置于所述第一定位轨及所述第一非定位轨中，以将所述托盘耦合至所述第一狭缝及至所述第二狭缝。6.如权利要求1所述的载体，其中所述多个捕捉销包括斜坡，所述斜坡能操作以提供对所述多个光学装置透镜的侧向支撑。7.如权利要求1所述的载体，其中所述多个支撑销包括斜坡及捕捉柱。8.如权利要求1所述的载体，其中所述托盘包括材料，所述材料包含不锈钢、塑料、陶瓷、黄铜、或上述的组合。9.一种具有至少两个托盘组件的载体，每一托盘组件包含：第一定位轨；第一非定位轨；托盘，所述托盘耦合至所述第一定位轨及所述第一非定位轨，所述托盘设置于所述第一定位轨与所述第一非定位轨之间；多个开口及多个捕捉销，所述多个开口及所述多个捕捉销穿过所述托盘而设置；及多个支撑销，所述多个支撑销穿过所述托盘而设置，所述多个支撑销及所述多个捕捉销能操作以保持多个光学装置透镜，所述多个支撑销包括斜坡，所述斜坡能操作以接触所述多个光学装置透镜的角部。10.如权利要求9所述的载体，其中第一托盘组件的所述第一定位轨耦合至第二托盘组件的第二定位轨，所述第一托盘组件的所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：本杰明，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：