喷墨头制造技术

喷墨头具备：喷墨头主体，其具有配置于直线上并喷出墨的多个喷嘴孔、与多个喷嘴孔分别连通的多个墨室、以及通过振动而对多个墨室内的墨进行加压的振动板；以及多个压电元件单元，它们具有使振动板振动的压电元件，且以沿着直线并夹着直线的方式呈曲折状配置并接合于振动板。于振动板。于振动板。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】喷墨头


[0001]本公开涉及喷墨头。

技术介绍

[0002]作为喷墨头的以往技术的一例，已知在专利文献1中公开的技术。在对具有比喷墨头的宽度宽的宽度的对象物进行印刷的情况下，多次进行喷墨头的往复。根据专利文献1，通过在基板上使多个喷墨头呈交错状排列，能够减少基板乃至于喷墨头的往复次数。另外，通过在基板上调整喷墨头彼此的间隔，能够调整喷嘴间节距。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2007
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90686号公报

技术实现思路

[0006]本公开的一方案所涉及的喷墨头具备：喷墨头主体，其具有配置于直线上并喷出墨的多个喷嘴孔、与多个喷嘴孔分别连通的多个墨室、以及通过振动而对多个墨室内的墨进行加压的振动板；以及多个压电元件单元，它们具有使振动板振动的压电元件，且以沿着直线并夹着直线的方式呈曲折状配置并接合于振动板。
附图说明
[0007]图1是本公开的第一实施方式所涉及的喷墨头的俯视图。
[0008]图2是沿着图1所示的II
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II线的喷墨头的剖视图。
[0009]图3是沿着图1所示的III
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III线的喷墨头的剖视图。
[0010]图4是表示变更喷嘴间节距的情况下的喷墨头的动作的图。
[0011]图5是本公开的第二实施方式所涉及的喷墨头的俯视图。
[0012]图6是沿着图5所示的VI
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VI线的喷墨头的剖视图。<br/>[0013]图7是沿着图5所示的VII
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VII线的喷墨头的剖视图。
具体实施方式
[0014]喷墨头向半导体器件的生产用途的活用也不断进展。为了生产效率提高，存在印刷宽度的加长化、要使喷嘴间节距可变这样的迫切希望。喷嘴间节距的可变例如能够通过将喷嘴在直线上呈一列配置并使喷墨头相对于扫描方向倾斜来实现。
[0015]然而，在如专利文献1所公开那样多个喷墨头呈交错状配置的情况下，即便使基板倾斜也不能得到期望的喷嘴间节距。
[0016]另外，在为了将喷嘴在直线上呈一列配置使印刷宽度加长化而喷墨头被加长化的情况下，用于喷出墨的致动器中使用的压电元件从压电元件的特性来看难以加长化。另外，由于构成喷墨头的构件的线膨胀系数的差异的缘故，由于温度变化发生内部应力的不均、
乃至于应变而给喷嘴间节距带来影响。
[0017]本公开是为了解决上述的课题而作出的，其目的在于即便在喷墨头被加长化的情况下也抑制在温度变化下发生的应变。
[0018]&lt;第一实施方式&gt;
[0019]以下，关于本公开的第一实施方式所涉及的喷墨头，参照附图来进行说明。需要说明的是，在以下的说明中，使用右、左、前、后、上及下这6个方向。各方向示于图1～图3中。
[0020]喷墨头1喷出墨而对对象物进行印刷。墨是印刷用墨。墨除了印刷用墨以外，也可以是液体材料，例如钎焊糊剂、银糊剂、印章糊剂、荧光体糊剂及细胞悬浊液。
[0021]喷墨头1通过由未图示的控制装置控制后述的压电元件来喷出墨。另外，喷墨头1构成为与未图示的送液装置之间循环墨。即，送液装置向喷墨头1供给墨，并且未从喷墨头1喷出的墨从喷墨头1向送液装置排出。
[0022]喷墨头1如图1至图3所示那样具备喷墨头主体10、压电元件单元20及壳体构件30。
[0023]喷墨头主体10形成为长方体状，通过喷嘴板11、墨室板12及振动板13层叠而构成。喷嘴板11、墨室板12及振动板13通过例如粘接剂而接合。
[0024]喷嘴板11由不锈钢等合金钢形成为板状。在喷嘴板11形成有多个喷嘴孔11a，该多个喷嘴孔11a配置于直线L上并喷出墨。直线L是沿着左右方向延伸的假想的直线。喷嘴孔11a的个数为36个，但当然不限定于此。
[0025]墨室板12例如通过蚀刻、压力加工成型的不锈钢板由粘接剂接合而形成为长方体状。墨室板12具备多个由供给路12a、墨室12b、筒仓(silo)12c及排出路12d构成的组。多个组构成为与多个喷嘴孔11a对应。即，组的个数是与喷嘴孔11a的个数相同的36个，但当然不限定于此。
[0026]供给路12a形成为沿着前后方向延伸，用于向墨室12b供给墨。
[0027]墨室12b形成为沿着前后方向延伸的长方体状，且与供给路12a及筒仓12c连接。墨室12b的上壁由振动板13构成。
[0028]筒仓12c形成为沿着上下方向延伸，且与墨室12b及排出路12d连接。另外，筒仓12c形成为与喷嘴孔11a连接。即，多个墨室12b分别经由多个筒仓12c的对应的一个筒仓12c而与多个喷嘴孔11a的对应的一个喷嘴孔11a连通。
[0029]排出路12d形成为沿着前后方向延伸，且与筒仓12c连接。排出路12d经由筒仓12c而与墨室12b连通，用于从墨室12b排出墨。
[0030]另外，多个组分为多个群。群的个数为4个。即，多个群的每一个群的组的个数是9个。需要说明的是，群的个数当然不限定于4个。多个群分别具有供给连接路12e及排出连接路12f各一个。
[0031]供给连接路12e与多个群的一个群中的多个供给路12a分别连接。排出连接路12f与多个群的一个群中的多个排出路12d分别连接。
[0032]多个群以沿着直线L并夹着直线L的方式呈曲折状配置(图1)。即，构成一个群的9个供给路12a、墨室12b、筒仓12c及排出路12d作为一个区块而以沿着直线L并夹着直线L的方式呈曲折状配置。
[0033]通过这样配置多个群，从而在多个组中供给连接路12e、供给路12a及墨室12b与排出路12d及排出连接路12f夹着直线L而配置于相反侧。另外，多个排出路12d分别与夹着直
线L而配置于相反侧的多个墨室12b连通。多个供给路12a分别与从直线L观察时配置于相同侧的多个墨室12b连通。
[0034]另外，在供给连接路12e及排出连接路12f中，也以沿着直线L并夹着直线L的方式呈曲折状配置。需要说明的是，图2是从直线L观察时墨室12b位于前方的部位的剖视图。另外，图3是从直线L观察时墨室12b位于后方的部位的剖视图。
[0035]振动板13通过振动而对多个墨室12b内的墨进行加压。振动板13形成为一个板状，且配置为覆盖多个墨室12b。振动板13使用镍钴合金、以及镍等来形成。振动板13的多个振动板件13a与墨室12b对应地由例如粘接剂接合。
[0036]压电元件单元20与多个群对应地配置有多个。压电元件单元20的个数为4个，但当然不限定于此。
[0037]多个压电元件单元20中的一个压电元件单元20与构成多个群的一个群的多个组对应地具有多个压电元件20a。一个压电元件单元20中的压电元件20a的个数为9个，但当然不限定于此。压电元件20a形成为长方体状。
[0038]压电元件单元20通过多个压电元件2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种喷墨头，其中，所述喷墨头具备：喷墨头主体，其具有配置于直线上并喷出墨的多个喷嘴孔、与所述多个喷嘴孔分别连通的多个墨室、以及通过振动而对所述多个墨室内的所述墨进行加压的振动板；以及多个压电元件单元，它们具有使所述振动板振动的压电元件，且以沿着所述直线并夹着所述直线的方式呈曲折状配置并接合于所述振动板。2.根据权利要求1所述的喷墨头，其中，所述喷墨头主体通过形成有所述多个喷嘴孔的喷嘴板、形成有所述多个墨室的墨室板、以及所述振动板层叠而构成。3.根据权利要求1或2所述的喷墨头，其中，所述多个压电元件单元中的一个压电元件单元配置为在与所述直线正交的方向上与所述多个压电元件单元中的另一个压电元件单元局部地对置。4.根据权利要求1或2所述的喷墨头，其中，所述喷墨头具备多个所述振动板，多个所述振动板以与所述多个压电元件单元对应的方式沿着所述直线并夹着所述直线而呈曲折状配置。5.根据权利要求4所述的喷墨头，其中，所述多个振动板中的一个振动板配置为在沿着所述直线的方向上与所述多个振动板中的另一个振动板局部地对置。6.根据权利要求4或5所述的喷墨头，其中，所述多个振动板中的一个振动板配置为在与所述直线正交的方向上与所述多个振动板中的另一个振动板局部地对置。7.根据权利要求1至6中任一项所述的喷墨头，其中，所述多个墨室在与所述直线正交的方向上与所述多个喷嘴孔分离开设置。8.根据权利要求1至7中任一项所述的喷墨头，其中，所述喷墨头主体中的构...

【专利技术属性】
技术研发人员：丰福洋介，吉田英博，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：