整体拆卸式观察窗及挡板机构制造技术

技术编号:3873442 阅读:226 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及一种整体拆卸式观察窗及挡板机构。该整体拆卸式观察窗及挡板机构包括观察窗机构及挡板机构,挡板机构包括位于观察窗机构最内侧的挡板、固定挡板的传动轴、安装于传动轴一端的手钮,挡板安装于传动轴的另一端。本实用新型专利技术通过增加挡板机构,减少了观察窗玻璃的更换次数,通过整体拆卸和安装观察窗及挡板机构,简化了拆卸和安装过程,而且不必打开真空室门即可更换观察窗玻璃,减少了更换观察窗玻璃的时间,从而提高了镀膜设备的整体生产效率。(*该技术在2019年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光学部件制造设备,尤其涉及一种光学镀膜设备中的整体拆卸式观察窗及挡板机构
技术介绍
在光学镀膜过程中,操作者需要用肉眼通过观察窗观察镀膜情况,以控制镀膜进 程,保证镀膜质量。此外,操作者还可通过观察窗观察镀膜设备运转时真空室内有无异常情 况,防止意外发生,提高安全性。 蒸发源蒸发出的膜料大部分向被镀工件方向移动,但仍有部分膜料附着于真空室 内壁四周和观察窗玻璃内侧表面上。随着被附着的膜料量的增加,观察窗玻璃逐渐变模糊, 甚至可能导致看不清真空室内的工作进展,从而影响镀膜过程。 现有的观察窗的结构示意图如图1所示,其包括依次从外侧排列至内侧的有机玻 璃11、观察窗玻璃12、挡玻璃13,各玻璃由观察窗腔体内腔凹槽、卡环14、观察窗压盖15及 各类螺钉共同作用固定,每个零件作为一个单独的个体进行装配。还利用矩形密封圈16起 到将真空室与外接隔离密封的作用。 上述观察窗存在以下缺点由于挡玻璃在最内侧,直接与真空室内环境接触,当镀 膜工作进行时,由于蒸镀膜料被蒸发时会有部分附着于挡玻璃的表面,致使观察窗清晰度 降低,当镀膜进行到一定程度时会影响观察,这时候需要而且只能在镀膜设备工作间隙更 换挡玻璃,恢复观察窗的清晰度。而且又由于观察窗的每个零件都作为一个单独的个体进 行装配,这使得为了更换挡玻璃而频繁拆卸、装配观察窗的复杂度和难度加大。此外,观察 窗的反复拆卸和装配也使得保证密封性能的难度加大。上述问题将导致镀膜设备的整体工 作效率降低,在设备工作时因观察窗玻璃被污染可能影响观察实际工作情况,且存在观察窗的玻璃变模糊阻碍观察而产生安全隐患的危险。技术内容本技术的目的是针对现有技术不足之处,提供一种能够整体拆卸观察窗,减 少更换观察窗玻璃的次数和时间的整体拆卸式观察窗及挡板机构。本技术通过以下技术方案实现一种整体拆卸式观察窗及挡板机构,包括观察窗机构及挡板机构,挡板机构包括位于观察窗机构最内侧的挡板、固定挡板的传动轴、安装于传动轴一端的手钮,挡板安装于传动轴的另一端。 其中,观察窗机构包括盖板,挡板机构固定于盖板上。 其中,盖板的内侧安装有第一密封圈。 其中,观察窗机构还包括观察窗盖、观察窗玻璃,有机玻璃和第二密封圈,所述观 察窗盖安装于有机玻璃的一侧,第二密封圈安装于观察窗玻璃内侧。 其中,传动轴上从观察窗机构的外侧至内侧方向依次安装第一压盖、第一垫、油封 以及第二垫。 其中,手钮可以通过螺钉固定于传动轴上。 其中,第一密封圈和第二密封圈均可以为矩形密封圈。 本技术的有益效果是通过增加挡板机构,降低了对观察窗玻璃污染的速度, 通过整体拆卸和安装观察窗及挡板机构,简化了拆卸和安装过程,而且不必打开真空室门 即可更换观察窗玻璃,减少了更换观察窗玻璃的时间,从而提高了镀膜设备的整体生产效率。附图说明图1为现有技术的观察窗的结构示意图; 图2为本技术实施例的结构示意图。具体实施方式下面结合实施例对本技术作进一步的描述 图2为本技术实施例的结构示意图。如图2所示,依照本实施例的整体拆卸 式观察窗及挡板机构包括观察窗机构及挡板机构,挡板机构包括位于观察窗机构最内侧的 挡板1、固定挡板1的传动轴2、安装于传动轴2 —端的手钮3,挡板1安装于传动轴2的另 一端,其连接方式可以为,例如,通过螺纹连接方式连接。 本实施例中,观察窗机构可以包括盖板4,挡板机构固定于盖板4上,其连接方式 可以为,例如通过压紧螺母和盖板4上的螺纹将挡板机构固定于盖板4上。盖板4的内侧 可以安装有第一密封圈19。 观察窗机构还可以包括观察窗盖5、观察窗玻璃6,有机玻璃7和密封圈8,观察窗盖5可以安装于有机玻璃7的一侧,第二密封圈8可以安装于观察窗玻璃6的内侧。其中,第一密封圈19和第二密封圈8可以为矩形密封圈,第一密封圈19与盖板的连接方式以及第二密封圈8与观察窗盖5的连接方式可以为,例如通过螺纹连接方式连接。 传动轴2上从观察窗机构的外侧至内侧方向可以(例如通过螺纹连接)依次安装第一压盖9、第一垫10、油封17以及第二垫18。 手钮3可以通过螺钉固定于传动轴2上。 挡板1位于观察窗玻璃的内侧。当开始镀膜时,操作人员可通过观察窗机构查看 真空室内的工作状况,在镀膜的进行过程中,随着膜料的不断蒸发,如果没有挡板,膜料会 逐渐地附着于观察窗机构的观察窗玻璃上,但由于设有挡板,挡板阻挡时,观察窗玻璃上不 会附着有膜料,而当需要观察时再打开挡板,这样就降低了观察窗玻璃被膜料污染的速度。 当观察窗玻璃全部附着有膜料时,由于上述观察窗机构和挡板机构作为一个整体通过压盖 20上的螺纹安装于真空室门上,因此通过拆卸压盖20,就可以将观察窗机构和挡板机构整 体从真空室门上拆卸下来。 本技术的实施例通过增加挡板机构,降低了观察窗玻璃被膜料污染的速度。 通过整体拆卸和安装观察窗及挡板机构,简化了拆卸和安装过程,而且不必打开真空室门 即可更换观察窗玻璃,减少了更换观察窗玻璃的时间,从而提高了镀膜设备的整体生产效率。 以上所述仅是本技术的优选实施方式,应当指出,对于本
的普通技4术人员来说,在不脱离本技术技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变型,这些改 进和变型也应视为本技术的保护范围。权利要求一种整体拆卸式观察窗及挡板机构,包括观察窗机构及挡板机构,所述挡板机构包括位于所述观察窗机构最内侧的挡板、固定所述挡板的传动轴、安装于所述传动轴一端的手钮,所述挡板安装于所述传动轴的另一端。2. 如权利要求1所述的整体拆卸式观察窗及挡板机构,其特征在于,所述观察窗机构 包括盖板,所述挡板机构固定于所述盖板上。3. 如权利要求1所述的整体拆卸式观察窗及挡板机构,其特征在于,所述盖板的内侧 安装有第一密封圈。4. 如权利要求1所述的整体拆卸式观察窗及挡板机构,其特征在于,所述观察窗机构 还包括观察窗盖、观察窗玻璃、有机玻璃和第二密封圈,所述观察窗盖安装于所述有机玻璃 的一侧,所述第二密封圈安装于所述观察窗玻璃内侧。5. 如权利要求1所述的整体拆卸式观察窗及挡板机构,其特征在于,所述传动轴上从 所述观察窗机构的外侧至内侧方向依次安装第一压盖、第一垫、油封以及第二垫。6. 如权利要求1所述的整体拆卸式观察窗及挡板机构,其特征在于,所述手钮通过螺 钉固定于传动轴上。7. 如权利要求3所述的整体拆卸式观察窗及挡板机构,其特征在于,所述第一密封圈 为矩形密封圈。8. 如权利要求4所述的整体拆卸式观察窗及挡板机构,其特征在于,所述第二密封圈 为矩形密封圈。专利摘要本技术涉及一种整体拆卸式观察窗及挡板机构。该整体拆卸式观察窗及挡板机构包括观察窗机构及挡板机构,挡板机构包括位于观察窗机构最内侧的挡板、固定挡板的传动轴、安装于传动轴一端的手钮,挡板安装于传动轴的另一端。本技术通过增加挡板机构,减少了观察窗玻璃的更换次数,通过整体拆卸和安装观察窗及挡板机构,简化了拆卸和安装过程,而且不必打开真空室门即可更换观察窗玻璃,减少了更换观察窗玻璃的时间,从而提高了镀膜设备的整体生产效率。文档编号C23C14/52GK201459235SQ200920110199公开日2010年5月12日 申请日期2009年7月24日 优先本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种整体拆卸式观察窗及挡板机构,包括观察窗机构及挡板机构,所述挡板机构包括位于所述观察窗机构最内侧的挡板、固定所述挡板的传动轴、安装于所述传动轴一端的手钮,所述挡板安装于所述传动轴的另一端。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:谢均荣张永和李辉
申请(专利权)人:北京北仪创新真空技术有限责任公司
类型:实用新型
国别省市:11[中国|北京]

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