LTCC一体化集成的太赫兹可重构色散时延超表面制造技术

一种基于LTCC一体化集成的太赫兹可重构色散时延超表面结构的时延单元结构及其制作方法，时延单元结构包括：第一陶瓷基板层；设置于第一陶瓷基板层上表面的介质层，介质层包括在第一方向延伸的陶瓷结构与空心结构，空心结构平行于陶瓷结构并贯穿介质层，陶瓷结构与空心结构在第二方向上依次间隔设置，第一方向设置为平行于第一陶瓷基板层的纵向方向，第二方向设置为平行于第一陶瓷基板层的横向方向；设置于介质层上表面的第二陶瓷基板层，陶瓷基板层为LTCC基板；设置于第二陶瓷基板层上表面的金属传输线层；以及设置于第一陶瓷基板层下表面的金属背板层。在预设频率带宽范围内，时延超表面结构群时延的幅值能根据需要进行各种调制控制。调制控制。调制控制。

【技术实现步骤摘要】
LTCC一体化集成的太赫兹可重构色散时延超表面


[0001]本申请属于微波器件
，尤其涉及一种基于LTCC一体化集成的太赫兹可重构色散时延超表面结构、时延单元结构及其制作方法。

技术介绍

[0002]在电磁领域的发展中，目前各种新技术不断的出现，比如隐身技术和时间反演，但是受限于缺乏相应电磁特性的自然材料，微波、毫米波以及太赫兹领域的很多技术只能存在于理论中，而无法在实际工程中得到运用。为了进一步发展电磁技术，新型材料不断涌现，如电磁超材料(metamaterial,MTM)等，其中，人工电磁超材料技术是近20年来经典电磁场技术最为重要的进展之一。2000年，杜克大学Smith教授团队提出了电磁超材料的概念，并在一年后首次加工测试了一款三维电磁超材料。
[0003]电磁超材料是用自然材料排列组合成的亚波长周期结构，可以设计成具有在自然界中难以或不可能找到的特性，负折射率就是自然界中不存在但已通过使用超材料概念实现的材料特性的示例。超材料已经是经典电磁场领域的重要成员。然而，目前的三维超材料还存在一些问题，比如其带宽较窄、损耗较大并本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于LTCC一体化集成的太赫兹可重构色散时延超表面结构的时延单元结构，其特征在于，包括：第一陶瓷基板层；设置于所述第一陶瓷基板层上表面的介质层，所述介质层包括在第一方向延伸的陶瓷结构与空心结构，所述空心结构平行于所述陶瓷结构并贯穿所述介质层，所述陶瓷结构与所述空心结构在第二方向上依次间隔设置，其中，所述第一方向设置为平行于所述第一陶瓷基板层的纵向方向，所述第二方向设置为平行于所述第一陶瓷基板层的横向方向；设置于所述介质层上表面的第二陶瓷基板层，所述陶瓷基板层为LTCC基板；设置于所述第二陶瓷基板层上表面的金属传输线层；以及设置于所述第一陶瓷基板层下表面的金属背板层。2.如权利要求1所述的时延单元结构，其特征在于，所述金属传输线层的形状设置为满足预设时延条件的形状；所述预设时延条件为：在预设频率带宽范围内所述第一方向极化状态下表现出正斜率线性群时延响应，在所述预设频率带宽范围内所述第二方向极化状态下表现出负斜率线性群时延响应，以及在所述预设频率带宽范围内基于所述第一方向向所述第二方向旋转45
°
的方向极化状态下表现出平坦斜率线性群时延响应；所述预设频率带宽范围为1GHz。3.如权利要求1所述的时延单元结构，其特征在于，所述陶瓷结构与所述空心结构的形状包括长方体。4.如权利要求1所述的时延单元结构，其特征在于，所述陶瓷结构与所述空心结构在所述第二方向上的厚度比例满足预设厚度比例；所述预设厚度比例为1:...

【专利技术属性】
技术研发人员：张青峰，汪宏，蒋潇楠，侯晓翔，
申请(专利权)人：南方科技大学，
类型：发明
国别省市：