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LTCC一体化集成的太赫兹可重构色散时延超表面制造技术
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文档序号:38719132
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一种基于LTCC一体化集成的太赫兹可重构色散时延超表面结构的时延单元结构及其制作方法,时延单元结构包括:第一陶瓷基板层;设置于第一陶瓷基板层上表面的介质层,介质层包括在第一方向延伸的陶瓷结构与空心结构,空心结构平行于陶瓷结构并贯穿介质层,陶...
该专利属于南方科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过南方科技大学授权不得商用。
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