本申请涉及一种测量方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。所述方法包括：在待测对象的当前测量点，检测到目标探针在目标方向产生的第一振幅位于第一振幅范围内的情况下，获取第一振幅对应的第一位移控制信号，根据第一位移控制信号，绘制待测对象在当前测量点对应的结构图；控制目标探针沿着垂直于目标方向的方向移动到待测对象的下一测量点，跳转至检测到目标探针在目标方向产生的第一振幅位于第一振幅范围内的情况下，获取第一振幅对应的第一位移控制信号的步骤，直至待测对象全部测量点均完成结构图绘制为止，得到待测对象的目标结构图，目标结构图包括底面结构图和侧壁结构图。采用本方法能够提高测量效率。率。率。
【技术实现步骤摘要】
测量方法、装置、计算机设备和存储介质
[0001]本申请涉及数据处理
，特别是涉及一种测量方法、装置、计算机设备和存储介质。
技术介绍
[0002]随着数据处理技术的发展，出现了测量技术，这个技术可以测量待测对象的表面形貌(即结构图)，常用于微纳结构测量领域。
[0003]传统的测量技术，常利用原子力显微镜对待测对象的表面形貌进行测量。其中，原子力显微镜包括探针，探针包括对微弱力极敏感的微悬臂以及针尖。具体的，将针尖靠近待测对象的表面，并控制针尖尖端的原子与待测对象表面的原子间的作用力为恒力。针尖尖端的原子与待测对象表面的原子间的作用力会施加到针尖，并引起微悬臂偏折。利用光学检测法或隧道电流检测法，可测得微悬臂在各扫描点上的位置变化，从而可以获得待测对象表面表面形貌的信息。
[0004]然而，目前的测量技术，只能测量待测对象在与样品台的台面垂直的方向上的结构图。若待测对象需要测量侧壁结构与底面结构，则每次在测量前都需要调节待测对象的放置位置，因此，测量效率较低。
技术实现思路
[0005]基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够提高测量效率的测量方法、装置、计算机设备、计算机可读存储介质和计算机程序产品。
[0006]第一方面，本申请提供了一种测量方法。目标探针包括至少一个指向第一方向的针尖和至少一个指向第二方向的针尖，或者，包括至少一个指向与样品台的台面形成锐角的针尖；所述样品台用于放置待测对象；所述第一方向包括垂直于所述样品台的台面的方向；所述第二方向包括平行于所述样品台的台面的方向，所述方法包括：
[0007]在所述待测对象的当前测量点，检测到所述目标探针在目标方向产生的第一振幅位于第一振幅范围内的情况下，获取所述第一振幅对应的第一位移控制信号，所述目标方向包括所述第一方向或者所述第二方向；
[0008]根据所述第一位移控制信号，绘制所述待测对象在所述当前测量点对应的结构图；
[0009]控制所述目标探针沿着垂直于所述目标方向的方向移动到所述待测对象的下一测量点，跳转至所述检测到所述目标探针在所述目标方向产生的第一振幅位于第一振幅范围内的情况下，获取所述第一振幅对应的第一位移控制信号的步骤，直至所述待测对象全部测量点均完成结构图绘制为止，得到所述待测对象的目标结构图，所述目标结构图包括底面结构图和侧壁结构图。
[0010]在其中一个实施例中，所述控制所述目标探针沿着垂直于所述目标方向的方向移动到所述待测对象的下一测量点之前，还包括：
[0011]在所述待测对象的当前测量点，检测到所述目标探针在备选方向产生的第二振幅满足边界点振幅条件的情况下，根据所述备选方向，重新设置所述目标方向；所述备选方向包括所述第一方向或者所述第二方向、且针对所述当前测量点对应的所述目标探针的所述备选方向与所述目标方向不同。
[0012]在其中一个实施例中，所述方法还包括：
[0013]在所述目标结构图的图像精度不满足预设精度条件的情况下，获取当前的所述第一振幅范围对应的第一振幅设定值，并根据所述第一振幅设定值以及预设比例，确定第一振幅调节量；
[0014]根据振动数据图，确定振幅调整策略；
[0015]根据所述第一振幅调节量及所述振幅调整策略对所述第一振幅设定值进行调整，得到调整后的第一振幅设定值；
[0016]根据所述调整后的第一振幅设定值，重新设置第一振幅范围，并基于所述重新设置的第一振幅范围，返回执行所述在所述待测对象的当前测量点，检测到所述目标探针在所述目标方向产生的第一振幅位于第一振幅范围内的情况下，获取所述第一振幅对应的第一位移控制信号的步骤，直到所述目标结构图的所述图像精度满足预设精度条件，得到所述待测对象的所述目标结构图。
[0017]在其中一个实施例中，所述振动数据图包括挠曲振动数据图和扭转振动数据图；所述方法还包括：
[0018]针对所述目标探针在所述第一方向产生的所述第一振幅，根据位于所述第一振幅范围的各所述第一振幅对应的挠曲振动数据，确定所述挠曲振动数据图；
[0019]针对所述目标探针在所述第二方向产生的所述第一振幅，根据位于所述第一振幅范围的各所述第一振幅对应的扭转振动数据，确定所述扭转振动数据图。
[0020]在其中一个实施例中，所述根据振动数据图，确定振幅调整策略，包括：
[0021]针对振动数据图中的任一扫描线，基于所述扫描线上各点对应的所述振动数据，构建振动数据组；
[0022]针对任一所述扫描线，根据所述振动数据组，确定所述扫描线的线型；
[0023]根据各所述扫描线的线型，确定振幅调整策略。
[0024]在其中一个实施例中，所述获取所述第一振幅对应的第一位移控制信号，包括：
[0025]获取所述第一振幅在各预设阶次下对应的第一位移控制信号；
[0026]所述根据所述第一位移控制信号，绘制所述待测对象在所述当前测量点对应的结构图，包括：
[0027]针对任一所述预设阶次，根据所述第一振幅在所述预设阶次下对应的第一位移控制信号，绘制在所述预设阶次下所述待测对象在所述当前测量点对应的结构图；
[0028]所述得到所述待测对象的目标结构图，包括：
[0029]得到在各所述预设阶次下所述待测对象的初始结构图；
[0030]在所述第一方向对应的各所述预设阶次下的所述初始结构图中，确定所述底面结构图；
[0031]在所述第二方向对应的各所述预设阶次下的所述初始结构图中，确定所述侧壁结构图。
[0032]第二方面，本申请还提供了一种测量装置。目标探针包括至少一个指向第一方向的针尖和至少一个指向第二方向的针尖，或者，包括至少一个指向与样品台的台面形成锐角的针尖；所述样品台用于放置待测对象；所述第一方向包括垂直于所述样品台的台面；所述第二方向包括平行于所述样品台的台面，所述装置包括：
[0033]第一获取模块，用于在所述待测对象的当前测量点，检测到所述目标探针在目标方向产生的第一振幅位于第一振幅范围内的情况下，获取所述第一振幅对应的第一位移控制信号，所述目标方向包括所述第一方向或者所述第二方向；
[0034]绘制模块，用于根据所述第一位移控制信号，绘制所述待测对象在所述当前测量点对应的结构图；
[0035]循环模块，用于控制所述目标探针沿着垂直于所述目标方向的方向移动到所述待测对象的下一测量点，跳转至所述检测到所述目标探针在所述目标方向产生的第一振幅位于第一振幅范围内的情况下，获取所述第一振幅对应的第一位移控制信号的步骤，直至所述待测对象全部测量点均完成结构图绘制为止，得到所述待测对象的目标结构图，所述目标结构图包括底面结构图和侧壁结构图。
[0036]在其中一个实施例中，所述测量装置还包括：
[0037]第一设置模块，用于在所述待测对象的当前测量点，检测到所述目标探针在备选方向产生的第二振幅满足边界点振幅条件的情况下，根据所述备选方向，重新设置所述目标方本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种测量方法，其特征在于，目标探针包括至少一个指向第一方向的针尖和至少一个指向第二方向的针尖，或者，包括至少一个指向与样品台的台面形成锐角的针尖；所述样品台用于放置待测对象；所述第一方向包括垂直于所述样品台的台面的方向；所述第二方向包括平行于所述样品台的台面的方向，所述方法包括：在所述待测对象的当前测量点，检测到所述目标探针在目标方向产生的第一振幅位于第一振幅范围内的情况下，获取所述第一振幅对应的第一位移控制信号，所述目标方向包括所述第一方向或者所述第二方向；根据所述第一位移控制信号，绘制所述待测对象在所述当前测量点对应的结构图；控制所述目标探针沿着垂直于所述目标方向的方向移动到所述待测对象的下一测量点，跳转至所述检测到所述目标探针在所述目标方向产生的第一振幅位于第一振幅范围内的情况下，获取所述第一振幅对应的第一位移控制信号的步骤，直至所述待测对象全部测量点均完成结构图绘制为止，得到所述待测对象的目标结构图，所述目标结构图包括底面结构图和侧壁结构图。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制所述目标探针沿着垂直于所述目标方向的方向移动到所述待测对象的下一测量点之前，还包括：在所述待测对象的当前测量点，检测到所述目标探针在备选方向产生的第二振幅满足边界点振幅条件的情况下，根据所述备选方向，重新设置所述目标方向；所述备选方向包括所述第一方向或者所述第二方向、且针对所述当前测量点对应的所述目标探针的所述备选方向与所述目标方向不同。3.根据权利要求1或者2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：在所述目标结构图的图像精度不满足预设精度条件的情况下，获取当前的所述第一振幅范围对应的第一振幅设定值，并根据所述第一振幅设定值以及预设比例，确定第一振幅调节量；根据振动数据图，确定振幅调整策略；根据所述第一振幅调节量及所述振幅调整策略对所述第一振幅设定值进行调整，得到调整后的第一振幅设定值；根据所述调整后的第一振幅设定值，重新设置第一振幅范围，并基于所述重新设置的第一振幅范围，返回执行所述在所述待测对象的当前测量点，检测到所述目标探针在所述目标方向产生的第一振幅位于第一振幅范围内的情况下，获取所述第一振幅对应的第一位移控制信号的步骤，直到所述目标结构图的所述图像精度满足预设精度条件，得到所述待测对象的所述目标结构图。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述振动数据图包括挠曲振动数据图和扭转振动数据图；所述方法还包括：针对所述目标探针在所述第一方向产生的所述第一振幅，根据位于所述第一振幅范围的各所述第一振幅对应的挠曲振动数据，确定所述挠曲振动数据图；针对所述目标探针在所述第二方向产生的所述第一振幅，根据位于所述第一振幅范围的各所述第一振...
【专利技术属性】
技术研发人员：熊俊杰，谭新峰，郭丹，雒建斌，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：
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