一种光电元器件的半导体抛磨设备制造技术

技术编号:38707226 阅读:11 留言:0更新日期:2023-09-08 14:47
本发明专利技术提供一种光电元器件的半导体抛磨设备,涉及半导体加工技术领域。该光电元器件的半导体抛磨设备,包括打磨台,所述打磨台顶部设有打磨设备,所述打磨设备外侧设置用于升降的升降装置,所述打磨台顶部固定连接有固定底座,所述固定底座顶部两侧均固定连接有支撑板,两个所述支撑板之间设有活动板,所述活动板一侧设有夹持座,该光电元器件的半导体抛磨设备,使转动杆带动固定连接的蜗杆,使蜗杆带动啮合连接的蜗轮转动,进而使蜗轮带动第一伸缩杆进行转动,由于第一伸缩杆与夹持座固定连接,从而使两个夹持座进行同步转动,从而对材料进行角度调整或对其进行翻面处理,避免对材料进行拆卸,提高加工的效率。提高加工的效率。提高加工的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种光电元器件的半导体抛磨设备


[0001]本专利技术涉及一种半导体抛磨,具体为一种光电元器件的半导体抛磨设备,属于半导体加工


技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件,无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常大的,大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联,半导体的加工需要对其进行抛磨加工。
[0003]故现公开专利号为:CN214490105U,公开了半导体材料研磨抛光机,包括工作台,所述工作台的顶部固定连接有L形板,所述L形板的内部固定连接有第一电动缸,所述第一电动缸的输出端固定连接有位于L形板内侧的连接壳,所述连接壳的外侧活动连接有延伸至连接壳下方的圆板,所述连接壳的内部固定连接有与圆板固定连接的第一电机,所述圆板的内部活动连接有数量为两个并位于连接壳左右两侧的竖杆。该半导体材料研磨抛光机,具备便于使用等优点,解决了现有技术中,研磨抛光机的抛光盘通常只有竖直方向的自由度,在对不规则形状的半导体材料进行研磨抛光时,需要多次对半导体材料的加工面进行定位夹持,过程繁琐,导致不便于使用的问题。
[0004]上述方案存在诸多益处,但也存在以下问题:
[0005]1、现有的夹具只能对一种形状的半导体进行夹持,当需要对矩形或圆形的材料加工时,无法对夹具进行切换;
[0006]2、材料对一面进行加工后,需要对另一面打磨,则需要解除锁定,再人工进行翻转,过于繁琐。

技术实现思路

[0007](一)解决的技术问题
[0008]本专利技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种光电元器件的半导体抛磨设备,以解决现有技术中夹具只能对一种形状的半导体进行夹持,当需要对矩形或圆形的材料加工时,无法对夹具进行切换;材料对一面进行加工后,需要对另一面打磨,则需要解除锁定,再人工进行翻转,过于繁琐的问题。
[0009](二)技术方案
[0010]为实现以上目的,本专利技术通过以下技术方案予以实现:一种光电元器件的半导体抛磨设备,包括打磨台,所述打磨台顶部设有打磨设备,所述打磨设备外侧设置用于升降的升降装置,所述打磨台顶部固定连接有固定底座,所述固定底座顶部两侧均固定连接有支撑板,两个所述支撑板之间设有活动板,所述活动板一侧设有夹持座,所述夹持座贯穿活动板并与活动板转动连接,两个所述夹持座与两个支撑板之间均设有转动组件,两个所述夹
持座顶部设有用于对圆形工件进行固定的弧形夹持板,所述弧形夹持板与夹持座之间设有切换组件。
[0011]优选的,两个所述支撑板之间设有丝杆,所述丝杆依次贯穿两个支撑板和两个活动板,所述丝杆与支撑板转动连接,所述丝杆与活动板螺纹连接,,所述丝杆为双向螺纹丝杆,有利于通过丝杆带动两个活动板进行相对移动。
[0012]优选的,所述转动组件包括第一伸缩杆,所述第一伸缩杆固定连接于夹持座一端,所述第一伸缩杆贯穿支撑板并与支撑板转动连接。
[0013]优选的,所述转动组件还包括蜗轮,所述蜗轮固定连接于第一伸缩杆一端,所述蜗轮外侧啮合连接有蜗杆,所述蜗杆内部固定连接有转动杆,所述转动杆外侧转动连接有横板,所述横板与支撑板固定连接,有利于通过蜗杆带动啮合连接的蜗轮转动,从而经过传动使夹持座进行转动,达到对材料的翻转。
[0014]优选的,所述切换组件包括L形连接板,所述L形连接板固定连接于夹持座顶部,所述弧形夹持板外侧转动连接有螺纹杆,所述螺纹杆贯穿L形连接板并与L形连接板螺纹连接,所述L形连接板与弧形夹持板之间固定连接有第二伸缩杆。
[0015]优选的,所述夹持座为由上横板、竖板和下横板构成的三面围绕型结构,并朝向工件设置有开口,所述竖板的内侧表面上沿长度方向设置有多个弹性气囊,所述弹性气囊由薄膜材料制备,所述薄膜材料为亲水性材料,每个所述弹性气囊开设有气口并用于向所述夹持座的内侧且朝向矩形工件进行吹气,所述弹性气囊的设置位置与所述矩形工件相对应;同时,所述弧形夹持板为弹性材料制成,所述弧形夹持板的曲率半径可随着圆形工件的尺寸而改变,所述弧形夹持板的内侧表面上沿圆弧方向设置有多个弹性气囊,所述弹性气囊由薄膜材料制备,所述薄膜材料为亲水性材料;所述活动板的下表面设置有柔性刷毛,所述柔性刷毛与所述固定底座接触;每个所述弹性气囊开设有气口并用于向所述弧形夹持板的内侧且朝向所述圆形工件进行吹气,所述弹性气囊的设置位置与所述圆形工件相对应;当所述夹持座/弧形夹持板相互靠近将所述矩形工件/圆形工件夹紧时,所述弹性气囊被所述夹持座/弧形夹持板和所述矩形工件/圆形工件挤压且通过气口朝向所述矩形工件/圆形工件进行吹气,从而将所述矩形工件/圆形工件上的灰尘吹落,避免了灰尘对所述矩形工件/圆形工件表面进行打磨的影响,当所述夹持座/弧形夹持板相互远离将所述矩形工件/圆形工件松开时,所述弹性气囊可通过气口充气并回复至膨胀状态;由于所述弧形夹持板为弹性材料制成,当所夹持的圆形工件尺寸改变时,所述弧形夹持板的弯曲弧度即曲率半径可随着圆形工件的尺寸而改变,从而使所述弧形夹持板尽可能贴靠在所述圆形工件的外圆周面上,提高对圆形工件的夹紧度;同时所述弹性气囊为亲水性薄膜材料,当所述弹性气囊接触矩形工件/圆形工件时可以将矩形工件/圆形工件表面的水分进行吸收,页避免了水分对所述矩形工件/圆形工件表面打磨的影响,提高了工件表面的打磨质量;再有,由于工件打磨的过程中会掉落一些边角料和杂质在固定底座上,通过在所述活动板的下表面设置有柔性刷毛,所述柔性刷毛与所述固定底座接触,打磨完成后,所述活动板在电机和丝杆的驱动下相互远离,所述活动板下表面的柔性刷毛对所述固定底座上的边角料和杂质进行清扫,并将其扫至所述固定底座的两端进行收集。
[0016]优选的,所述蜗轮为多层轮状结构,多层所述蜗轮同轴且一体设置,每一层所述蜗轮的直径和厚度均相同,多层所述蜗轮可沿着所述第一伸缩杆的轴向方向并随着所述第一
伸缩杆的一端滑动,最内侧的所述蜗轮与所述第一伸缩杆的一端固定连接,每一层所述蜗轮均可与所述蜗杆相啮合,所述第一伸缩杆上对应每一层所述蜗轮与蜗杆的啮合位置均设置有限位机构,多层所述蜗轮的齿数沿其轴向依次递增;由于所述半导体抛磨设备每一次所打磨的工件尺寸不同,对工件进行角度调整时所需要的调整精度也就不同,即在所述转动杆转动相同角度的情况下,针对不同尺寸的工件,所述夹持座或弧形夹持板的旋转角度也需要有所不同,通过将所述蜗轮设置为多层轮状结构,多层所述蜗轮的齿数沿其轴向依次递增,便可以针对不同尺寸的工件选择不同齿数的蜗轮与所述蜗杆相啮合,从而在所述转动杆和蜗杆转动相同角度的情况下,所述夹持座或弧形夹持板的旋转角度不同;具体的,当所要焊接的工件尺寸较大时,对工件转动角度精确性的要求相对较低,将所述蜗轮整体沿轴向滑动,从而使齿数较少的蜗轮与蜗杆相啮合,在转动所述转动杆的过程中,由于蜗轮齿数较少,在所本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光电元器件的半导体抛磨设备,包括打磨台(1),所述打磨台(1)顶部设有打磨设备(3),所述打磨设备(3)外侧设置用于升降的升降装置(4),其特征在于:所述打磨台(1)顶部固定连接有固定底座(2),所述固定底座(2)顶部两侧均固定连接有支撑板(5),两个所述支撑板(5)之间设有活动板(7),所述活动板(7)一侧设有夹持座(9),所述夹持座(9)贯穿活动板(7)并与活动板(7)转动连接,两个所述夹持座(9)与两个支撑板(5)之间均设有转动组件,两个所述夹持座(9)顶部设有用于对圆形工件进行固定的弧形夹持板(14),所述弧形夹持板(14)与夹持座(9)之间设有切换组件。2.根据权利要求1所述的一种光电元器件的半导体抛磨设备,其特征在于:两个所述支撑板(5)之间设有丝杆(6),所述丝杆(6)依次贯穿两个支撑板(5)和两个活动板(7),所述丝杆(6)与支撑板(5)转动连接,所述丝杆(6)与活动板(7)螺纹连接,所述丝杆(6)为双向螺纹丝杆。3.根据权利要求2所述的一种光电元器件的半导体抛磨设备,其特征在于:所述转动组件包括第一伸缩杆(8),所述第一伸缩杆(8)固定连接于夹持座(9)一端,所述第一伸缩杆(8)贯穿支撑板(5)并与支撑板(5)转动连接。4.根据权利要求3所述的一种光电元器件的半导体抛磨设备,其特征在于:所述转动组件还包括蜗轮(10),所述蜗轮(10)固定连接于第一伸缩杆(8)一端,所述蜗轮(10)外侧啮合连接有蜗杆(11),所述蜗杆(11)内部固定连接有转动杆(12),所述转动杆(12)外侧转动连接有横板(13),所述横板(13)与支撑板(5)固定连接。5.根据权利要求4所述的一种光电元器件的半导体抛磨设备,其特征在于:所述切换组件包括L形连接板(16),所述L形连接板(16)固定连接于夹持座(9)顶部,所述弧形夹持板(14)外侧转动连接有螺纹杆(15),所述螺纹杆(15)贯穿L形...

【专利技术属性】
技术研发人员:张永平
申请(专利权)人:池州巨成电子科技有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1