本发明专利技术涉及控制抛光装置技术领域，具体涉及一种实时监测的抛光装置及方法，包括支撑板、设置于支撑板上方一侧的抛光机功率调节器，设置于支撑板上方一端的驱动电机，驱动电机用于向抛光机功率调节器提供动力，所述抛光机功率调节器动力输出端固定安装有抛光盘；还包括：机械臂控制装置；将抛光工件设置于抛光盘与压力套筒之间，并在压力套筒内设有的套筒中安装有激光位移传感装置，通过激光位移传感装置能够有效的对抛光工件实施实时测量，从而实现无接触抛光工件表面即可对抛光量实施检测的效果，同时还能够有效的避免因接触形成表面损伤的作用，进一步提升了抛光精度的效果。进一步提升了抛光精度的效果。进一步提升了抛光精度的效果。
【技术实现步骤摘要】
一种实时监测的抛光装置及方法
[0001]本专利技术涉及控制抛光装置
，尤其涉及一种实时监测的抛光装置及方法。
技术介绍
[0002]目前的超精密抛光机大部分对抛光工件的去除量的检测仍然停留在加工部分和测量部分分开进行，对抛光工件的去除量进行测量时需要将工件停止加工，再放在专业的测量仪器下进行检测，且抛光盘的转速需要手动调节，无法进行边加工边测量。在对抛光工件进行抛光处理的过程中，通常会出现如下专利中存在的问题，参见公开号为CN203936755U公开了一种用于环形抛光机的薄片自动测厚装置，包括基准盘、滑架、轴套、压簧、调节螺母、千分表、立柱、固定板，立柱穿过滑架固定在基准盘上；立柱与滑架接触的孔内装有轴套；位于滑块上方的立柱外套设有压簧，压簧上方设有调节螺母，立柱上端部通过螺母与固定板固定连接，所述的千分表与同定板固定连接，虽然该专利解决了抛光片的两面平行度不受毛坯影响，并在设备运行状态下，对抛光片厚度随时进行监控，但是仍然存在不能实现对抛光中的工件的测量的问题，从而影响了抛光效率，因此，在长期的研发测试过程中专利技术人发现：现有技术中抛光装置在对抛光工件进行抛光加工时需要接触到抛光工件的表面进行测量，从而容易因接触形成表面损伤的问题。
技术实现思路
[0003]有鉴于此，本专利技术的目的在于提出一种实时监测的抛光装置及方法，以解决需要接触到抛光工件的表面进行测量，从而容易因接触形成表面损伤的问题。
[0004]基于上述目的，本专利技术提供了一种实时监测的抛光装置，包括：支撑板、设置于支撑板上方一侧的抛光机功率调节器，设置于支撑板上方一端的驱动电机，驱动电机用于向抛光机功率调节器提供动力，所述抛光机功率调节器动力输出端固定安装有抛光盘；还包括：机械臂控制装置，设置于支撑板上方另一侧；机械臂，设置于机械臂控制装置的上方；所述机械臂的输出端固定安装有压力器固定装置，所述压力器固定装置一端固定安装有连接法兰，所述连接法兰一侧设置有至少两组气缸，所述气缸的输出端固定安装有压力套筒；
[0005]所述压力器固定装置一端中部固定安装有阶梯轴，所述阶梯轴一端穿过连接法兰固定安装有套筒，所述套筒内部设置有激光位移传感装置；
[0006]其中，通过气缸推动压力套筒将抛光工件在抛光盘上紧密贴合，并通过驱动电机使得抛光机功率调节器带动抛光盘转动，通过在套筒内设有的激光位移传感装置检测抛光工件的抛光量并对抛光工件在粗抛和精抛中切换。
[0007]优选的，所述机械臂包括：转动装置，固定安装于机械臂控制装置上方，所述转动装置输出端固定安装有第二卡爪，所述第二卡爪一端可调节的安装有第一卡爪，所述第一卡爪与压力器固定装置固定连接，所述机械臂控制装置电性连接有数据线。
[0008]优选的，所述激光位移传感装置包括：激光发射器，固定安装于套筒内部一侧一端；散光镜片，固定安装于套筒内部一侧，且散光镜片水平设置；线性CCD相机，固定安装于
套筒内部另一侧一端；聚光镜片，固定安装于套筒内部另一侧，且聚光镜片倾斜设置；信号处理器，固定安装于套筒内侧顶部；
[0009]其中，激光发射器发射的光线经过散光镜片后投射于抛光工件上，通过在抛光工件上反射进入聚光镜片中，并被线性CCD相机捕捉拍摄，通过信号处理器对位于抛光工件上方照射的位置进行采集，并分析照射位置经过不同时间的位置差以获取抛光工件的抛光量。
[0010]优选的，所述激光位移传感装置通过数据线外接于计算机控制系统，并将测量数值实时反馈给计算机控制系统中的气缸控制系统和抛光机功率调节器系统中，以通过计算机控制系统进行控制调节。
[0011]优选的，所述连接法兰一侧设置有法兰连接螺栓，所述法兰连接螺栓一端贯穿连接法兰与压力器固定装置螺纹插接，所述连接法兰通过法兰连接螺栓与压力器固定装置固定连接。
[0012]优选的，所述气缸包括：气缸底座，所述气缸底座四周设置有气缸底座紧固螺栓，所述气缸底座紧固螺栓一端贯穿气缸底座与连接法兰螺纹插接，所述气缸底座通过气缸底座紧固螺栓与连接法兰固定连接。
[0013]优选的，所述机械臂控制装置包括：机械臂底座，所述机械臂底座四周设置有机械臂底座紧固螺栓，所述机械臂底座紧固螺栓一端贯穿机械臂底座与支撑板螺纹插接，所述机械臂底座通过机械臂底座紧固螺栓与支撑板固定连接。
[0014]优选的，所述驱动电机包括：电机底座，所述电机底座上方四周边缘设置有电机底座紧固螺栓，所述电机底座紧固螺栓一端贯穿电机底座与支撑板螺纹插接，所述电机底座通过电机底座紧固螺栓与支撑板固定连接。
[0015]优选的，所述抛光盘上方放置有抛光垫，所述抛光垫的厚度尺寸小于抛光盘的厚度尺寸，抛光工件安置于抛光垫的上方。
[0016]一种实时监测的抛光装置的抛光方法，包括如下步骤：
[0017]S1、将抛光工件安置于抛光盘上，并借助气缸驱动压力套筒对抛光工件进行定位，当抛光工件开始被抛光时，激光位移传感装置检测抛光工件的抛光去除量；
[0018]S2、当检测的抛光去除量在系统预设的粗抛量之间时，计算机反数值给驱动电机和气缸，将抛光盘转速和气缸压力调到粗抛预设值；
[0019]S3、当检测到抛光工件的抛光去除量在系统预设精抛量之间时，计算机再次反馈数值给驱动电机和气缸，将抛光盘转速和气缸压力调到精抛预设值；
[0020]S4、当激光位移传感装置检测到抛光工件达到总抛光量时，计算机反馈数值给驱动电机和气缸，抛光盘转速将为零，气缸停止加压并上升，完成抛光。
[0021]本专利技术的有益效果：将抛光工件设置于抛光盘与压力套筒之间，并在压力套筒内设有的套筒中安装有激光位移传感装置，通过激光位移传感装置能够有效的对抛光工件实施实时测量，从而实现无接触抛光工件表面即可对抛光量实施检测的效果，同时还能够有效的避免因接触形成表面损伤的作用，进一步提升了抛光精度的效果。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本专利技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术
描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本专利技术立体结构示意图；
[0024]图2为本专利技术套筒半剖结构示意图；
[0025]图3为本专利技术机械臂立体结构示意图；
[0026]图4为本专利技术激光位移传感装置原理图；
[0027]图5为本专利技术流程图。
[0028]图中标记为：1、抛光盘；2、抛光垫；3、驱动电机；4、电机底座；5、抛光机功率调节器；6、压力套筒；7、气缸；8、连接法兰；9、阶梯轴；10、套筒；11、压力器固定装置；12、机械臂；13、机械臂底座；14、激光位移传感装置；15、机械臂控制装置；16、机械臂底座紧固螺栓；17、电机底座紧固螺栓；18、气缸底座；19、气缸底座紧固螺栓；20、抛光工件；21、法兰连接螺栓；22、第一卡爪；23、第本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种实时监测的抛光装置，包括：支撑板(31)、设置于支撑板(31)上方一侧的抛光机功率调节器(5)，设置于支撑板(31)上方一端的驱动电机(3)，驱动电机(3)用于向抛光机功率调节器(5)提供动力，所述抛光机功率调节器(5)动力输出端固定安装有抛光盘(1)；其特征在于，还包括：机械臂控制装置(15)，设置于支撑板(31)上方另一侧；机械臂(12)，设置于机械臂控制装置(15)的上方；所述机械臂(12)的输出端固定安装有压力器固定装置(11)，所述压力器固定装置(11)一端固定安装有连接法兰(8)，所述连接法兰(8)一侧设置有至少两组气缸(7)，所述气缸(7)的输出端固定安装有压力套筒(6)；所述压力器固定装置(11)一端中部固定安装有阶梯轴(9)，所述阶梯轴(9)一端穿过连接法兰(8)固定安装有套筒(10)，所述套筒(10)内部设置有激光位移传感装置(14)；其中，通过气缸(7)推动压力套筒(6)将抛光工件(20)在抛光盘(1)上紧密贴合，并通过驱动电机(3)使得抛光机功率调节器(5)带动抛光盘(1)转动，通过在套筒(10)内设有的激光位移传感装置(14)检测抛光工件(20)的抛光量并对抛光工件(20)在粗抛和精抛中切换。2.根据权利要求1所述的一种实时监测的抛光装置，其特征在于，所述机械臂(12)包括：转动装置(24)，固定安装于机械臂控制装置(15)上方，所述转动装置(24)输出端固定安装有第二卡爪(23)，所述第二卡爪(23)一端可调节的安装有第一卡爪(22)，所述第一卡爪(22)与压力器固定装置(11)固定连接，所述机械臂控制装置(15)电性连接有数据线(30)。3.根据权利要求2所述的一种实时监测的抛光装置，其特征在于，所述激光位移传感装置(14)包括：激光发射器(25)，固定安装于套筒(10)内部一侧一端；散光镜片(26)，固定安装于套筒(10)内部一侧，且散光镜片(26)水平设置；线性CCD相机(28)，固定安装于套筒(10)内部另一侧一端；聚光镜片(27)，固定安装于套筒(10)内部另一侧，且聚光镜片(27)倾斜设置；信号处理器(29)，固定安装于套筒(10)内侧顶部；其中，激光发射器(25)发射的光线经过散光镜片(26)后投射于抛光工件(20)上，通过在抛光工件(20)上反射进入聚光镜片(27)中，并被线性CCD相机(28)捕捉拍摄，通过信号处理器(29)对位于抛光工件(20)上方照射的位置进行采集，并分析照射位置经过不同时间的位置差以获取抛光工件(20)的抛光量。4.根据权利要求2所述的一种实时监测的抛光装置，其特征在于，所述激光位移传感装置(14)通过数据线(30)外接于计算机控制系统，并将测量数值实时反馈给计算机控制系统中的气缸控制系...
【专利技术属性】
技术研发人员：夏晶，沈俊甫，何新远，刘开勇，李晓盼，周元凯，樊玉杰，
申请(专利权)人：江苏科技大学，
类型：发明
国别省市：
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