一种自动调水平装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种自动调水平装置，具体涉及自动找平领域，包括支撑平台，所述支撑平台的底端通过滚珠轴承连接有多个梯形丝杆，所述梯形丝杆贯穿设置于贯通式丝杆电机中，所述贯通式丝杆电机固定安装于电机固定板上，所述电机固定板的底端固定设置有多个限位筒。本装置通过带有反馈功能的水平仪，通过反馈软件自动识别哪个电机需要进行操作，直到水平仪反馈平台平衡，通过此实用新型专利技术调节水平将使平台更加水平，并且能够适应不同的环境，节省了人调节水平的时间，而且此平台试用于和小的精密平台配套使用；解决了气浮式找水平价格昂贵，占用空间大的问题。占用空间大的问题。占用空间大的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种自动调水平装置


[0001]本技术涉及自动找平
，具体为一种自动调水平装置。

技术介绍

[0002]近些年来，随着我国经济的飞速发展，国际地位逐步挺高，我国对半导体行业的大力支持，许多新技术取得了突破性进展，相应的加工检测设备的性能也相应的提高，加工的精度也越来越高，特别是微电子技术以及微流控技术系统的快速发展，精密的运动平台也越来越重要，一些设备对于精度要求已经达到了亚微米甚至是纳米级别。
[0003]对于精密运动平台来说，找水平是一个不可或缺的过程，如果平台不水平就会造成测量结果不准的的后果，传统的找水平方法就是通过水平仪来手动微调，达到一种水平的状态，但现在手动调节水平已经很难满足精密平台的要求，而且通过手动找水平的过程中也浪费了安装人员的大量时间，因此自动调节水平的平台成为行业的发展趋势。而市面上大部分自动找水平的装置是一种气浮式自动找水平的装置，气浮式的体积大不适合小平台，而且价格昂贵。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种自动调水平装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动调水平装置，包括支撑平台(1)，其特征在于：所述支撑平台(1)的底端通过滚珠轴承(2)连接有多个梯形丝杆(3)，所述梯形丝杆(3)贯穿设置于贯通式丝杆电机(4)中，所述贯通式丝杆电机(4)固定安装于电机固定板(5)上，所述电机固定板(5)的底端固定设置有多个限位筒(6)，所述梯形丝杆(3)贯穿限位筒(6)设置，所述支撑平台(1)的上端固定安装有电子水平仪(10)，所述电子水平仪(10)采用晶研电子水平仪DXL360S，电子水平仪(10)与上位机连接，上位机通过电子水平仪(10)反馈的位置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：于立国，张杨文，刘飒飒，张惠丹，
申请(专利权)人：苏州博睿义达生物科技有限公司，
类型：新型
国别省市：